会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 52. 发明申请
    • KALIBRIERVERFAHREN, MESSVERFAHREN, OPTISCHE MESSVORRICHTUNG UND BETRIEBSVERFAHREN
    • 校准,测量方法,光学测量装置和操作方法
    • WO2005124274A2
    • 2005-12-29
    • PCT/EP2005/006577
    • 2005-06-17
    • CARL ZEISS SMT AGSCHELLHORN, UweMANGER, MatthiasKEIL, MichaelEMER, Wolfgang
    • SCHELLHORN, UweMANGER, MatthiasKEIL, MichaelEMER, Wolfgang
    • G01B9/00
    • G01B21/042
    • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Kalibrierung einer Messvorrichtung, die eine Senderanordnung mit mehreren Senderelementen zum Aussenden von Messsignalen zu Feldelementen des Prüflings und eine Empfängeranordnung mit mehreren Empfängerelementen zum Empfangen von Messsignalen von den Feldelementen des Prüflings umfasst, auf ein zugehöriges Verfahren zur Messung an einem Prüfling, auf eine damit kalibrierbare optische Messvorrichtung zur Passeprüfung und auf ein Verfahren zum Betrieb der optischen Messvorrichtung. Bei einem erfindungsgemäßen Kalibrierverfahren wird eine erste Zuordnung von Empfängerelementen, Senderelementen und Prüflingsfeldelementen eingestellt und ein erster Messvorgang zur Gewinnung eines ersten Satzes von Messwerten durchgeführt, dann eine neue Zuordnung eingestellt und ein erneuter Messvorgang durchgeführt, bis eine vorgebbare Anzahl von Messwertsätzen vorliegt, wonach rechnerisch Kalibrierdaten der Senderelemente und/oder der Empfängerelemente aus einem vorgebbaren Gleichungssystem bestimmt werden. Verwendung z.B. zur Kalibrierung einer Wellenfrontvermessungsvorrichtung für ein Projektionsobjektiv einer Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage und zur Kalibrierung einer optischen Messvorrichtung zur Passeprüfung.
    • 本发明涉及一种用于校准测量装置,其包括具有多个发射器元件的用于发送测量信号到样本和一个接收器装置具有多个接收器元件的阵列元件上的相关方法从DUT的阵列元件接收的测量信号用于测量发射器阵列 被测器件,使得用于检查轭和所述光学测量装置的操作的方法校准的光学测量装置。 在根据本发明的校准方法,接收器元件的第一分配,发射机元件和Prüflingsfeldelementen被设置并且用于获得第一组进行的测量的第一测量处理,然后设定新的映射和直到当前测定值与块的预定数量,执行新的测量过程,然后计算校准 发射器元件和/或接收器元件从预定等式系统确定。 例如使用 用于校准的波前测量装置用于微光刻投射曝光设备的投射物镜以及用于光学测量装置的校准检查轭。
    • 53. 发明申请
    • PRÜFSCHEIBENSYSTEM
    • WO2016050428A1
    • 2016-04-07
    • PCT/EP2015/069690
    • 2015-08-27
    • KEIL, MichaelKEIL, Christopher
    • KEIL, MichaelKEIL, Christopher
    • G01M3/32
    • G01M3/3209G01M3/32
    • Die Erfindung betrifft ein Prüfscheibensystem mit mindestens einer Prüfscheibe zur Prüfung der Dichtigkeit eines Handschuhs, der in einem Port eines Isolators installiert ist. Die Prüfscheibe (1) ist hermetisch dicht mit dem Port verbindbar, wobei der Handschuh mit der Prüfscheibe (1) ein Handschuhvolumen einschließt, das durch die Prüfscheibe (1) unter Überdruck setzbar ist. Die Prüfscheibe (1) weist einen Grundkörper auf, in dem Elektronikkomponenten zur Aufzeichnung und Speicherung eines Druckverlaufs im Handschuhvolumen und zumindest eine Datenschnittstelle angeordnet sind. Die Prüfscheibe (1) weist ferner eine Leseeinrichtung sowohl zur Auslesung von einem ersten Identifikationselement, das am Handschuh angeordnet ist, als auch von einem zweiten Identifikationselements, das dem Port zugeordnet ist, auf.
