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71. 发明授权

EP1031533B1 Système de distribution de liquide et son utilisation pour la distribution d'un liquide ultra-pur 有权
标题翻译：液体用于分配分配装置，并使用高纯度的液体
公开(公告)号：EP1031533B1
公开(公告)日：2003-10-15
申请号：EP99403239.9
申请日：1999-12-21
申请人： Air Liquide Electronics Systems
发明人： Guarneri, Georges
IPC分类号： B67D5/02 , B67D5/60
CPC分类号： B67D7/02 , B67D7/0272 , B67D7/0283 , B67D7/78 , Y10T137/0396 , Y10T137/3124 , Y10T137/3127

72. 发明公开

EP0980741A1 Dispositif et procédé de distribution de suspension abrasive pour le polissage mécanique de substrat 有权
标题翻译：用于基材的机械抛光分配抛光剂浆料的方法和装置
公开(公告)号：EP0980741A1
公开(公告)日：2000-02-23
申请号：EP99401715.0
申请日：1999-07-08
申请人： Air Liquide Electronics Systems
发明人： Laederich, Thierry , Guarneri, Georges , Dulphy, Hervé
IPC分类号： B24B37/04 , B24B57/02
CPC分类号： B24B57/02 , B24B37/04 , Y10T137/4673 , Y10T137/469 , Y10T137/4807
摘要： Appareil de distribution de suspensions abrasives comportant:

un réservoir (1) contenant une suspension abrasive (2),
une boucle de distribution (3,7,9,40) de la suspension abrasive (2) reliée au réservoir (1),
des moyens de circulation (5,6) pour faire circuler la suspension abrasive (2) à boucle et assurer son retour dans le réservoir (1),
des moyens de récupération (1) pour récupérer la suspension abrasive (2) après circulation dans la boucle,
des moyens de régulation (81) des moyens de circulation de manière à maintenir une circulation continue de la suspension (2).
摘要翻译：磨料悬浮液或浆料的分布，该装置包括在再循环轮廓（40）与泵（5,6）的贮存器（1）和过滤器（8），和一个流量控制系统，其包括一个压力传感器（80）和一个比例 - 积分 - 微分（PID）块（81）电连接到泵。因此，该装置包括压力下E.G.重新填充贮液器（42），储存器（44），用于在惰性气体氮气高纯度的（N2），并在线路向用户终端阀（70,71,72）。在配电系统中的流速的限制0.2-10米/秒范围内，优选0.5-2米/秒或1-1.2米/秒。两个泵（5,6）并联连接，在各功率的50％，在一个泵的击穿的情况下的100％的可能性操作。因此，分配系统包含装置，用于压力，以防止过滤器堵塞下在气体去离子水的蒸发。在另一个中，该装置的实施例包括两个储存器为并联连接的磨料悬浮液中，并与压力传感器，PID块的控制系统，以及附加的控制的阀和液位传感器。

