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61. 发明专利

DE102019210946A1 LIDAR-Sensor zur optischen Erfassung eines Sichtfeldes und Verfahren zur optischen Erfassung eines Sichtfeldes 未知
公开(公告)号：DE102019210946A1
公开(公告)日：2021-01-28
申请号：DE102019210946
申请日：2019-07-24
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： MAURER THOMAS , MONTEIRO NUNO , HATTASS MIRKO , OLIVEIRA JOAO
IPC分类号： G01S7/481
摘要： LIDAR-Sensor (100) zur optischen Erfassung eines Sichtfeldes (103) umfassend wenigstens eine Lichtquelle (101) zum Erzeugen und Aussenden von Primärlicht (102) in das Sichtfeld (103); wenigstens eine Detektoreinheit (105) zum Empfangen von Sekundärlicht (106), das im Sichtfeld (103) von einem Objekt (104) reflektiert und/oder gestreut wurde; wenigstens einen, zwischen dem Sichtfeld (103) und der Detektoreinheit (105) angeordneten, optischen Bandpassfilter (109) zum Herausfiltern von Hintergrundlicht; und wenigstens ein thermisch leitfähiges Element (108) welches dazu ausgebildet ist, die Lichtquelle (101) und den optischen Bandpassfilter (109) thermisch zu koppeln.

62. 发明专利

DE102012208033B4 Hybrid integriertes Bauteil und Verfahren zu dessen Herstellung 未知
公开(公告)号：DE102012208033B4
公开(公告)日：2020-08-06
申请号：DE102012208033
申请日：2012-05-14
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： HATTASS MIRKO , BERGMANN YVONNE , WEBER HERIBERT , FISCHER FRANK
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00 , B81C3/00 , G01P15/08 , H01L21/50 , H01L23/50 , H01L25/16
摘要： Bauteil (100) mit mindestens einem MEMS-Bauelement (10), mit einer Kappe (11) für die mikromechanische Struktur (131) des MEMS-Bauelements (10) und mit mindestens einem ASIC-Substrat (20),• wobei die mikromechanische Struktur (131) des MEMS-Bauelements (10) in der Funktionsschicht (13) eines SOI-Wafers (10) realisiert ist,• wobei das MEMS-Bauelement (10) face-down, mit der strukturierten Funktionsschicht (13) auf dem ASIC-Substrat (20) montiert ist und• wobei die Kappe (11) im Substrat des SOI-Wafers (10) realisiert ist; dadurch gekennzeichnet,dass das ASIC-Substrat (20) ein Ausgangssubstrat (21) umfasst, das beidseitig mit einem Schichtaufbau versehen ist, dass sowohl im MEMS-seitigen Schichtaufbau als auch im rückseitigen Schichtaufbau des ASIC-Substrats (20) jeweils mindestens eine Schaltungsebene (1, 2; 3, 4) realisiert ist, und dass im ASIC-Substrat (20) mindestens ein ASIC-Durchkontakt (29) ausgebildet ist, der von der Rückseite des Bauteils (100) ausgehend zumindest eine Schaltungsebene (3) des rückseitigen Schichtaufbaus und/oder zumindest eine Schaltungsebene (1) des MEMS-seitigen Schichtaufbaus elektrisch kontaktiert,dass auf dem MEMS-Bauelement (10) ein kappenseitiger Schichtaufbau mit mindestens einer Schaltungsebene (5, 6) realisiert ist und dass im MEMS-Bauelement (10) mindestens ein MEMS-Durchkontakt (19) ausgebildet ist, der von der Oberseite des Bauteils (300) ausgehend zumindest eine Schaltungsebene (5) des kappenseitigen Schichtaufbaus elektrisch kontaktiert, unddass der mindestens eine ASIC-Durchkontakt (29) und/oder der mindestens eine MEMS-Durchkontakt (19) eine gestufte Form aufweist und dass die Stufenflächen eines solchen Durchkontakts (29; 19) jeweils mit einer Schaltungsebene (1, 3, 5) des Bauteils (300) abschließen, so dass hier ein flächiger elektrischer Kontakt zwischen dem Durchkontakt (29; 19) und der Schaltungsebene (1, 3, 5) besteht.

