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71. 发明专利

JP2017207461A 加速度センサー审中-公开
公开(公告)号：JP2017207461A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：JP2016173782
申请日：2016-09-06
申请人：エーエーシーテクノロジーズピーティーイーリミテッド , AAC TECHNOLOGIES PTE.LTD.
发明人：カイワン , フウチェン , グォジュンリュウ
IPC分类号： G01K7/00 , G01P15/08
CPC分类号： G01P15/0802 , G01P2015/0865
摘要：【課題】リアルタイムに動作環境の温度を検出可能な加速度センサーを提供する。【解決手段】収容空間10が設けられたパッケージ構造1、及び前記収容空間に設置された、加速度信号を検出するためのMEMSチップ20と複数の回路モジュールを有するASICチップ30を備え、前記ASICチップ30における回路モジュールは、MEMSチップに接続された信号処理モジュールを含み、前記信号処理モジュールは、前記MEMSチップが検出した加速度信号を処理すると共に、処理された加速度信号を出力し、前記ASICチップ30における回路モジュールは、温度信号を検出すると共に、当該温度信号を出力するための温度検出モジュールをさらに含む。【選択図】図1

72. 发明专利

JP5527015B2 Element structure, inertial sensors, electronic equipment 有权
公开(公告)号：JP5527015B2
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：JP2010120725
申请日：2010-05-26
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：成和高木
IPC分类号： G01P15/08 , G01P15/18 , B81B3/00 , B81C3/00 , G01C19/56 , G01C19/5755 , G01P15/125 , H01L29/84
CPC分类号： G01P15/18 , G01C19/5783 , G01P15/125 , G01P2015/0814 , G01P2015/0828 , G01P2015/0845 , G01P2015/0865
摘要： The manufacturing of an element structure including two or more sensor element is to be facilitated. An element structure includes a first substrate including a first support layer and a first sensor element disposed on the first support layer and a second substrate including a second support layer and a second sensor element disposed on the second support layer, wherein the second substrate is disposed on the first substrate via a spacer member in a state in which the first sensor element and the second sensor element are disposed to face each other.

73. 发明专利

JP2011247729A Element structure, inertial sensor, electronic apparatus, and method for manufacturing element structure 有权
标题翻译：元件结构，惯性传感器，电子设备和制造元件结构的方法
公开(公告)号：JP2011247729A
公开(公告)日：2011-12-08
申请号：JP2010120725
申请日：2010-05-26
申请人： Seiko Epson Corp , セイコーエプソン株式会社
发明人： TAKAGI NARIKAZU
IPC分类号： G01P15/08 , B81B3/00 , B81C3/00 , G01C19/56 , G01C19/5755 , G01P15/125 , G01P15/18 , H01L29/84
CPC分类号： G01P15/18 , G01C19/5783 , G01P15/125 , G01P2015/0814 , G01P2015/0828 , G01P2015/0845 , G01P2015/0865
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To facilitate manufacturing an element structure including two or more sensor elements.SOLUTION: The element structure includes a first substrate BS1 having a first support layer 100 and a first sensor element SE1 provided on the first support layer 100 and a second substrate BS2 having a second support layer 200 and a second sensor element SE2 provided on the second support layer 200, and the second substrate BS2 is disposed on the first substrate BS1 with a spacer 300 therebetween in a state where the first sensor element SE1 and the second sensor element SE2 face each other.
摘要翻译：要解决的问题：为了便于制造包括两个或更多个传感器元件的元件结构。解决方案：元件结构包括具有第一支撑层100的第一基板BS1和设置在第一支撑层100上的第一传感器元件SE1和具有第二支撑层200和第二传感器元件SE2的第二基板BS2 在第二支撑层200上，并且第二基板BS2在第一传感器元件SE1和第二传感器元件SE2彼此面对的状态下在其间具有间隔件300而设置在第一基板BS1上。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