73. 发明公开

EP0972977A1 Dispositif de régulation de pression, système de fourniture de gaz et installation de distribution de liquide de travail correspondents 有权
标题翻译： Druckregler，Gasversorgungssystem und Installation zur Verteilung entsprechender Arbeitsfluide
公开(公告)号：EP0972977A1
公开(公告)日：2000-01-19
申请号：EP99401763.0
申请日：1999-07-13
申请人： Air Liquide Electronics Systems
发明人： Guarneri, Georges
IPC分类号： F16K17/18 , G05D16/12 , B01J4/00 , B65D90/32
CPC分类号： B01J4/008 , B01J2219/00162 , F16K17/194 , G05D16/0605 , Y10T137/3127 , Y10T137/778
摘要： Ce dispositif (12) de régulation de pression pour fournir un gaz à un récipient (4) comprend une entrée (14) destinée à être raccordée à une source (7) dudit gaz sous pression, une sortie (16), reliée par un canal (31) à ladite entrée (14) et destinée à être mise en communication avec le récipient (4), un premier clapet (36) de limitation de la pression à ladite sortie (16) à une valeur maximale prédéterminée Ps, lequel clapet (36) est un clapet de refoulement disposé dans un premier passage (34) qui relie ledit canal (31) à un orifice (27) d'évacuation de gaz inerte. Le dispositif (12) comprend également un deuxième clapet (39) de maintien de la pression à ladite sortie (16) au-dessus d'une valeur minimale prédéterminée Pi, lequel clapet (39) est un clapet d'aspiration disposé dans un deuxième passage (35) qui relie ledit canal (31) à un orifice (27) d'admission de fluide dans ce canal.
Application à la fourniture de liquides de travail dans l'industrie électronique.
摘要翻译：连接到加压气体源（7）的入口（14）和连接到接收器（4）的出口（16）通过通道（31）连接。将出口压力限制到设定最大值（Ps）的输送阀（36）安装在通道和惰性气体出口（27）之间。保持出口压力高于设定最小值（Pi）的吸入阀（39）安装在通道和流体入口（27）之间。第一个阀是一个打开/关闭阀，可以在通道和出口的压力之间的正压差作用下从下闭合位置移动到上部打开位置，质量被校准为作用在预设差值P < +>℃。阀座是水平的。出口孔以压力Pa和P + c = Ps-Pa连接到环境大气。第二阀是在通道和入口之间的压力之间的负压差的作用下在下闭合位置和上打开位置之间移动的第二开/关阀，质量被校准到预设差P c 。阀座是水平的。入口孔在压力（Pa）和P <= c = Pi-Pa下连接到环境大气。包括这种调节器的气体供应系统，将气体膨胀到在（Pi）和（Ps）之间并且优选靠近（Ps）之间的压力（Pc）。

74. 发明公开

EP4352276A1 DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DISTRIBUTION D'UNE PHASE GAZEUSE D'UN PRÉCURSEUR SOLIDE 审中-实审
公开(公告)号：EP4352276A1
公开(公告)日：2024-04-17
申请号：EP22723129.7
申请日：2022-04-15
申请人： Air Liquide Electronics Systems
发明人： PLAZA, Sonia , TODOROVA, Vanina , DULPHY, Hervé , LAURENT, Valere
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/52 , C23C16/455 , B01D1/00 , B01D7/00
CPC分类号： C23C16/4481 , C23C16/4485 , C23C16/52 , C23C16/45561 , B01D7/00 , B01D1/0082 , H01L21/67017

75. 发明公开

EP1538390A3 Système de chauffage de bouteilles de gaz liquéfié par induction 审中-公开
标题翻译：系统，用于通过感应加热液体气瓶
公开(公告)号：EP1538390A3
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：EP04300846.5
申请日：2004-12-03
申请人： Air Liquide Electronics Systems
发明人： Rameau, Guillaume , Laurent, Valère , Breville, Thierry
IPC分类号： F17C9/02
CPC分类号： F17C9/02 , F17C2201/0109 , F17C2201/0119 , F17C2201/054 , F17C2205/018 , F17C2205/0338 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2223/043 , F17C2225/0123 , F17C2225/035 , F17C2227/0302 , F17C2250/043 , F17C2250/0439 , F17C2250/0443 , F17C2250/0636 , F17C2270/0518
摘要： L'invention concerne un système pour délivrer du gaz stocké dans un récipient sous forme liquéfiée, ledit récipient comportant dans sa partie inférieure une phase liquéfiée dudit gaz et dans la partie supérieure une phase gazeuse dudit gaz, ce récipient comportant un moyen pour le connecter à un moyen d'utilisation ainsi qu'un moyen de chauffage de la partie inférieure dudit récipient ; selon l'invention, le gaz liquéfié et/ou l'enveloppe du récipient sont des éléments conducteurs électriques et les moyens de chauffage sont constitués par des moyens d'induction magnétiques capables de créer un champ magnétique alternatif dans l'enveloppe et/ou le liquide de manière à chauffer l'enveloppe dans sa partie inférieure et/ou le liquide dans le récipient, tout en limitant le chauffage du gaz par lesdits moyens.

