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71. 发明专利

TW201721294A 微影設備及方法审中-公开
简体标题：微影设备及方法
公开(公告)号：TW201721294A
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：TW105130553
申请日：2016-09-22
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V. , 希瑪有限責任公司 , CYMER, LLC
发明人：雅佛資法蘭克 , EVERTS, FRANK , 歐普特羅特威黑墨斯派翠克伊麗莎白瑪麗亞 , OP'T ROOT, WILHELMUS PATRICK ELISABETH MARIA , 高德福萊德荷曼菲力普 , GODFRIED, HERMAN PHILIP , 索恩斯約書亞瓊 , THORNES, JOSHUA JON , 歐布萊恩凱文麥可 , O'BRIEN, KEVIN MICHAEL , 薩能禮昂彼特保羅 , SAANEN, LEON PIETER PAUL , 亞果爾沃坦奴智 , AGGARWAL, TANUJ
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70558 , G03F7/70066 , G03F7/70525
摘要：本發明提供一種控制一輻射源之輸出之方法，該方法包括：週期性地監視該輻射源之一輸出能量；判定一參考能量信號與該所監視輸出能量之間的一差；判定一回饋值；判定針對一後續時間段的該輻射源之一所要輸出能量；及取決於在該後續時間段期間之該所判定所要輸出能量而控制該輻射源之一輸入參數。若該輻射源之該所監視輸出能量與該參考能量信號之間的該所判定差之量值超過一臨限值，則：該所判定差不貢獻於該回饋值；且遍及該後續時間段根據一參考能量信號調整量變曲線而散佈該所判定差，且針對該後續時間段將該參考能量信號調整量變曲線加至該參考能量信號。
简体摘要：本发明提供一种控制一辐射源之输出之方法，该方法包括：周期性地监视该辐射源之一输出能量；判定一参考能量信号与该所监视输出能量之间的一差；判定一回馈值；判定针对一后续时间段的该辐射源之一所要输出能量；及取决于在该后续时间段期间之该所判定所要输出能量而控制该辐射源之一输入参数。若该辐射源之该所监视输出能量与该参考能量信号之间的该所判定差之量值超过一临限值，则：该所判定差不贡献于该回馈值；且遍及该后续时间段根据一参考能量信号调整量变曲线而散布该所判定差，且针对该后续时间段将该参考能量信号调整量变曲线加至该参考能量信号。

72. 发明专利

TW201706579A 脈衝光束之光譜特徵度量衡审中-公开
简体标题：脉冲光束之光谱特征度量衡
公开(公告)号：TW201706579A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：TW105114464
申请日：2016-05-10
申请人：希瑪有限責任公司 , CYMER, LLC
发明人：索恩斯約書亞強 , THORNES, JOSHUA JON
IPC分类号： G01J3/45 , G01J3/26
CPC分类号： G01J3/26 , G01J3/027 , G01J3/18 , G01J3/2803 , G01J9/00
摘要：本發明提供一種度量衡系統，其包括在脈衝光束之路徑中且經組態以與該脈衝光束相互作用且輸出對應於該脈衝光束之光譜分量之複數個空間分量的一光學頻率分離設備；接收且感測該等輸出空間分量之複數個感測區域；及連接至每一感測區域之一輸出的一控制系統。該控制系統經組態以：對於每一感測區域輸出，量測一或多個脈衝的來自該光學頻率分離設備之該等輸出空間分量之一性質；分析該等經量測性質，包括平均化該等經量測性質以計算該脈衝光束之光譜特徵之一估計值；及判定該脈衝光束之該所估計光譜特徵是否在光譜特徵之值之一可接受範圍內。
简体摘要：本发明提供一种度量衡系统，其包括在脉冲光束之路径中且经组态以与该脉冲光束相互作用且输出对应于该脉冲光束之光谱分量之复数个空间分量的一光学频率分离设备；接收且传感该等输出空间分量之复数个传感区域；及连接至每一传感区域之一输出的一控制系统。该控制系统经组态以：对于每一传感区域输出，量测一或多个脉冲的来自该光学频率分离设备之该等输出空间分量之一性质；分析该等经量测性质，包括平均化该等经量测性质以计算该脉冲光束之光谱特征之一估计值；及判定该脉冲光束之该所估计光谱特征是否在光谱特征之值之一可接受范围内。

