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61. 发明公开

EP2368039A2 ELECTRIC PROPULSION 失效
标题翻译：电推进
公开(公告)号：EP2368039A2
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：EP09802194.2
申请日：2009-12-17
申请人： QinetiQ Limited
发明人： CORBETT, Michael, Henry , WALLACE, Neil, Charles
IPC分类号： F03H1/00
CPC分类号： F03H1/0056 , F03H1/00 , F03H1/0018 , F03H1/0037 , F03H1/0043
摘要： An electric propulsion system comprising a plasma chamber having first and second apertures for producing ion beams. Respective first and second coils are arranged about the chamber to produce an electromagnetic field in regions adjacent to the apertures, and are driven differentially by a radio frequency (RF) drive module. By driving the coils differentially, the electric field in the region of the two apertures can be differentially controlled, and a variation of output thrusts at the two apertures is possible. In this way a net thrust can be produced, which net thrust is varied by controlling the drive to the two coils.
摘要翻译：一种电动推进系统，包括具有用于产生离子束的第一和第二孔的等离子体室。相应的第一和第二线圈围绕腔室布置以在与孔相邻的区域中产生电磁场，并且通过射频（RF）驱动模块差分驱动。通过差动驱动线圈，可以差别地控制两个孔径区域中的电场，并且可以改变两个孔径处的输出推力。通过这种方式可以产生净推力，该推力通过控制两个线圈的驱动来改变。

62. 发明公开

EP1931877A2 SYSTEM, APPARATUS, AND METHOD FOR GENERATING DIRECTIONAL FORCES BY INTRODUCING A CONTROLLED PLASMA ENVIRONMENT INTO AN ASYMMETRIC CAPACITOR 审中-公开
标题翻译：系统，设备及其制造方法方向力通过引入受控等离子体环境非对称电容器
公开(公告)号：EP1931877A2
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：EP06802530.3
申请日：2006-08-25
申请人： Robert Chrysler Brennan, Trustee for SDI TECHNOLOGY TRUST
发明人： BRENNAN, Robert Chrysler , PENNY, L. Stuart , HIGMAN, Kumiko Iso
IPC分类号： F03H1/00
CPC分类号： F03H1/00 , F03H99/00 , H02N1/002
摘要： The present invention provides method, apparatus, and system that generates and uses a motive and other force by introducing a plasma environment into an asymmetric capacitor, resulting in a significant gain in force. In one embodiment, the energy field is energized by applying a system to increase a plasma density by ionizing the plasma environment in the energy field through electromagnetic radiation, by increasing the plasma temperature, or some combination thereof. The invention also generates a flow of energy or plasma directed outward from the apparatus. The present invention can also provide the motive forces at a variety of angles at substantially reduced voltage levels.

63. 发明公开

EP1655762A1 Katodenanordnung zur Zerstäubung eines drehbaren Targetrohres 有权
标题翻译： Katodenanordnung zurZerstäubungeines drebbaren Targetrohres
公开(公告)号：EP1655762A1
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：EP05007131.5
申请日：2005-03-31
申请人： Applied Films GmbH & Co. KG , Applied Films Corporation
发明人： Newcomb, Richard , Trube, Scott , Riso, Tom , Kawakami, Ken , Marquardt, Dietmar , Sauer, Andreas
IPC分类号： H01J37/34
CPC分类号： F03H1/00 , H01J37/3405
摘要： Die Erfindung betrifft eine Katodenanordnung zur Zerstäubung eines Targetrohres (12) mit einem nicht drehbaren Magnetsystem (23) zur Erzeugung eines Magnetfeldes zum Einschluss eines Plasmas, wobei das Targetrohr (12) innerhalb einer Vakuumkammer durch das Magnetfeld hindurch drehbar ist, wobei in mindestens einer Tragkonstruktion (1) eine antreibbare Tragwelle (6) für das Targetrohr (12) angeordnet ist, wobei ferner innnerhalb des Targetrohres (12) eine Halterung für das Magnetsystem (23) angeordnet ist und wobei zwischen der Tragwelle (6) und dem Targetrohr (12) mindestens eine lösbare Kupplungsanordnung für das Auswechseln des Targetrohres (12) angeordnet ist. Zur Lösung der Aufgabe, bei der eingangs beschriebenen Katodenanordnung gleichzeitig eine hohe und hoch belastbare Koaxialität von Tragwelle(n) (6) und Targetrohren (12), eine zuverlässige Abdichtung gegenüber Wasser und Vakuum und eine leichte, oftmals wiederholbare verschleissarme Verbindung und Trennung von Tragwelle(n) (6) und Targetrohren (12) ohne Bedarf grosser Freiräume und Zeitspannen für die erforderlichen Manipulationen herbei zu führen und einen guten Rundlauf bei konstanter Achslage zu gewährleisten, wird erfindungsgemäss vorgeschlagen, dass mindestens zwischen der antreibbaren Tragwelle (6) und dem Targetrohr (12) ein hierzu koaxiales Distanzstück (15) und zwei lösbare Trennstellen (32/53) angeordnet sind, und dass durch die Trennstellen (32/53) die drehfesten und formsteifen Verbindungen zwischen der Tragwelle (6) und dem Distanzstück (15) einerseits und dem Distanzstück (15) und einem Targetrohr (12) andererseits lösbar und wieder herstellbar sind.
摘要翻译：组件具有布置在支撑结构中的用于管状目标的支撑轴。在轴和目标之间提供可拆卸的联接装置以更换目标。同轴间隔件和两个分离点（32）布置在轴和靶之间。分离点在轴和间隔件之间产生扭矩抵抗和刚性连接，以及间隔件和目标之间的可拆卸连接。