74. 发明公开

KR1020170094069A 관성 측정 유닛 审中-实审
标题翻译：惯性测量单元
公开(公告)号：KR1020170094069A
公开(公告)日：2017-08-17
申请号：KR1020160177405
申请日：2016-12-23
申请人： 애틀랜틱 이너셜 시스템스 리미티드
发明人： 그레고리크리스토퍼엠.
IPC分类号： G01P15/14 , G01P15/08
CPC分类号： G01P1/006 , G01C19/5776 , G01C25/005 , G01P15/08 , G01P21/00 , G01P2015/0865
摘要： 본발명은, 관성측정값을출력하도록배열된적어도하나의관성센서, 온도측정값을출력하도록배열된각 관성센서와공간적으로연관된제1차온도센서, 및상기출력들을수신하는프로세서를포함하는관성측정유닛으로서, 상기프로세서는시간에대해상기온도측정값을미분하여시간적온도구배출력을결정하도록배열된, 관성측정유닛에관한것이다. 기존의온도센서(들)를사용하여절대온도뿐만아니라, 열적구배를관찰할수 있어서, 관성측정유닛(IMU)의성능을더 개선시킬수 있다. 이접근법은, 온도만을출력하는것에더하여디바이스내 온도센서(들)를사용하여시간적온도구배를결정하고, 이들중 하나또는둘 모두를사용하여파라미터를보상할수 있다는점에서, 관성센서와 IMU에채용된종래의교정접근법과는상이한것이다.
摘要翻译：本发明中，惯性测量权利要求1布置成输出至少一个惯性传感器，空间上布置成输出所述主温度传感器的温度测量值的每个惯性传感器相关联，和惯性处理器，用于接收输出作为测量单元，处理器被布置为随时间区分温度测量以确定时间温度梯度输出。使用现有的温度传感器，可以观察到热梯度以及绝对温度，进一步改善惯性测量单元（IMU）的性能。采用这种方法，因为它通过使用除了所述温度传感器（一个或多个）设备以仅输出温度和这两种使用一种，或者可以补偿参数，惯性传感器和IMU确定的时间温度梯度这与传统的校准方法不同。

75. 发明授权

KR101367016B1 관성센서 有权
标题翻译：惯性传感器
公开(公告)号：KR101367016B1
公开(公告)日：2014-02-25
申请号：KR1020110055283
申请日：2011-06-08
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 정원규 , 이정원
IPC分类号： G01P15/097 , G01P15/08
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5783 , G01P15/0802 , G01P15/097 , G01P2015/0865
摘要： 본 발명의 관성센서에 관한 것으로, 본 발명에 따른 관성센서(100)는 절연영역(123)과 통전영역(125)으로 구획된 배선층(120)을 포함하는 멤브레인(110), 멤브레인(110)의 중앙부분(113) 하부에 구비된 질량체(130) 및 멤브레인(110)을 지지하도록 멤브레인(110)의 테두리(115) 하부에 구비되어 질량체(130)를 둘러싸는 포스트(140)를 포함하는 구성이며, 멤브레인(110)을 가격이 싼 메탈코어로 형성함으로써, 관성센서(100)의 전체적인 제조비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라, 기생정전용량을 줄여 관성센서(100)의 감도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 멤브레인(110)으로부터 연장된 질량체(130)를 금속으로 형성함으로써, 질량체(130)의 질량 밀도를 높여 관성센서(100)의 감도를 향상시킬 수 있는 장점이 있다.

76. 发明授权

KR101524377B1 압저항형 가속도계 및 이의 제조 방법 有权
标题翻译： PIEZORESISTIVE ACCEREROMETER及其制造方法
公开(公告)号：KR101524377B1
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：KR1020130162317
申请日：2013-12-24
申请人： 부산대학교 산학협력단
发明人： 고종수 , 이재민
IPC分类号： G01P15/08
CPC分类号： G01P15/123 , G01P15/0802 , G01P2015/0865
摘要： 압저항형가속도계및 이의제조방법이개시된다. 일실시예에따른압저항형가속도계는외곽지지체와, 상기외곽지지체의내벽에배치되는질량체와, 상기외곽지지체로부터상기질량체를연결하기위한연결부와, 각각이상기질량체와상기외곽지지체사이에연결되는복수의압저항체들과, 일단이상기질량체에연결되고, 상기외곽지지체의수평방향으로배치되는과다변위방지용바를포함할수 있다.
摘要翻译：公开了一种压阻加速度计及其制造方法。根据本发明，压阻加速度计可以防止质量的超级位移。根据实施例的压阻加速度计包括：外部支持者布置在外部支撑件的内壁中的质量; 连接单元，其将所述质量体连接到所述外部支撑件; 多个压阻体，其连接在所述物体与所述外部支撑体之间; 以及一个用于超级位移防止的杆，其中一端连接到质量块。用于超级位移防止的杆布置在外部支撑件的水平方向上。