73. 发明专利

TW201640246A 光學源之波長穩定化审中-公开
简体标题：光学源之波长稳定化
公开(公告)号：TW201640246A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：TW105110381
申请日：2016-03-31
申请人：希瑪有限責任公司 , CYMER, LLC
发明人：阿拉瓦特拉赫 , AHLAWAT, RAHUL
IPC分类号： H05F3/04
CPC分类号： G03F7/70575 , G03F7/70041 , H01S3/0971 , H01S3/1305 , H01S3/137
摘要：判定自一光學源發射之一第一脈衝子集中之每一脈衝之一波長誤差，該波長誤差為一特定脈衝之一波長與一目標波長之間的差；基於該經判定波長誤差來判定一逐脈衝校正信號，該逐脈衝校正信號包括與該第一脈衝子集中之每一脈衝相關聯之一校正信號；及將基於該經判定逐脈衝校正信號之一校正施加至自該光學源發射之一第二脈衝子集中之每一脈衝，其中將一校正施加至該第二脈衝子集中之一脈衝會縮減該第二脈衝子集中之該脈衝之該波長誤差。
简体摘要：判定自一光学源发射之一第一脉冲子集中之每一脉冲之一波长误差，该波长误差为一特定脉冲之一波长与一目标波长之间的差；基于该经判定波长误差来判定一逐脉冲校正信号，该逐脉冲校正信号包括与该第一脉冲子集中之每一脉冲相关联之一校正信号；及将基于该经判定逐脉冲校正信号之一校正施加至自该光学源发射之一第二脉冲子集中之每一脉冲，其中将一校正施加至该第二脉冲子集中之一脉冲会缩减该第二脉冲子集中之该脉冲之该波长误差。

74. 发明专利

TWI542098B 兩腔室氣體放電雷射系統中高精度氣體再填充的系統及方法有权
简体标题：两腔室气体放电激光系统中高精度气体再填充的系统及方法
公开(公告)号：TWI542098B
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：TW101123026
申请日：2012-06-27
申请人：希瑪有限責任公司 , CYMER, LLC
发明人：江銳 , JIANG, RUI , 索恩斯約書亞J , THORNES, JOSHUA JON , 萊格斯丹尼爾J , RIGGS, DANIEL JASON , 歐布萊恩凱文M , O'BRIEN, KEVIN MICHAEL
IPC分类号： H01S3/036
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/22 , H01S3/225 , H01S3/2308 , H01S3/2366

75. 发明专利

TW201444418A 用於極紫外線光源之光束定位控制技術审中-公开
简体标题：用于极紫外线光源之光束定位控制技术
公开(公告)号：TW201444418A
公开(公告)日：2014-11-16
申请号：TW103109580
申请日：2014-03-14
申请人：希瑪有限責任公司 , CYMER, LLC
发明人：弗魯羅夫弗拉迪米爾B , FLEUROV, VLADIMIR B. , 佛蒙柯維伊格爾V , FOMENKOV, IGOR V.
IPC分类号： H05G2/00
CPC分类号： H05G2/008
摘要：一種用於極紫外線光源的系統包括一或更多個光學元件經定位用以接收一反射放大光束，並用以引導該反射放大光束進入第一、第二及第三通道，該反射放大光束包括與一標靶材料相互作用的一照射放大光束的至少一部分之反射；一感測源自於該第一通道之光線的第一感應器；一感測源自於該第二通道及該第三通道之光線的第二感應器，該第二感應器具有一較該第一感應器為低的採集率；以及一與一電腦可讀取儲存媒體耦合的電子處理器，該媒體儲存指令，當執行時，致使該處理器：自該第一感應器及該第二感應器接收數據，並根據該接收的數據，確定該照射放大光束相對於該標靶材料於一個以上的維度中的一處所。
简体摘要：一种用于极紫外线光源的系统包括一或更多个光学组件经定位用以接收一反射放大光束，并用以引导该反射放大光束进入第一、第二及第三信道，该反射放大光束包括与一标靶材料相互作用的一照射放大光束的至少一部分之反射；一传感源自于该第一信道之光线的第一感应器；一传感源自于该第二信道及该第三信道之光线的第二感应器，该第二感应器具有一较该第一感应器为低的采集率；以及一与一电脑可读取存储媒体耦合的电子处理器，该媒体存储指令，当运行时，致使该处理器：自该第一感应器及该第二感应器接收数据，并根据该接收的数据，确定该照射放大光束相对于该标靶材料于一个以上的维度中的一处所。