64. 发明公开

EP1200984A2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR CLUSTERFRAGMENTATION 有权
标题翻译：方法和设备集群碎片
公开(公告)号：EP1200984A2
公开(公告)日：2002-05-02
申请号：EP00956226.5
申请日：2000-07-20
申请人： Max-Planck-Gesellschaft zur Förderungder Wissenschaften e.V.
发明人： GEBHARDT, Christoph , SCHRÖDER, Hartmut
IPC分类号： H01J49/04
CPC分类号： F03H1/00 , H01J27/026 , H01J49/0463 , H05H3/02
摘要： The invention relates to a method for cluster fragmentation comprising the production of at last one cluster containing one carrier substance and the fragmentation of the cluster into cluster fragments, whereby the cluster is charged with at least one coreactant before fragmentation and the coreactant is part of at least one cluster fragment after fragmentation. The invention also relates to a cluster radiation system for implementing the method and to applications of cluster fragmentation in the analysis and cleaning of surfaces, in the analysis of clusters and in the operation of ion engines.

65. 发明公开

KR1020070035351A 플라즈마 가속기 有权
标题翻译：等离子加速器
公开(公告)号：KR1020070035351A
公开(公告)日：2007-03-30
申请号：KR1020050090097
申请日：2005-09-27
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 박원택 , 파쉬코프스키바실리 , 톨마체프유리
IPC分类号： H05H1/54
CPC分类号： F03H1/00 , H01L21/67063 , H05H1/54
摘要： 플라즈마 가속기가 개시된다. 본 발명에 따른 플라즈마 가속기는, 상부가 막히고 하부가 개방되며, 옆면이 외벽으로 둘러싸인 챔버부, 상호 간에 직렬로 연결되며, 서로 반대 방향으로 챔버부의 외벽을 감싸는 복수 개의 코일들로 이루어진 제1 코일부, 및 제1 코일부를 이루는 코일들 사이에 위치하며, 상호 간에 직렬로 연결되며, 서로 반대 방향으로 챔버부의 외벽을 감싸는 복수 개의 코일들로 이루어진 제2 코일부를 포함한다. 이에 의해 코일들 사이의 상호 인덕턴스를 작게 하여, 각 코일에 인가되는 전류의 크기 및 위상 차이를 정확히 조절하고, 또한 구동회로를 단순화할 수 있다.
플라즈마 가속기, 상호 인덕턴스, 2 코일 가속기, 알 에프 제너레이터

66. 发明公开

KR1020060050479A 회전형 타깃관 스퍼터링용 음극설비 有权
标题翻译：用于喷射可旋转目标管的阴极装置
公开(公告)号：KR1020060050479A
公开(公告)日：2006-05-19
申请号：KR1020050074757
申请日：2005-08-16
申请人： 어플라이드 머티어리얼즈 게엠베하 운트 컴퍼니 카게 , 어플라이드 머티리얼스, 인코포레이티드
发明人： 뉴콤리챠드 , 트르베스코트 , 리조톰 , 가와카미켄 , 마르크바르트디트마 , 자우어안드레아스
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： F03H1/00 , H01J37/3405
摘要： 본 발명은 플라즈마를 흡장(吸藏)시키기 위한 자계(磁界)를 발생시키기 위하여 비회전 자석장치(非回轉磁石裝置)(23)를 갖고 있는 타깃관(target tube)(12)을 스퍼터링(sputtering) 시키기 위하여, 이때 상기 타깃관(12)은 진공실 내의 자계 속에서 회전될 수 있으며, 최소 1개 이상의 지지구조(1) 안에는 타깃관(12)을 회전시킬 수 있는 회전 지지축(6)이 장치되어 있고, 또한 상기 타깃관(12) 내에는 자석장치(23)를 지지하기 위한 파지부(把持部)가 장치되어 있으며, 상기 지지축(6)과 타깃관(12) 사이에는 타깃관(12)의 교체를 위한 최소 1개 이상의 분해 가능한 결합장치가 장치되어 있는 타깃관 스퍼터링 음극설비(陰極設備)에 관한 것이다.
전술한 바와 같은 음극설비에 있어서 운전조작 및 취급에 필요로 하는 공간과 시간을 크게 소요하지 않고 지지축(6)과 타깃관(12)에 대한 동시적인 고부하 동축성(高負荷同軸性)과, 습기 및 진공에 대한 안전하고 확실한 밀페성과, 빈번하게 반복되는 상기 지지축(6)과 타깃관(12)의 결합 및 분리작업의 용이성 및 내구성을 달성하고, 일정한 축 위치에서 동심회전(同心回轉)을 보장하는 본 발명의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따라 적어도 상기 회전구동 지지축(6)과 상기 타깃관(12) 사이에 1개의 동축 스페이서(15)와 2개의 분리/결합식 분리부(分離部)(32/53)들을 장치하고, 상기 분리부(32/53)들을 이용하여 한편으로는 상기 지지축(6)과 스페이서(15) 사이와, 다른 한편으로는 상기 스페이서(15)와 타깃관(12) 사이에 회전방지 및 정밀결합 장치를 분리/재결합 가능하도록 하는 방법이 제안되었다.
캐소드 배열, 연료분사, 동심회전, 비회전 자석장치 구비관 , 플라즈마 흡장

