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51. 发明公开

EP0950881A2 Verfahren und Vorrichtung zur automatischen relativen Justierung von Proben bezüglich eines Ellipsometers 审中-公开
标题翻译：在相对于椭偏仪的方法和用于样品的自动相对调整装置
公开(公告)号：EP0950881A2
公开(公告)日：1999-10-20
申请号：EP99106726.5
申请日：1999-04-01
申请人： NanoPhotonics AG
发明人： Abraham, Michael, Dr. , Depner, Oliver, Dipl.-Ing. , Eberhardt, Matthias, Dr.
IPC分类号： G01J4/00
CPC分类号： G01B11/26 , G01J4/00
摘要： Für die Justierung von Probe und Ellipsometer sind normalerweise wiederholte Eichmessungen erforderlich. Um eine automatische relative Justierung zu erreichen, ist dem Ellipsometer (10) ein bezüglich des Ellipsometers justierbares und verriegelbares Proben-Lage-Erkennungssystem (20) zugeordnet, das an eine auf dem Probentisch (2) und/oder auf das Gesamtsystem (43) Erkennungssystem (20)/Ellipsometer (10) eine Verstelleinrichtung (40) angeschlossen ist. Das Verfahren zur automatischen relativen Justierung sieht vor, daß zunächst anhand einer ersten Probe das System Probe Ellipsometer über die Symmetrie des Detektorsignals des Ellipsometers justiert wird und daß das Proben-Lage-Erkennungssystem bezüglich des Ellipsometers justiert und nach der Justierung mit diesem verriegelt wird. Bei allen weiteren Proben wird anhand der Signale des Erkennungssystems eine relative Ausrichtung von Probe und Ellipsometererkennungssystem durchgeführt. Insbesondere können die Messungen durchgeführt werden, ohne die Probe selbst zu bewegen, da die Justierung auch durch die alleinige Bewegung des Ellipsometer-Erkennungssystems erfolgen kann.
摘要翻译：该装置具有一个光源（21）和光学元件（22,23），利用该两个光束（27A，27B）是（1）将待测试的样品的表面上的偏转。设置有两个位置响应检测器，其测量从样品表面反射的光。所述第一检测器（24）被设置以测量所述样品的倾斜的量。所述第二检测器（25）被设置以测量所述样品的距离。

52. 发明专利

DE102006045866B4 Halte- und Drehvorrichtung für berührungsempfindliche ebene Objekte 未知
公开(公告)号：DE102006045866B4
公开(公告)日：2010-08-12
申请号：DE102006045866
申请日：2006-09-28
申请人： NANOPHOTONICS AG
发明人： SIEBERT SOENKE , DREWS DIETRICH , WENZ HOLGER
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/687

53. 发明专利

DE102008001173B9 未知
公开(公告)号：DE102008001173B9
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：DE102008001173
申请日：2008-04-14
申请人： NANOPHOTONICS AG
发明人： BUGNER DIRK , SITOV SERGEI , NIKOLOV MLADEN
IPC分类号： G01N21/95 , H01L21/66

54. 发明专利

DE10042123B9 未知
公开(公告)号：DE10042123B9
公开(公告)日：2007-07-19
申请号：DE10042123
申请日：2000-08-28
申请人： NANOPHOTONICS AG
发明人： ABRAHAM MICHAEL , HAMPEL MATTHIAS
IPC分类号： G01B11/06 , G01B11/24 , G01N21/00 , G01N37/00 , G12B5/00 , H01L21/00

55. 发明专利

DE60112563D1 未知
公开(公告)号：DE60112563D1
公开(公告)日：2005-09-15
申请号：DE60112563
申请日：2001-04-12
申请人： NANOPHOTONICS AG , RECIF SA
发明人： ABRAHAM MICHAEL , RAAIJMAKERS J , GAUDON ALAIN , ASTEGNO PIERRE
IPC分类号： B65G1/00 , H01L21/00 , H01L21/02 , H01L21/66 , H01L21/67 , H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/68

56. 发明专利

DE29815297U1 未知
公开(公告)号：DE29815297U1
公开(公告)日：1998-12-17
申请号：DE29815297
申请日：1998-08-26
申请人： NANOPHOTONICS AG
IPC分类号： G01B11/03 , G01B11/26 , G01J4/00 , G01B11/00 , G01B11/14 , G01N21/21

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