    • 本发明涉及一种与Prüfscheibensystem用于测试的手套,它安装在一个绝缘子的一个端口的紧密度的至少一个测试磁盘。 测试盘(1)是密封的端口可连接,其中,与所述测试盘(1)的手套具备手套卷其是由测试盘(1)在过压下设定。 测试盘(1)具有:基体,设置在用于记录和存储在所述手套卷的压力曲线和至少一个数据接口的电子部件。 测试盘(1)还包括读取装置,用于读取两个位于所述手套的第一识别元件,并且由与在端口相关联的第二识别元件。
    • 54. 发明申请
    • PRÜFSCHEIBE, PRÜFSYSTEM UND VERFAHREN ZUR PRÜFUNG DER DICHTIGKEIT EINES HANDSCHUHS, DER IN EINEM PORT EINES ISOLATORS INSTALLIERT IST, EIN HANDSCHUH SOWIE EIN ISOLATOR ZUR VERWENDUNG MIT DEM PRÜFSYSTEM
    • 测试盘,检查系统和方法进行测试的手套的电阻,用于与检查系统中使用的隔离器的端口安装完毕,手套和一个隔离
    • WO2014086591A1
    • 2014-06-12
    • PCT/EP2013/074420
    • 2013-11-21
    • KEIL, Michael
    • KEIL, MichaelKEIL, Christopher
    • G01M3/02G01M3/32B25J21/02G21F7/053
    • G01M3/3218B25J21/02G01M3/027G21F7/053
    • Die Erfindung betrifft ein Prüfsystem und ein entsprechendes Verfahren zur Prüfung der Dichtigkeit eines Handschuhs, der in einem Port eines Isolators installiert ist, wobei das Prüfsystem eine Prüfscheibe (1, 1') aufweist, die hermetisch dicht mit dem Port verbindbar ist, wobei der Handschuh mit der Prüfscheibe (1, 1') ein Handschuhvolumen einschließt, das durch die Prüfscheibe (1, 1') unter Überdruck setzbar ist, wobei die Prüfscheibe (1, 1') eine Druckmesseinrichtung mit einem Mikroprozessor und einem Speicher zur Aufzeichnung und Speicherung eines Druckverlaufs im Handschuhvolumen und eine Datenschnittstelle aufweist. Ferner betrifft die Erfindung einen für die Verwendung mit einem derartigen Prüfsystem geeigneten Handschuh sowie einen entsprechenden Isolator. Um belastbarere Aussagen bezüglich der Restlebensdauer der Handschuhe treffen zu können und um Ausfallzeiten zu minimieren, weist die Prüfscheibe (1, 1') eine Leseeinrichtung (15) zur Auslesung von einem ersten Identifikationselement, das am Handschuh angeordnet ist, und von einem zweiten Identifikationselement, das dem Port zugeordnet ist, auf, wobei dem Druckverlauf Informationsdaten des Handschuhs und des Ports zugeordnet werden und aus dem Druckverlauf ein Druckabfall ermittelt wird, der mit einem Grenzwert verglichen wird. Daraus kann eine Restnutzungsdauer des Handschuhs abgeschätzt werden. Dabei können auch mehrere Handschuhe gleichzeitig geprüft werden.