76. 发明专利

TW201421168A 適應性預補償靶材推出現象以使極紫外光生成作用最佳化之系統及方法审中-公开
简体标题：适应性预补偿靶材推出现象以使极紫外光生成作用最优化之系统及方法
公开(公告)号：TW201421168A
公开(公告)日：2014-06-01
申请号：TW102133353
申请日：2013-09-14
申请人：希瑪有限責任公司 , CYMER, LLC
发明人：凡德布吉特傑若恩 , VAN DER BURGT, JEROEN , 葛拉漢馬修R , GRAHAM, MATTHEW R. , 肯尼查理斯 , KINNEY, CHARLES , 杜恩斯坦威尼J , DUNSTAN, WAYNE J.
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70033 , B05B17/00 , H05G2/006 , H05G2/008 , H05H1/24
摘要：從一種雷射生成電漿(LPP)極紫外光(EUV)系統所輸出的能量會根據該雷射光束被聚焦在靶材液滴上以在一主要焦點處產生電漿的好壞程度來做變化。在叢發發射期間，要把液滴維持在主要焦點處是困難的，因為由之前液滴所產生的電漿會把後續的液滴推離該主要焦點。以目前的液滴間回授控制來重新調準液滴到主要焦點是相當緩慢的。本發明所描述的系統和方法可適應性地預補償液滴推出，其方式為藉由導向液滴到一個偏離該主要焦點的靶位，使得當一液滴被雷射照射時，該液滴會被該雷射光束推入該主要焦點處以產生電漿。隨著時間的進展，該EUV系統會學會保持即時的液滴位置調準，使得電漿一致性被地產生在該主要焦點的範圍內。
简体摘要：从一种激光生成等离子(LPP)极紫外光(EUV)系统所输出的能量会根据该激光光束被聚焦在靶材液滴上以在一主要焦点处产生等离子的好坏程度来做变化。在丛发发射期间，要把液滴维持在主要焦点处是困难的，因为由之前液滴所产生的等离子会把后续的液滴推离该主要焦点。以目前的液滴间回授控制来重新调准液滴到主要焦点是相当缓慢的。本发明所描述的系统和方法可适应性地预补偿液滴推出，其方式为借由导向液滴到一个偏离该主要焦点的靶位，使得当一液滴被激光照射时，该液滴会被该激光光束推入该主要焦点处以产生等离子。随着时间的进展，该EUV系统会学会保持实时的液滴位置调准，使得等离子一致性被地产生在该主要焦点的范围内。

77. 发明专利

TW201420795A 用於極紫外光源之靶材供給裝置审中-公开
简体标题：用于极紫外光源之靶材供给设备
公开(公告)号：TW201420795A
公开(公告)日：2014-06-01
申请号：TW102135338
申请日：2013-09-30
申请人：希瑪有限責任公司 , CYMER, LLC
发明人：戴迪西爾維亞 , DE DEA, SILVIA , 維斯晨庫喬治O , VASCHENKO, GEORGIY O. , 包姆加特彼得 , BAUMGART, PETER , 伯威林諾貝特R , BOWERING, NORBERT R.
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： G03F7/70033 , C23C14/185 , H05G2/003 , H05G2/006 , H05G2/008
摘要：一種用於超紫外(EUV)光源之靶材供給裝置包括一管，該管包括一第一端、一第二端及一界定在該等第一與第二端之間的側壁。該管之一外表面之至少一部份包括一電絕緣材料，該第一端收納一加壓靶材，且該第二端界定一孔口，並且該加壓靶材通過該孔口以產生一靶材微滴流。該靶材供給裝置亦包括一在該管之外表面上的導電塗層。該塗層係構形成使該管之外表面電氣地接地以藉此減少在該外表面上之表面電荷。
简体摘要：一种用于超紫外(EUV)光源之靶材供给设备包括一管，该管包括一第一端、一第二端及一界定在该等第一与第二端之间的侧壁。该管之一外表面之至少一部份包括一电绝缘材料，该第一端收纳一加压靶材，且该第二端界定一孔口，并且该加压靶材通过该孔口以产生一靶材微滴流。该靶材供给设备亦包括一在该管之外表面上的导电涂层。该涂层系构形成使该管之外表面电气地接地以借此减少在该外表面上之表面电荷。