63. 发明专利

DE102018216123A1 Sensoreinheit mit Reinigungsfunktion 未知
公开(公告)号：DE102018216123A1
公开(公告)日：2020-03-26
申请号：DE102018216123
申请日：2018-09-21
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： MAURER THOMAS , HATTASS MIRKO , SCHMIDT BENJAMIN , REUTER AXEL , MAUCH FLORIAN
IPC分类号： B60S1/56 , B60S1/54
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sensoreinheit (1) umfassend ein Gehäuse (2) zum Aufnehmen eines Sensors (5), wobei das Gehäuse (2) eine Messfläche (3) aufweist, durch die der Sensor (5) eine Umgebung erfassen kann, wobei das Gehäuse (2) eine Kühlfläche (6) aufweist, die durch einen Luftstrom (100) kühlbar ist, und wobei an dem Gehäuse (2) zumindest ein Luftleitelement (4) angebracht ist, um den Luftstrom (100) von der Kühlfläche (6) auf die Messfläche (3) zu leiten.

64. 发明专利

DE102018214570A1 Thermisches Interface für Komponenten 未知
公开(公告)号：DE102018214570A1
公开(公告)日：2020-03-05
申请号：DE102018214570
申请日：2018-08-29
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： MAURER THOMAS , KIENZLE MARKUS , HATTASS MIRKO , MITTER MARQUES DEBORA MARIA , SCHULTZ INGMAR
IPC分类号： H05K7/20 , B60R16/02 , G01S17/88
摘要： Offenbart ist Komponentenanordnung, aufweisend mindestens eine Komponente mit einem Gehäuse, aufweisend ein externes Kühlsystem zum Abführen von Wärme und aufweisend mindestens einen Anschluss, dadurch gekennzeichnet, dass mindesten eine thermische Leitung durch das Gehäuse hindurch geführt ist, wobei der mindestens eine Anschluss dazu ausgestaltet ist, das externe Kühlsystem mit den thermischen Leitungen der mindestens einen Komponente direkt oder indirekt wärmeleitend zu verbinden. Des Weiteren ist ein Anschlusssystem zum Herstellen einer wärmeleitenden Verbindung zwischen mindestens einer thermischen Leitung und einer Leitung eines externen Kühlsystems offenbart.

65. 发明专利

DE102010063471B4 Mikroelektromechanisches Element 未知
公开(公告)号：DE102010063471B4
公开(公告)日：2019-01-24
申请号：DE102010063471
申请日：2010-12-20
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： HATTASS MIRKO , MEISEL DANIEL CHRISTOPH , KECK MARIAN
IPC分类号： B81B1/00 , B81B7/02 , B81C3/00 , G01C19/56 , G01R33/02
摘要： Mikroelektromechanisches Element, umfassendein Substrat (1) und zumindest zwei mikroelektromechanische Sensoren (2, 3),wobei das Substrat (1) und die zumindest zwei mikroelektromechanischen Sensoren (2, 3) übereinander gestapelt angeordnet sind und wobei die zumindest zwei mikroelektromechanischen Sensoren (2, 3) auf derselben Seite des Substrats (1) angeordnet sind,wobei ein erster der mikroelektromechanischen Sensoren (2, 3) als ein Magnetfeldsensor (2) in einer ersten Schicht (11) oberhalb des Substrats (1) ausgebildet ist,wobei ein zweiter der mikroelektromechanischen Sensoren (2, 3) als ein Drehratensensor (3) in einer zweiten Schicht (12) oberhalb der ersten Schicht (11) ausgebildet ist,wobei der Magnetfeldsensor (2) eine erste Mehrzahl von seismischen Massen (7a, 7b) aufweist, die mittels Federelementen (4, 6) schwingfähig an ersten Aufhängungen (5) angeordnet und miteinander verbunden sind und die als erste Elektroden ausgebildet und zur Messung des Magnetfeldes von einem Strom durchströmbar sind,wobei bei Vorliegen eines Magnetfeldes eine Lorenzkraft auf die Elektroden wirkt, welche zu einer Auslenkung der ersten Elektroden aus der ersten Schicht (11) führt,wobei die Auslenkung mittels erster Gegenelektroden unterhalb der ersten Schicht (11) kapazitiv erfassbar ist,wobei der Drehratensensor (3) eine zweite Mehrzahl von seismischen Massen (8a, 8b) aufweist, die mittels Federelementen (4, 6) schwingfähig an zweiten Aufhängungen (5) angeordnet und miteinander verbunden sind und die als zweite Elektroden ausgebildet und zur Messung der Drehrate mit einer Spannung beaufschlagbar sind,wobei bei Vorliegen einer Coriolis-Beschleunigung und/oder einer sonstigen Beschleunigung senkrecht zur Schwingungsebene eine Trägheitskraft auf die zweiten Elektroden wirkt, die zu einer Auslenkung der zweiten Elektroden aus der zweiten Schicht (12) führt,wobei die Auslenkung mittels zweiter Gegenelektroden (C) oberhalb der zweiten Schicht (12) kapazitiv erfassbar ist.