    • 本发明涉及一种测试系统和方法,用于测试的手套,其被安装在隔离器的端口,其中,所述测试系统的测试盘(1,1“)的气密性,其连接密封的端口,其中所述手套 “包括由测试盘所限定的手套卷(1,1与测试盘(1,1)”是可设置的)下的过压,其中,所述测试盘(1,1“)的压力具有微处理器和用于记录的存储器和存储测量装置 具有在手套箱体积压力曲线和数据接口。 此外,本发明涉及一种适合于与这样的测试系统手套和相应的绝缘体使用的形式。 为了使与该手套的残余寿命更健壮语句和以最小化停机时间,所述测试盘(1,1“),读取装置(15),用于从位于所述手套的第一识别元件读取,并且由第二识别元件, 与在端口,其中,所述手套的打印历史信息数据和所述端口被分配相关联,以及一个压力降从压力曲线,其与限制值相比较来确定。 可以预计手套的剩余使用寿命。 在这里,几个手套可以同时测试。
    • 60. 发明申请
    • AUTOMATISIERTE ERMITTLUNG UND/ODER AUFBEREITUNG VON INFORMATIONEN
    • 自动识别和/或信息的处理
    • WO2011003577A1
    • 2011-01-13
    • PCT/EP2010/004083
    • 2010-07-06
    • KEIL, MichaelVYNOGRADOV, VolodymyrVINOGRADOVA-RECKERT, Julia
    • KEIL, MichaelVYNOGRADOV, VolodymyrVINOGRADOVA-RECKERT, Julia
    • G06Q30/00
    • G06Q30/02
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur automatisierten Ermittlung und/oder Aufbereitung von Informationen aus einer Vielzahl vorhandener Datenquellen in einem Rechnernetzwerk, wobei Informationen in in Modulen strukturierten Objekten erfasst sind bzw. werden, den Informationen in den Modulen der Objekte zumindest eine Eigenschaft in Bezug auf die Informationen zugeordnet ist bzw. wird (Eigenschaftszuordnung), ein Vergleich von wenigstens zwei Objekten (Objektvergleich) durch einen Vergleich wenigstens eines der Module eines ersten Objekts der wenigstens zwei Objekte mit wenigstens einem der Module wenigstens eines weiteren Objekts der wenigstens zwei Objekte erfolgt und das Ergebnis des Objektvergleichs als Information wiedergegeben wird. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung ein Datenverarbeitungssystem zur automatisierten Ermittlung und/oder Aufbereitung von Informationen aus einer Vielzahl vorhandener Datenquellen in einem Rechnernetzwerk, wobei Informationen in in Modulen strukturierten Objekten erfasst sind bzw. werden, den Informationen in den Modulen der Objekte zumindest eine Eigenschaft in Bezug auf die Informationen zugeordnet ist bzw. wird (Eigenschaftszuordnung), ein Vergleich von wenigstens zwei Objekten (Objektvergleich) durch einen Vergleich wenigstens eines der Module eines ersten Objekts der wenigstens zwei Objekte mit wenigstens einem der Module wenigstens eines weiteren Objekts der wenigstens zwei Objekte erfolgt und das Ergebnis des Objektvergleichs als Information wiedergegeben wird. Vorteilhafterweise ist das erfindungsgemäße Datenverarbeitungssystem ausgebildet und/oder eingerichtet, ein erfindungsgemäßes Verfahren zumindest teilweise auszuführen.
    • 本发明涉及一种用于从在计算机网络中的多个可用的数据源,其中,信息被记录在所述自动检测和/或信息的处理的方法的结构中模块,对象或是,在对象的模块的信息的至少一个特征相对于 的信息与相关联的或为(属性映射),至少两个对象(对象对照)通过比较所述至少两个对象中的第一对象的模块中的至少一个的比较与所述模块中的至少一个至少在至少两个对象的进一步的目的和进行 比较对象的结果被再现为信息。 此外,本发明涉及用于从在计算机网络中的多个可用的数据源,其中,信息被记录在结构化模块,对象或是,至少在对象的模块的信息相对于一个特征的自动确定和/或信息的处理的数据处理系统 被分配到的信息,或者是(属性映射),至少两个对象(对象控制)的通过比较模块中的至少一个的至少两个对象中的第一对象的模块中的至少一个的比较是所述至少两个对象中的至少一个进一步的目的和 比较对象的结果被再现为信息。 有利的是,本发明的数据处理系统中形成和/或布置为至少部分地执行本发明的方法。