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51. 发明专利

TW200803654A 運送裝置(二) 审中-公开
简体标题：运送设备(二)
公开(公告)号：TW200803654A
公开(公告)日：2008-01-01
申请号：TW096102058
申请日：2007-01-19
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：佐藤仁 SATO, HITOSHI
IPC分类号： H05K , B65H
摘要：【【課題】】提供一種搬運裝置,使裝置小型化之同時,防止相對於處理台的作業區域的塵埃的飛散,平衡佳地捲繞膠片與保護片。【【解決手段】】搬運裝置A將膠片T沿鉛直方向搬運至曝光台14,同時將曝光台14配置於交界處的一邊,包括:供給捲軸2,送出膠片T;捲繞捲軸5,設於供給捲軸2的下方,捲繞膠片T;保護片搬運系4,經由曝光台14將膠片T從供給捲軸2搬運至捲繞捲軸5,在供給捲軸2上,捲繞著與膠片T相向設置的保護片S,與曝光台14不同的方向迂迴,而將保護片S從供給捲軸2搬運至捲繞捲軸5。
简体摘要：【【课题】】提供一种搬运设备,使设备小型化之同时,防止相对于处理台的作业区域的尘埃的飞散,平衡佳地卷绕胶片与保护片。【【解决手段】】搬运设备A将胶片T沿铅直方向搬运至曝光台14,同时将曝光台14配置于交界处的一边,包括:供给卷轴2,送出胶片T;卷绕卷轴5,设于供给卷轴2的下方,卷绕胶片T;保护片搬运系4,经由曝光台14将胶片T从供给卷轴2搬运至卷绕卷轴5,在供给卷轴2上,卷绕着与胶片T相向设置的保护片S,与曝光台14不同的方向迂回,而将保护片S从供给卷轴2搬运至卷绕卷轴5。

52. 外观设计

TWD119467S 高壓放電燈之接頭(八) 有权
简体标题：高压放电灯之接头(八)
公开(公告)号：TWD119467S
公开(公告)日：2007-10-11
申请号：TW095304977
申请日：2006-09-01
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
设计人：安達伸雄 NOBUO ADACHI , 屋木康彥 YASUHIKO OKUGI , 石鍋榮彥 SHIGEHIKO ISHINABE
摘要：【物品用途】
本創作之高壓放電燈之接頭具有連接之功用，可設置於高壓放電燈之兩端。【創作特點】
本創作之高壓放電燈之接頭，其外觀是以圓柱體為主要設計元素，多個中空圓柱體的重疊，以及圓錐狀體之設計，另外具有一位於側邊之方形孔狀設計，圓形之底部設計，搭配位於其中心之圓孔，更展現出圓弧、流暢之特色。
整體觀之，本創作之高壓放電燈之接頭造形設計予人獨特的造型質感，深具美感，誠為符合新式樣專利要件的創新設計，實為同類型產品中所罕見者。
简体摘要：【物品用途】本创作之高压放电灯之接头具有连接之功用，可设置于高压放电灯之两端。【创作特点】本创作之高压放电灯之接头，其外观是以圆柱体为主要设计元素，多个中空圆柱体的重叠，以及圆锥状体之设计，另外具有一位于侧边之方形孔状设计，圆形之底部设计，搭配位于其中心之圆孔，更展现出圆弧、流畅之特色。整体观之，本创作之高压放电灯之接头造形设计予人独特的造型质感，深具美感，诚为符合新式样专利要件的创新设计，实为同类型产品中所罕见者。

53. 外观设计

TWD118816S 高壓放電燈用連接器(二) A CONNECTOR OF A HIGH-PRESSURE DISCHARGE LAMP(2) 有权
简体标题：高压放电灯用连接器(二) A CONNECTOR OF A HIGH-PRESSURE DISCHARGE LAMP(2)
公开(公告)号：TWD118816S
公开(公告)日：2007-09-01
申请号：TW095305433
申请日：2006-09-28
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
设计人：松崎宏行 HIROYUKI MATSUZAKI , 廣間曉紀 AKINORI HIROMA
摘要：【物品用途】
本創作之高壓放電燈之接頭具有連接之功用，可設置於高壓放電燈之兩端。【創作特點】
本創作之高壓放電燈之連接器，由下往上疊為圓柱體、圓盤、以及多邊形柱體，圓孔內具有三個中空圓柱體重疊，多邊形柱體之邊緣為弧狀設計，另外多邊形柱體之表面具有多個圓柱體、圓形、以及四角為圓弧角度之矩形設計，圓盤具有朝下之多個圓柱形螺絲設計，整體相互呼應，使得本創作更具備柔和及流暢之美感。
整體觀之，本創作之高壓放電燈之連接器造形設計予人獨特的造型質感，深具美感，誠為符合新式樣專利要件的創新設計，實為同類型產品中所罕見者。
简体摘要：【物品用途】本创作之高压放电灯之接头具有连接之功用，可设置于高压放电灯之两端。【创作特点】本创作之高压放电灯之连接器，由下往上叠为圆柱体、圆盘、以及多边形柱体，圆孔内具有三个中空圆柱体重叠，多边形柱体之边缘为弧状设计，另外多边形柱体之表面具有多个圆柱体、圆形、以及四角为圆弧角度之矩形设计，圆盘具有朝下之多个圆柱形螺丝设计，整体相互呼应，使得本创作更具备柔和及流畅之美感。整体观之，本创作之高压放电灯之连接器造形设计予人独特的造型质感，深具美感，诚为符合新式样专利要件的创新设计，实为同类型产品中所罕见者。

