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    • 52. 发明申请
    • 박막증착장치
    • 薄膜沉积装置
    • WO2015167114A1
    • 2015-11-05
    • PCT/KR2015/001179
    • 2015-02-05
    • 주식회사 테스
    • 황상수이우진하주일신기조이돈희
    • H01L21/205H01L21/02
    • H01L21/02H01L21/205
    • 본 발명은 박막증착장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 박막증착장치는 원료가스와 반응가스를 포함하는 복수의 공정가스와 퍼지가스를 공급하고, 잔존하는 상기 공정가스 또는 상기 퍼지가스를 배기하는 가스공급모듈을 적어도 하나 이상 구비한 가스공급부 및 기판을 지지하며 상기 가스공급부에 대해 이동 가능하게 구비되는 기판지지부를 포함하고, 상기 기판지지부는 복수회의 단계별 전진 및 단계별 후진을 포함하는 적어도 하나의 루프이동을 수행하며, 상기 하나의 루프이동을 하는 경우에 상기 기판의 최초위치와 최후위치 사이의 루프이동거리는 상기 하나의 가스공급모듈의 거리 이상인 것을 특징으로 한다.
    • 薄膜沉积装置技术领域本发明涉及一种薄膜沉积装置,根据本发明的薄膜沉积装置包括:气体供应单元,用于供应包括原料气体和反应气体的多种处理气体,以及吹扫气体 气体供给单元具有至少一个用于排出剩余的处理气体或净化气体的气体供给模块; 以及用于支撑衬底的衬底支撑单元,所述衬底支撑单元构造成能够相对于所述气体供应单元移动,所述薄膜沉积装置的特征在于,所述衬底支撑单元执行至少一个循环运动,所述循环运动包括 多次逐步向前运动和逐步向后运动,并且当执行一循环运动时,衬底的初始位置与其最终位置之间的循环移动距离等于或大于一个气体供应 模块。
    • 55. 发明申请
    • 단일세포 전기영동측정칩, 칩 홀딩유닛 및 단일세포 전기영동처리장치
    • 单电池电泳测量芯片,芯片保持单元和单电池电泳处理设备
    • WO2014168367A1
    • 2014-10-16
    • PCT/KR2014/002735
    • 2014-03-31
    • 주식회사 나노엔텍한선미심우영정유미
    • 한선미심우영
    • G01N27/447C12Q1/68
    • G01N27/44791
    • 단일세포 전기영동측정칩, 칩 홀딩유닛 및 단일세포 전기영동처리장치가 개시된다. 본 발명에 따른 단일세포 전기영동측정칩, 칩 홀딩유닛 및 단일세포 전기영동처리장치에 의하면 다양한 인자들(UV, 방사선, 산화손상, 독성물질 등)에 노출되었을 때 발생되는 세포의 핵 내 DNA 손상 정도를 단세포 수준에서 쉽고 빠르게 평가할 수 있고, 전기영동실험을 위한 시료의 로딩을 균일하게 하여 실험 결과의 정확성을 높일 수 있으며, 각 단계의 처리절차를 일체화시키고, 좁은 공간에서도 실험할 수 있도록 소형화하여 사용자의 편의성을 높일 수 있다. 또한, 전기영동실험을 위한 처리과정에 소요되는 시간을 줄이고, 사용되는 버퍼 양을 획기적으로 절감할 수 있으며, 자동화 기반의 실험을 통해 실험자에 의한 외란 요소를 최소화함으로써 실험 결과의 재현성과 신뢰성을 높일 수 있다.
    • 公开了单细胞电泳测量芯片,芯片保持单元和单细胞电泳处理装置。 根据本发明的单细胞电泳测量芯片,芯片保持单元和单细胞电泳处理装置能够:容易且快速地评估当暴露于各种因素(例如UV)时发生的细胞核中的DNA损伤程度 ,辐射,氧化损伤和有毒物质),在单个细胞的水平; 通过均匀加载样品进行电泳实验,提高实验结果的准确性; 并且通过集成各个阶段的处理程序并且小型化以增加用户的便利性,以允许甚至在狭窄的空间中进行实验。 此外,本发明可以减少用于电泳实验的处理所花费的时间,还可显着减少所用缓冲液的使用量,并通过实验者通过基于自动化的实验来最小化干扰因素,提高实验结果的重现性和可靠性 。