77. 发明公开

KR1020120136208A 관성센서 有权
标题翻译：惯性传感器
公开(公告)号：KR1020120136208A
公开(公告)日：2012-12-18
申请号：KR1020110055283
申请日：2011-06-08
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 정원규 , 이정원
IPC分类号： G01P15/097 , G01P15/08
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5783 , G01P15/0802 , G01P15/097 , G01P2015/0865
摘要： PURPOSE: An inertial sensor is provided to reduce the total manufacturing cost of the inertial sensor by using a membrane formed as a chief metal core and the mass body's extending from the membrane to increase a mass density of the mass body, thereby making it possible to improve sensitivity of the inertial sensor. CONSTITUTION: A membrane(110) includes wiring layers(120). The wiring layer is partitioned into an insulating region(124) and a conducting region(125). A mass body(130) is equipped under a central part of the membrane. A post(130) surrounds the mass body. The post is equipped under the edge of the membrane. The post supports the membrane.
摘要翻译：目的：提供惯性传感器，通过使用形成为主要金属芯的膜和质量体从膜延伸以增加质量体的质量密度来降低惯性传感器的总制造成本，从而使得可以提高惯性传感器的灵敏度。构成：膜（110）包括布线层（120）。布线层被分隔成绝缘区域（124）和导电区域（125）。质量体（130）设置在膜的中心部分的下方。柱（130）围绕质量体。该柱装在膜的边缘下方。支柱支撑膜。

78. 发明专利

TW201432892A 使用移動閘傳感器之用於慣性感測器模組的封裝系統和製程审中-公开
简体标题：使用移动闸传感器之用于惯性传感器模块的封装系统和制程
公开(公告)号：TW201432892A
公开(公告)日：2014-08-16
申请号：TW102144387
申请日：2013-12-04
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：菲安道 , FEYH, ANDO , 陳柏瑞 , CHEN, PO JUI
IPC分类号： H01L27/146
CPC分类号： G01P15/08 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2207/015 , G01C19/5783 , G01P15/0802 , G01P15/105 , G01P15/124 , G01P15/18 , G01P2015/0865
摘要：一種感測器裝置，其中含有第一CMOS晶片及第二CMOS晶片，而一第一移動閘傳感器係經構成於該第一CMOS晶片內以實施一第一3軸慣性感測器，並且一第二移動閘傳感器係經構成於該第二CMOS晶片內以實施一第二3軸慣性感測器。一用以評估該第一3軸慣性感測器和該第二3軸慣性感測器之輸出的ASIC係經佈設於該第一CMOS晶片與該第二CMOS晶片之間。
简体摘要：一种传感器设备，其中含有第一CMOS芯片及第二CMOS芯片，而一第一移动闸传感器系经构成于该第一CMOS芯片内以实施一第一3轴惯性传感器，并且一第二移动闸传感器系经构成于该第二CMOS芯片内以实施一第二3轴惯性传感器。一用以评估该第一3轴惯性传感器和该第二3轴惯性传感器之输出的ASIC系经布设于该第一CMOS芯片与该第二CMOS芯片之间。

79. 发明专利

TW201712342A 從非線性週期訊號擷取慣性資訊审中-公开
简体标题：从非线性周期信号截取惯性信息
公开(公告)号：TW201712342A
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW105115787
申请日：2016-05-20
申请人：路梅戴尼科技公司 , LUMEDYNE TECHNOLOGIES INCORPORATED
发明人：華特斯理查 , WATERS, RICHARD L. , 福瑞力克馬克 , FRALICK, MARK , 泰利查爾斯四世 , TALLY, IV, CHARLES HAROLD , 賈克斯約翰 , JACOBS, JOHN D.
IPC分类号： G01P21/00 , G01P15/08
CPC分类号： G01P15/0802 , B81B2201/0235 , B81B2203/051 , G01C19/04 , G01D5/2415 , G01P15/093 , G01P15/097 , G01P15/125 , G01P15/13 , G01P21/00 , G01P2015/0814 , G01P2015/0865
摘要：於此說明用以從非線性週期訊號擷取慣性資訊的系統與方法。系統可包括經組構以進行以下所列者之電路：從回應驗證質量之運動的第一感測器接收第一週期類比訊號；將該第一週期類比訊號轉換成第一週期數位訊號；決定對量應用三角函數的結果，該量係基於該第一週期數位訊號；及基於該結果來決定該慣性參數。該三角函數可為反三角函數。
简体摘要：于此说明用以从非线性周期信号截取惯性信息的系统与方法。系统可包括经组构以进行以下所列者之电路：从回应验证质量之运动的第一传感器接收第一周期模拟信号；将该第一周期模拟信号转换成第一周期数码信号；决定对量应用三角函数的结果，该量系基于该第一周期数码信号；及基于该结果来决定该惯性参数。该三角函数可为反三角函数。

80. 发明专利

TWI595236B 感測器及其製造方法有权
简体标题：传感器及其制造方法
公开(公告)号：TWI595236B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：TW104126115
申请日：2015-08-11
申请人：東芝股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人：池橋民雄 , IKEHASHI, TAMIO
IPC分类号： G01P15/125 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00
CPC分类号： G01P15/125 , B81B3/0086 , B81B2201/0235 , B81B2201/0264 , B81B2203/0136 , B81C1/00166 , G01L9/0048 , G01L9/0073 , G01L19/0618 , G01L19/146 , G01P15/18 , G01P2015/084 , G01P2015/0865

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