54. 外观设计

TWD118194S 高壓放電燈之接頭(七) 有权
简体标题：高压放电灯之接头(七)
公开(公告)号：TWD118194S
公开(公告)日：2007-07-21
申请号：TW095304979
申请日：2006-09-01
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
设计人：安達伸雄 NOBUO ADACHI , 屋木康彥 YASUHIKO OKUGI , 石鍋榮彥 SHIGEHIKO ISHINABE
摘要：【物品用途】
本創作之高壓放電燈之接頭具有連接之功用，可設置於高壓放電燈之兩端。【創作特點】
本創作之高壓放電燈之接頭，其外觀是以一主要圓柱體為設計元素，上方重疊多個中空圓柱體，重疊之中空圓柱體旁為圓錐體狀之設計，其主要圓柱體之圓周上具有兩個近似扇形及搭配一個矩形所形成之缺口，各式圓形及圓弧狀之設計，皆使得整體設計展現出圓弧及流暢之美感。
整體觀之，本創作之高壓放電燈之接頭造形設計予人獨特的造型質感，深具美感，誠為符合新式樣專利要件的創新設計，實為同類型產品中所罕見者。
简体摘要：【物品用途】本创作之高压放电灯之接头具有连接之功用，可设置于高压放电灯之两端。【创作特点】本创作之高压放电灯之接头，其外观是以一主要圆柱体为设计元素，上方重叠多个中空圆柱体，重叠之中空圆柱体旁为圆锥体状之设计，其主要圆柱体之圆周上具有两个近似扇形及搭配一个矩形所形成之缺口，各式圆形及圆弧状之设计，皆使得整体设计展现出圆弧及流畅之美感。整体观之，本创作之高压放电灯之接头造形设计予人独特的造型质感，深具美感，诚为符合新式样专利要件的创新设计，实为同类型产品中所罕见者。

55. 外观设计

TWD118191S 高壓放電燈之接頭(二) 有权
简体标题：高压放电灯之接头(二)
公开(公告)号：TWD118191S
公开(公告)日：2007-07-21
申请号：TW095304971
申请日：2006-09-01
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
设计人：安達伸雄 NOBUO ADACHI , 屋木康彥 YASUHIKO OKUGI , 石鍋榮彥 SHIGEHIKO ISHINABE
摘要：【創作說明】
本創作係關於一種高壓放電燈之接頭，其外型設計融合造型元素。【物品用途】
本創作之高壓放電燈之接頭設置於高壓放電燈之二端部，提供高壓放電燈連接之功能。【創作特點】
本創作高壓放電燈之接頭本體大致為圓柱形，上部凸設有具層疊視感的連接部，該連接部亦為圓柱形態樣，並且該連接部之直徑較本體之直徑為小，另外，本體上部表面設有四凹陷部，該等凹陷部係為方塊態樣並且將本體上部之圓周等分為四部分。
整體觀之，本創作高壓放電燈之接頭之整體造形設計予人獨特的造型質感，以層疊以及等分之方式設計，深具美感，誠為符合新式樣專利要件的創新設計，實為同類型產品中所罕見者。
简体摘要：【创作说明】本创作系关于一种高压放电灯之接头，其外型设计融合造型元素。【物品用途】本创作之高压放电灯之接头设置于高压放电灯之二端部，提供高压放电灯连接之功能。【创作特点】本创作高压放电灯之接头本体大致为圆柱形，上部凸设有具层叠视感的连接部，该连接部亦为圆柱形态样，并且该连接部之直径较本体之直径为小，另外，本体上部表面设有四凹陷部，该等凹陷部系为方块态样并且将本体上部之圆周等分为四部分。整体观之，本创作高压放电灯之接头之整体造形设计予人独特的造型质感，以层叠以及等分之方式设计，深具美感，诚为符合新式样专利要件的创新设计，实为同类型产品中所罕见者。