66. 发明专利

DE102017200795A1 Anordnung zum Bereitstellen mindestens eines Strahls mit zumindest reduzierten Störreflexen, sowie Verfahren und LIDAR-Vorrichtung mit einer derartigen Anordnung 未知
公开(公告)号：DE102017200795A1
公开(公告)日：2018-07-19
申请号：DE102017200795
申请日：2017-01-19
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： STOPPEL KLAUS , HATTASS MIRKO , SPIESSBERGER STEFAN
IPC分类号： G02B27/28 , G01S7/481 , G01S7/499 , G02B5/30
摘要： Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Bereitstellen mindestens eines Strahls mit reduzierten Störreflexen oder ohne Störreflexe, aufweisend einen Spiegel zum Reflektieren mindestens eines in den Bereich des Spiegels eintretenden Strahls einer Strahlenquelle, ein im Strahlengang des mindestens einen eintretenden Strahls zwischen dem Spiegel und der Strahlenquelle angeordnetes Deckglas zum Schutz des Spiegels und einer Empfangsvorrichtung zum Empfangen mindestens eines von dem Spiegel reflektierten, aus dem Bereich des Spiegels austretenden Strahls, wobei im Strahlengang des mindestens einen eintretenden und austretenden Strahls zwischen dem Spiegel und dem Deckglas ein erster Polarisationsfilter zum Polarisieren und/oder zum Ändern einer Polarisation des mindestens einen eintretenden und austretenden Strahls angeordnet ist und im Strahlengang des mindestens einen austretenden Strahls zwischen dem Deckglas und der Empfangsvorrichtung ein zweiter Polarisationsfilter zum Blockieren von Störreflexen des Deckglases angeordnet ist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren und eine LIDAR-Vorrichtung mit einer derartigen Anordnung.

67. 发明专利

DE102016214297A1 Lichtaussendevorrichtung, Lichtaussendeanordnung und Verfahren zum Aussenden von Licht 未知
公开(公告)号：DE102016214297A1
公开(公告)日：2018-02-08
申请号：DE102016214297
申请日：2016-08-03
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： FIESS REINHOLD , HATTASS MIRKO , PETERSEN ANDREAS , SCHATZ FRANK , PILARD GAEL , MAIER DANIEL
IPC分类号： G02B26/10 , F21S43/00 , F21V13/00 , G02B27/18 , G03B21/00
摘要： Die Erfindung stellt eine Lichtaussendevorrichtung (2; 6; 7) bereit, mit einer Lichtquelle (10), welche dazu ausgebildet ist, einen Laserlichtstrahl (11) auszusenden; einer schwenkbaren Lichtablenkeinrichtung (12), welche dazu ausgebildet ist, den ausgesendeten Laserlichtstrahl (11) abzulenken; einer Lichtumlenkeinrichtung (20; 60; 70), welche dazu ausgelegt ist, den abgelenkten Laserlichtstrahl (11) in Abhängigkeit von einem Auftreffwinkel auf die Lichtumlenkeinrichtung (20; 60; 70) umzulenken; und einer Lumineszenzeinrichtung (13), welche durch den umgelenkten Laserlichtstrahl (11) bestrahlbar und dadurch zum Aussenden von Licht anregbar ist.

68. 发明专利

DE102016213877A1 Mikromechanischer Drehratensensor und Betriebsverfahren desselben 未知
公开(公告)号：DE102016213877A1
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：DE102016213877
申请日：2016-07-28
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： NEUL REINHARD , OHMS TORSTEN , MAUL ROBERT , HATTASS MIRKO , HOEPPNER CHRISTIAN , PRUETZ ODD-AXEL , SCHMIDT BENJAMIN , SCHEBEN ROLF , HEUCK FRIEDJOF
IPC分类号： G01C19/5733 , B81B7/02
摘要： Die Erfindung schafft einen mikromechanischen Drehratensensor (100) mit einem ersten Coriolis-Element (110), einem ersten Antriebsbalken (113), der entlang dem ersten Coriolis-Element (110) angeordnet und über eine erste Feder (114) an das erste Coriolis-Element (110) gekoppelt ist, sowie einem ersten Antriebselektrodenträger (136, 137), der sich vom ersten Antriebsbalken (113) in der zum ersten Coriolis-Element (120) entgegengesetzten Richtung erstreckt und eine Vielzahl von parallel zum ersten Antriebsbalken (113) verlaufenden ersten Antriebselektroden (138, 139) trägt. Unter einem weiteren Gesichtspunkt wird ein Verfahren zum Betreiben eines derartigen mikromechanischen Drehratensensors (100) bereitgestellt.