76. 发明公开

EP1128183A3 Detector agent for halogen compounds and method for detecting halogen compounds. 审中-公开
标题翻译：方法和试剂用于检测卤代化合物的
公开(公告)号：EP1128183A3
公开(公告)日：2005-06-15
申请号：EP01400158.0
申请日：2001-01-19
申请人： L'air Liquide, S.A. à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude , Air Liquide Electronics Systems
发明人： Ibaraki, Yoshihiro , Kawanaka, Hideji , Ina, Hidekazu , Ando, Shinichi
IPC分类号： G01N31/22
CPC分类号： G01N31/224 , Y10T436/153333 , Y10T436/19
摘要： There are provided a detector agent which is effectively discolored at a lower concentration for various halogen compounds and a method for detecting halogen compounds by use of said detector agent. A detector agent for halogen compounds, which contains curcumin or Bromocresol Green as a discoloring component, and said discoloring component is preferably supported on granular activated alumina.

77. 发明公开

EP1538390A2 Système de chauffage de bouteilles de gaz liquéfié par induction 审中-公开
标题翻译：系统zum Erhitzen vonFlüssiggasflaschenper Induktion
公开(公告)号：EP1538390A2
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：EP04300846.5
申请日：2004-12-03
申请人： Air Liquide Electronics Systems
发明人： Rameau, Guillaume , Laurent, Valère , Breville, Thierry
IPC分类号： F17C9/02
CPC分类号： F17C9/02 , F17C2201/0109 , F17C2201/0119 , F17C2201/054 , F17C2205/018 , F17C2205/0338 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2223/043 , F17C2225/0123 , F17C2225/035 , F17C2227/0302 , F17C2250/043 , F17C2250/0439 , F17C2250/0443 , F17C2250/0636 , F17C2270/0518
摘要： L'invention concerne un système pour délivrer du gaz stocké dans un récipient sous forme liquéfiée, ledit récipient comportant dans sa partie inférieure une phase liquéfiée dudit gaz et dans la partie supérieure une phase gazeuse dudit gaz, ce récipient comportant un moyen pour le connecter à un moyen d'utilisation ainsi qu'un moyen de chauffage de la partie inférieure dudit récipient ; selon l'invention, le gaz liquéfié et/ou l'enveloppe du récipient sont des éléments conducteurs électriques et les moyens de chauffage sont constitués par des moyens d'induction magnétiques capables de créer un champ magnétique alternatif dans l'enveloppe et/ou le liquide de manière à chauffer l'enveloppe dans sa partie inférieure et/ou le liquide dans le récipient, tout en limitant le chauffage du gaz par lesdits moyens.
摘要翻译：该系统具有带交替发电机的加热单元，其产生交变磁场以加热容器的壳体和/或容器中气体的液化相。该发生器包括一组电感器（84a，84b，84c），并以50赫兹和4兆赫兹之间的频率工作。加热单元具有围绕容器的90％的电线圈。还包括用于输送存储在容器中的气体的系统的独立权利要求。

78. 发明公开

EP1095905A1 Procédé de purification de solutions aqueuses de peroxyde d'hydrogène 审中-公开
标题翻译： Verfahren zur Reinigung vonwässrigenWasserstoffperoxidlösungen
公开(公告)号：EP1095905A1
公开(公告)日：2001-05-02
申请号：EP00402825.4
申请日：2000-10-12
申请人： L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE , Air Liquide Electronics Systems
发明人： Devos, Christine , Demay, Didier , Dulphy, Hervé
IPC分类号： C01B15/013 , B01J47/06 , B01J47/02
CPC分类号： B01J47/028 , B01J47/06 , C01B15/0135
摘要： Procédé de purification sur le site d'une solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène dans lequel on fait traverser à la solution un lit de résine (71) susceptible, au moins partiellement, d'adsorber ou d'absorber les impuretés présentes dans la solution. La solution de peroxyde d'hydrogène (11) est injectée dans le lit de résine et traverse celui-ci à une vitesse sensiblement linéaire comprise de préférence entre 10m/h et 50m/h et de préférence entre 10m/h et 20m/h tandis que le lit de résine est maintenu sensiblement tassé pendant au moins 50% de la durée de la purification de la solution par passage au contact de ladite résine
摘要翻译：该方法是通过蒸馏获得的预纯化过氧化氢的补充纯化，以生产适用于生产半导体的超纯产品。用于纯化过氧化氢的现场方法包括使溶液以10-50m / h，优选10-20m / h的线速度注入到树脂床中。床被保持适当地包装下来至少通过床的时间的50％。还包括独立声明，用于安装以实现该过程。