56. 发明专利

TW200722937A 曝光裝置审中-公开
简体标题：曝光设备
公开(公告)号：TW200722937A
公开(公告)日：2007-06-16
申请号：TW095145942
申请日：2006-12-08
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：船山昌彥 , 水口信一郎 , 伊勢勝
IPC分类号： G03F , H05K
摘要：【課題】提供一種曝光裝置,使對於光罩薄膜及基板的空氣的送風狀態達到適當,而且使曝光室內對光罩薄膜及基板送風的空氣的流體環境達到適當。【解決手段】在曝光裝置1,包括:設於上述曝光室R2內的一側壁上、沿著成為上述支持框31的光照射側的面而供給預設溫度及濕度之空氣的供給口3;設於上述供給口的下方、通過上述支持框與上述載置台30之間而送來的空氣以及排出上述曝光室內的空氣用的側壁面排出口5;設於上述曝光室的另一側壁且將從上述供給口送來的空氣的送風方向至少改變至通過上述支持框與載置台之間而朝向上述側壁面排出口的送風方向變更裝置4;使從上述側壁面排出口排出的空氣經過過濾器而進入之同時、調整成預設的溫度及濕度而輸送至上述供給口的溫度濕度調整裝置2。
简体摘要：【课题】提供一种曝光设备,使对于光罩薄膜及基板的空气的送风状态达到适当,而且使曝光室内对光罩薄膜及基板送风的空气的流体环境达到适当。【解决手段】在曝光设备1,包括:设于上述曝光室R2内的一侧壁上、沿着成为上述支持框31的光照射侧的面而供给默认温度及湿度之空气的供给口3;设于上述供给口的下方、通过上述支持框与上述载置台30之间而送来的空气以及排出上述曝光室内的空气用的侧壁面排出口5;设于上述曝光室的另一侧壁且将从上述供给口送来的空气的送风方向至少改变至通过上述支持框与载置台之间而朝向上述侧壁面排出口的送风方向变更设备4;使从上述侧壁面排出口排出的空气经过过滤器而进入之同时、调整成默认的温度及湿度而输送至上述供给口的温度湿度调整设备2。

57. 发明专利

TW200719101A 雷射光曝光裝置及其方法失效
简体标题：激光光曝光设备及其方法
公开(公告)号：TW200719101A
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：TW095137692
申请日：2006-10-13
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人： 持晴康 , 佐藤博明 , 池田泰人 , 森昌人
IPC分类号： G03F , H01L
摘要：【課題】提供一種雷射光曝光裝置及方法,識別標記不會變形,又在複數個雷射照射單元中光路長不會不同。【解決手段】雷射曝光裝置(5)包括一光路長調整單元(6)以及複數個雷射照射單元(7)。光路長調整單元(6)調整從雷射光源(5a)至基板的雷射光路長,雷射照射單元(7)在基板的移動路徑上,設於基板的上方,以光路長調整單元調整光路長的雷射光照射基板。
简体摘要：【课题】提供一种激光光曝光设备及方法,识别标记不会变形,又在复数个激光照射单元中光路长不会不同。【解决手段】激光曝光设备(5)包括一光路长调整单元(6)以及复数个激光照射单元(7)。光路长调整单元(6)调整从激光光源(5a)至基板的激光光路长,激光照射单元(7)在基板的移动路径上,设于基板的上方,以光路长调整单元调整光路长的激光光照射基板。

58. 发明专利

TWI266155B 光罩框架搬運裝置、以及曝光裝置有权
简体标题：光罩框架搬运设备、以及曝光设备
公开(公告)号：TWI266155B
公开(公告)日：2006-11-11
申请号：TW094103599
申请日：2005-02-04
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：水口信一郎 , 船山昌彥 , 伊勢勝
IPC分类号： G03F , G03B , H05K
摘要： [課題]提供一種用於曝光裝置的光罩框架搬運裝置，可有效且迅速地實施嚴格的檢查作業。[解決手段]在用於對基板進行曝光作業的曝光裝置的光罩框架搬運裝置中，包括支持光罩框架4的支持框架3、設於該支持框架3並將光罩框架4於既定的移動方向搬運的輸送滾子5、整合於該輸送滾子5的搬運高度並相鄰於支持框架3設置的導引框架8、以及將該導引框架8收納於曝光裝置內側圖同時沿移動方向朝裝置外側伸出而任意安裝的保護窗6(安裝機構)。
简体摘要： [课题]提供一种用于曝光设备的光罩框架搬运设备，可有效且迅速地实施严格的检查作业。[解决手段]在用于对基板进行曝光作业的曝光设备的光罩框架搬运设备中，包括支持光罩框架4的支持框架3、设于该支持框架3并将光罩框架4于既定的移动方向搬运的输送滚子5、集成于该输送滚子5的搬运高度并相邻于支持框架3设置的导引框架8、以及将该导引框架8收纳于曝光设备内侧图同时沿移动方向朝设备外侧伸出而任意安装的保护窗6(安装机构)。