68. 发明专利

JP2017123310A プラズマ加速装置およびプラズマ加速方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017123310A
公开(公告)日：2017-07-13
申请号：JP2016002734
申请日：2016-01-08
申请人：三菱重工業株式会社 , 国立大学法人名古屋大学
发明人：佐宗章弘 , 岩川輝 , 市原大輔 , 水谷佳祐 , 山▲崎▼ 拓也 , 笹原松隆 , 岩崎知二 , 安井正明
IPC分类号： F03H1/00 , H05H1/54
CPC分类号： F03H1/00 , H05H1/54
摘要：【課題】推力効率のよいプラズマ加速装置およびプラズマ加速方法を提供すること。【解決手段】プラズマ加速装置は、プラズマ加速領域に電子を供給するカソード11と、アノード12と、カソードとアノードとの間に電圧を印加する電源13と、カソードよりも外周側に配置され、推進剤をプラズマ加速領域に供給する供給口14と、カソードから供給された電子がアノードに向かうことを抑制する第1の軸方向磁場をプラズマ加速領域の上流側領域に発生させる第1磁場発生体15とを備える。【選択図】図4

69. 发明专利

JP4557870B2 Electromagnetic induction accelerating device and dry etching apparatus 有权
公开(公告)号：JP4557870B2
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：JP2005339181
申请日：2005-11-24
申请人：三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd.
发明人：ヴォリネツウラディミル , 源澤朴 , 晉祐柳
IPC分类号： H01L21/3065 , H05H1/24 , H05H1/46 , H05H1/54
CPC分类号： H05H1/54 , F03H1/00 , H01J37/32623

70. 发明专利

JP2006131989A Cathode apparatus for spattering onto rotatable target pipe 有权
标题翻译：用于在可旋转的目标管上进行散热的阴极装置
公开(公告)号：JP2006131989A
公开(公告)日：2006-05-25
申请号：JP2005164772
申请日：2005-06-03
申请人： Applied Films Corp , Applied Films Gmbh & Co Kg , アプライドフィルムスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングウントコンパニーコマンディートゲゼルシャフトApplied Films GmbH & Co. KG , アプライドフィルムスコーポレイション
发明人： NEWCOMB RICHARD , TRUBE SCOTT , RISO TOM , KAWAKAMI KEN , MARQUARDT DIETMAR , SAUER ANDREAS
IPC分类号： C23C14/35
CPC分类号： F03H1/00 , H01J37/3405
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the apparatus which can simultaneously achieve concentricity of supporting spindle and target pipe enabling high accuracy and high loading, highly reliable seal to water and vacuum, and the junction and separation portions of the supporting spindle and target pipe in which operation can be easily, frequently and repeatedly carried out and of which abrasion is little without needing widely free space and a long time for essential operation.
SOLUTION: At least between the supporting spindle 6 and target pipe 12 which can be driven, coaxial spacer parts 15, 67 for above components and two separable portions 32/53;60/61 are arranged, and the junction portion, wherein relative revolution on the one side, between the supporting spindle 6 and the spacer parts 15, 67 and on the other side, between the spacer parts 15, 67 and the target 12 is impossible and also of which mechanism is rigid in profile, can be disassembled and reassembled by arranging such separable portions 32/53;60/61.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：提供能够同时实现支撑主轴和目标管的同心度的设备，其能够实现高精度和高负载，对水和真空的高度可靠的密封，以及支撑主轴和目标的接合和分离部分可以容易地，频繁地重复地进行操作并且磨损少的管道，而不需要广泛的自由空间和长时间的基本操作。解决方案：至少在支撑主轴6和可被驱动的目标管12之间，布置有用于上述部件的同轴间隔件15,67和两个可分离部分32/53; 60/61，并且接合部分，其中在支撑主轴6和间隔部分15,67之间以及另一侧之间在间隔部分15,67和目标12之间的相对转动是不可能的，并且其机构的轮廓是刚性的，可以是通过布置这种可分离部分32/53; 60/61来拆卸和重新组装。版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

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