69. 发明专利

DE102015213465A1 Mehrachsiger Drehratensensor mit geteiltem zentralem Rotor 未知
公开(公告)号：DE102015213465A1
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：DE102015213465
申请日：2015-07-17
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： CSIMA DAVID , HATTASS MIRKO , BALSLINK THORSTEN
IPC分类号： G01C19/574
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat mit einer Haupterstreckungsebene und mit einer gegenüber dem Substrat im Wesentlichen parallel zu einer Antriebsrichtung im Wesentlichen parallel zu der Haupterstreckungsebene beweglichen ersten Antriebsstruktur und mit einer gegenüber dem Substrat und gegenüber der ersten Antriebsstruktur im Wesentlichen parallel zu der Antriebsrichtung beweglichen zweiten Antriebsstruktur und mit einer gegenüber dem Substrat beweglichen und von der ersten Antriebsstruktur im Wesentlichen parallel zu der Antriebsrichtung antreibbaren ersten Detektionsstruktur und mit einer gegenüber dem Substrat beweglichen und von der zweiten Antriebsstruktur im Wesentlichen parallel zu der Antriebsrichtung antreibbaren zweiten Detektionsstruktur und mit einer gegenüber dem Substrat beweglichen und von der ersten Antriebsstruktur und von der zweiten Antriebsstruktur im Sinne eines Schwenkens um eine im Wesentlichen senkrecht zu der Haupterstreckungsebene verlaufende erste Achse antreibbaren dritten Detektionsstruktur und mit einer gegenüber dem Substrat beweglichen und von der ersten Antriebsstruktur und von der zweiten Antriebsstruktur im Sinne eines Schwenkens um eine im Wesentlichen senkrecht zu der Haupterstreckungsebene verlaufende zweite Achse anttreibbaren vierten Detektionsstruktur vorgeschlagen.

70. 发明专利

DE102015213447A1 Drehratensensor mit minimierten Störbewegungen in der Antriebsmode 未知
公开(公告)号：DE102015213447A1
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：DE102015213447
申请日：2015-07-17
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： LASSL ANDREAS , KUHLMANN BURKHARD , HATTASS MIRKO , BALSLINK THORSTEN , SCHMIDT BENJAMIN , HOEPPNER CHRISTIAN
IPC分类号： G01C19/574 , B81B7/02
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat mit einer Haupterstreckungsebene und mit mindestens einer gegenüber dem Substrat beweglichen ersten Struktur und mit mindestens einer gegenüber dem Substrat und gegenüber der ersten Struktur beweglichen zweiten Struktur vorgeschlagen, wobei der Drehratensensor mindestens eine erste Antriebsstruktur zur Auslenkung der ersten Struktur aus einer Ruhelage der ersten Struktur mit einer Bewegungskomponente im Wesentlichen parallel zu einer ersten Achse umfasst, wobei der Drehratensensor mindestens eine zweite Antriebsstruktur zur Auslenkung der zweiten Struktur aus einer Ruhelage der zweiten Struktur mit einer Bewegungskomponente im Wesentlichen parallel zu der ersten Achse umfasst, wobei die erste Struktur und die zweite Struktur zu einer im Wesentlichen gegenphasigen Schwingung mit Bewegungskomponenten im Wesentlichen parallel zu der ersten Achse anregbar sind, wobei die erste Antriebsstruktur mindestens eine an dem Substrat befestigte erste Feder derart aufweist, dass die erste Feder einem Verschwenken der ersten Struktur im Wesentlichen um eine zu einer senkrecht zu der Haupterstreckungsebene verlaufenden zweiten Achse parallel verlaufende Achse entgegenwirkt, wobei die zweite Antriebsstruktur mindestens eine an dem Substrat befestigte zweite Feder derart aufweist, dass die zweite Feder einem Verschwenken der zweiten Struktur im Wesentlichen um eine zu der zweiten Achse parallel verlaufende weitere Achse entgegenwirkt.

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