59. 发明专利

TW200538885A 曝光裝置、曝光方法、以及曝光處理程式审中-公开
简体标题：曝光设备、曝光方法、以及曝光处理进程
公开(公告)号：TW200538885A
公开(公告)日：2005-12-01
申请号：TW094104289
申请日：2005-02-15
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：篠原雄一 , 田端秀敏
IPC分类号： G03F , H05K
摘要：〔課題」提供一種可提升良率之曝光裝置〔解決手段〕在基板的全體的區域或每個為了實施曝光而預先劃分的區域中實施整合處理及曝光處理，包括一判斷裝置36、一記憶裝置32以及一曝光處理控制裝置31。判斷裝置36係藉由攝影裝置20對分別形成於上述基板上以及具有形成於基板之圖案的光罩上的基板標記以及光罩標記做攝影，而根據上述兩標記，判斷上述基板是否為可曝光者。記憶裝置32係將由該判斷裝置判定為不可曝光的基板的資訊，以及該基板中被判定為不可曝光的區域之未曝光處理區域的資訊，作為錯誤訊息而記憶在該記憶裝置中。曝光處理控制裝置31係存在上述未曝光處理的基板，針對一連串的基板片數，在上述整合處理及曝光處理完畢後而再投入時，根據記憶在上述記憶裝置的錯誤訊息，控制使上述未曝光處理區域實施上述整合處理及曝光處理。
简体摘要：〔课题”提供一种可提升良率之曝光设备〔解决手段〕在基板的全体的区域或每个为了实施曝光而预先划分的区域中实施集成处理及曝光处理，包括一判断设备36、一记忆设备32以及一曝光处理控制设备31。判断设备36系借由摄影设备20对分别形成于上述基板上以及具有形成于基板之图案的光罩上的基板标记以及光罩标记做摄影，而根据上述两标记，判断上述基板是否为可曝光者。记忆设备32系将由该判断设备判定为不可曝光的基板的信息，以及该基板中被判定为不可曝光的区域之未曝光处理区域的信息，作为错误消息而记忆在该记忆设备中。曝光处理控制设备31系存在上述未曝光处理的基板，针对一连串的基板片数，在上述集成处理及曝光处理完毕后而再投入时，根据记忆在上述记忆设备的错误消息，控制使上述未曝光处理区域实施上述集成处理及曝光处理。

60. 发明专利

TWI243971B 曝光裝置之曝光方法有权
简体标题：曝光设备之曝光方法
公开(公告)号：TWI243971B
公开(公告)日：2005-11-21
申请号：TW093110927
申请日：2004-04-20
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：屋木康彥 YASUHIKO OKUGI , 藪慎太郎 SHINTARO YABU , 氏益稔 MINORU UJIMASU
IPC分类号： G03F
摘要：【課題】提供一種曝光裝置的曝光方法，基板與光罩的整合以精度佳且短製程完成，可迅速對基板全體進行曝光。【解決手段】整合具有整合標記的基板，以及具有光罩標記並設有既定圖案的光罩，且於上述光罩密接於上述基板的狀態下進行曝光，包括有，以上述光罩標記為基礎，而求出上述光罩之一半區域之對角線彼此交叉的按分點MA，以及上述光罩全體的對角線彼此交叉的按分點MB的製程；以上述整合標記為基礎，而求出上述基板之一半區域之對角線彼此交叉的按分點WA，以及上述基板全體的對角線彼此交叉的按分點WB的製程；將上述光罩標記的按分點MB與上述整合標記的按分點WB做比較的比較製程；藉由上述比較製程，判斷上述整合標記之按分點WB相對於上述光罩標記的按分點MB是否在容許範圍之內的判斷製程；以及在上述判斷製程判斷是於容許範圍內時，將曝光的光線照射於上述基板全體的製程。
简体摘要：【课题】提供一种曝光设备的曝光方法，基板与光罩的集成以精度佳且短制程完成，可迅速对基板全体进行曝光。【解决手段】集成具有集成标记的基板，以及具有光罩标记并设有既定图案的光罩，且于上述光罩密接于上述基板的状态下进行曝光，包括有，以上述光罩标记为基础，而求出上述光罩之一半区域之对角线彼此交叉的按分点MA，以及上述光罩全体的对角线彼此交叉的按分点MB的制程；以上述集成标记为基础，而求出上述基板之一半区域之对角线彼此交叉的按分点WA，以及上述基板全体的对角线彼此交叉的按分点WB的制程；将上述光罩标记的按分点MB与上述集成标记的按分点WB做比较的比较制程；借由上述比较制程，判断上述集成标记之按分点WB相对于上述光罩标记的按分点MB是否在容许范围之内的判断制程；以及在上述判断制程判断是于容许范围内时，将曝光的光线照射于上述基板全体的制程。

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