79. 发明公开

EP1031533A1 Système de distribution de liquide et son utilisation pour la distribution d'un liquide ultra-pur 有权
标题翻译： Flüssigkeitsabgabevorrichtungund Verwendung zum Abgeben einer hochreinenFlüssigkeit
公开(公告)号：EP1031533A1
公开(公告)日：2000-08-30
申请号：EP99403239.9
申请日：1999-12-21
申请人： Air Liquide Electronics Systems
发明人： Guarneri, Georges
IPC分类号： B67D5/02 , B67D5/60
CPC分类号： B67D7/02 , B67D7/0272 , B67D7/0283 , B67D7/78 , Y10T137/0396 , Y10T137/3124 , Y10T137/3127
摘要： Le liquide à distribuer part d'un réservoir (3A, 3B) maintenu sous une première surpression P1, d'où il est transféré à une cuve intermédiaire de stockage (11) maintenue sous une pression intermédiaire prédéterminée P2 > P1. En aval de cette cuve sont montés en parallèle plusieurs récipients de distribution de faible volume (12A, 12B), dont chacun peut être mis soit à une pression de distribution P3 > P2, soit à une pression de remplissage P4
Application à la distribution de produits chimiques ultra-purs destinés à l'industrie micro-électronique.
摘要翻译：液体分配系统具有保持液体的供应罐，其具有预设压力的顶部空间，连接到具有较高压力的顶部空间的中间储罐和并联布置并提供用户网络的接收罐。接收罐的容积远小于中间罐的容积。通过分别施加相对于中间罐中的压力的较低和较高压力来填充和排空接收罐。所有的罐都可以用氮气加压。中间罐体积为220-1.5m 3。每个接收罐是1-50升的管。供应罐为100毫巴，中间罐为100-500毫巴，施加到接收罐的排空压力为0.5-6巴。液体从用户网络循环回中间罐。供应和中间罐之间的连接包括过滤器。

80. 发明公开

EP0939353A1 Dispositif auxiliaire de commande d'au moins un organe fonctionnel à commande électrique 审中-公开
标题翻译：机器人器官on ans ans ans ans ans ans ans ans ans ans ans ans ans ans ans
公开(公告)号：EP0939353A1
公开(公告)日：1999-09-01
申请号：EP99400311.9
申请日：1999-02-10
申请人： Air Liquide Electronics Systems
发明人： Viton, Michel
IPC分类号： G05B9/02
CPC分类号： G05B9/02 , Y10T307/391 , Y10T307/461
摘要： L'invention concerne un dispositif auxiliaire de commande d'au moins un organe fonctionnel à commande électrique (3), destiné à remplacer une unité (5) principale de commande dudit au moins un organe fonctionnel (3), et enfichable dans des bornes (7, 9, 11) de raccordement de celle-ci prévues à cet effet. Ledit dispositif (1) comprenant pour chaque organe fonctionnel (3) un interrupteur (12) à commande manuelle interposé entre une ligne de fourniture (14) d'un potentiel électrique de commande destinée à être raccordée à une borne d'alimentation associée (9), et une ligne associée de transmission (16) du potentiel électrique de commande audit au moins un organe fonctionnel (3). Il comprend en outre pour chaque interrupteur (12) un organe (18) associé de commande de moyens (20) de sécurité d'amenée dudit potentiel électrique de commande audit au moins un interrupteur (12), l'activation desdits moyens de sécurité (20) étant provoquée par le premier état d'ouverture dudit au moins un interrupteur (12).
摘要翻译：辅助控制器连接到受控设备上的端子（7,9,11）。每个主动控制部件（3）在控制电压线（14）和信号传输线（16）之间具有手动开关（12）。每个手动开关具有相关联的安全单元（18,20），其在手动开关移动到备用位置时将控制电压连接到手动开关。

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