78. 发明专利

SG11201908148VA RECOVERING SPECTRAL SHAPE FROM SPATIAL OUTPUT 未知
公开(公告)号：SG11201908148VA
公开(公告)日：2019-10-30
申请号：SG11201908148V
申请日：2018-04-02
申请人： CYMER LLC
发明人： KING BRIAN EDWARD
IPC分类号： G01J3/45 , G01J3/28
摘要： INTERNATIONAL APPLICATION PUBLISHED UNDER THE PATENT COOPERATION TREATY (PCT) (19) World Intellectual Property Organization International Bureau (43) International Publication Date 18 October 2018 (18.10.2018) WIP0 I PCT 0111111010 0111 °nolo mu °Iola iflo oimIE (10) International Publication Number WO 2018/191056 Al 130 125 I 140.---- 135(1) (51) International Patent Classification: GO1J 3/45 (2006.01) GO1J 3/28 (2006.01) (21) International Application Number: PCT/US2018/025738 (22) International Filing Date: 02 April 2018 (02.04.2018) (25) Filing Language: English (26) Publication Language: English (30) Priority Data: 62/483,423 09 April 2017 (09.04.2017) US 15/651,935 17 July 2017 (17.07.2017) US (71) Applicant: CYMER, LLC [US/US]; 17075 Thornmint Court, San Diego, California 92127-2413 (US). (72) Inventor: KING, Brian Edward; 17075 Thornmint Court, San Diego, California 92127-2413 (US). (74) Agent: NGUYEN, Joseph A.; CYMER, LLC, 17075 Thornmint Court, Corporate IP Department, M/S 4-2C, San Diego, California 92127-2413 (US). (81) Designated States (unless otherwise indicated, for every kind of national protection available): AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW. (84) Designated States (unless otherwise indicated, for every kind of regional protection available): ARIPO (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW), Eurasian (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM), European (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR), OAPI (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG). Declarations under Rule 4.17: as to applicant's entitlement to apply for and be granted a patent (Rule 4. 17(ii)) Published: — with international search report (Art. 21(3)) (54) Title: RECOVERING SPECTRAL SHAPE FROM SPATIAL OUTPUT (57) : A method is performed for estimating the optical spec- 35(2 , trum of a tight beam. The method includes: projecting the light beam onto distinct spatial areas of a spectrometer, wherein each spatial area vooN receives a different filtered version of the optical spectrum; detecting a characteristic of the projected light beam at each of the distinct spatial ..1 ) areas of the spectrometer; receiving a two-dimensional matrix in which 11144: , each entry of the matrix provides a relationship between one or more spatial areas and each spectral feature, wherein the two-dimensional ma- trix is related to the input-output relationship of the spectrometer; and estimating the optical spectrum of the light beam based on an analysis that uses both the detected light beam characteristics and the received two-dimensional matrix. 105 W O 20 18/ 19 105 6 Al 150 eo 101 155 Fig. 1 wits)

79. 发明专利

SG11201810276YA LITHOGRAPHY OPTICS ADJUSTMENT AND MONITORING 未知
公开(公告)号：SG11201810276YA
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：SG11201810276Y
申请日：2017-06-29
申请人： CYMER LLC
发明人： BIBBY JR , ZURITA OMAR , SUBRAMANIAN ABHISHEK , DUFFEY THOMAS PATRICK , TAHBOUB KHALID KHULUSI , ROKITSKI ROSTISLAV , HARAN DONALD JAMES , THORNES JOSHUA JON
IPC分类号： G03B27/02 , G03B7/20 , H01L21/027
摘要： Methods and apparatus for processing an image of a beam generated by an optical system to extract information indicative of an extent of damage to optical elements in the optical system. Also disclosed is a beam image and analysis tool capable of acquiring an image of a beam at any one of a number of locations.

80. 发明专利

NL2019675A SPECTRAL FEATURE CONTROL APPARATUS 未知
公开(公告)号：NL2019675A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：NL2019675
申请日：2017-10-05
申请人： CYMER LLC
发明人： ERIC ANDERS MASON
IPC分类号： G03F7/20
摘要： A spectral feature selection apparatus includes a dispersive optical element arranged to interact with a pulsed light beam; three or more refractive optical elements arranged in a path of the pulsed light beam between the dispersive optical element and a pulsed optical source; and one or more actuation systems, each actuation system associated with a refractive optical element and configured to rotate the associated refractive optical element to thereby adjust a spectral feature of the pulsed light beam. At least one of the actuation systems is a rapid actuation system that includes a rapid actuator configured to rotate its associated refractive optical element about a rotation axis. The rapid actuator includes a rotary stepper motor having a rotation shaft that rotates about a shaft axis that is parallel with the rotation axis of the associated refractive optical element.

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