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41. 发明授权

US06505478B1 Heat exchanger having sloped deflection surface for directing refrigerant 失效
标题翻译：具有用于引导制冷剂的倾斜偏转表面的热交换器
公开(公告)号：US06505478B1
公开(公告)日：2003-01-14
申请号：US09614488
申请日：2000-07-11
申请人： Shawn M. Cousineau , Robert D. Kelso , Robert R. Lopez
发明人： Shawn M. Cousineau , Robert D. Kelso , Robert R. Lopez
IPC分类号： F28D500
CPC分类号： G01R31/2874 , B23Q11/126 , B23Q11/141 , B23Q11/143 , F25B41/04 , F25B41/043 , G01R31/2831 , G01R31/2865 , G01R31/2891 , H01L21/67103 , H01L21/67248
摘要： A heat exchanger such as an evaporator for a temperature control system includes an input port with an orifice through which a refrigerant enters the heat exchanger. The heat exchanger includes a plurality of plates and a tilted deflection surface near the input port. High-pressure refrigerant entering through the input port impinges on the tilted deflection surface and is deflected by the deflection surface onto the plates. The tilt angle of the deflection surface is selected such that the refrigerant is evenly distributed over the plates resulting in even and highly efficient heat transfer. The heat exchanger can be used as the evaporator in a refrigeration system used to control temperature in a workpiece chuck for supporting a flat workpiece such as a semiconductor wafer during processing and testing. In particular, the heat exchanger can be used to control the temperature of a fluid which is circulated through the chuck to control the temperature of the workpiece and/or the chuck itself. In that setting, the temperature control circulating fluid can be circulated through the heat exchanger over the sides of the plates opposite the refrigerant to cool the circulating fluid. Because the refrigerant is evenly distributed over the plates, highly efficient heat transfer, i.e., cooling, is achieved.
摘要翻译：诸如用于温度控制系统的蒸发器的热交换器包括具有孔的输入端口，制冷剂通过该孔口进入热交换器。热交换器包括多个板和在输入端口附近的倾斜偏转表面。通过输入口进入的高压制冷剂撞击倾斜的偏转表面，并被偏转表面偏转到板上。选择偏转表面的倾斜角，使得制冷剂均匀分布在板上，从而产生均匀和高效的热传递。热交换器可用作制冷系统中的蒸发器，用于控制工件卡盘中的温度，用于在加工和测试期间支撑诸如半导体晶片的平坦工件。特别地，热交换器可用于控制循环通过卡盘的流体的温度，以控制工件和/或卡盘本身的温度。在该设定中，温度控制循环流体可以在与制冷剂相对的侧面上通过热交换器循环，以冷却循环流体。由于制冷剂均匀分布在板上，因此实现了高效的热传递，即冷却。

42. 发明申请

US20020002832A1 Cooling installation 失效
公开(公告)号：US20020002832A1
公开(公告)日：2002-01-10
申请号：US09756482
申请日：2001-01-08
发明人： Thomas Krauter
IPC分类号： F25D017/00 , F25D017/02
CPC分类号： F25D17/02 , B23Q11/141 , F25B2700/2104 , F25B2700/2111
摘要： A cooling installation for a machine tool or the like, having a circulation system in which coolant circulates, wherein the coolant is conducted to a tempering device of the machine tool, wherein a metering unit is assigned to the circulation system, by which an external coolant can be metered to the coolant circulating in the circulation system, and wherein the metering unit can be controlled by a control device. In order to set the best possible constant temperature level at the tempering device, the circulation system has a buffer tank through which the coolant is conducted, and the metering unit meters the external coolant into the return flow coming from the tempering device and into the circulation system upstream of the buffer tank.

43. 发明授权

US6039517A Internally cooled magnetic workpiece holder 失效
标题翻译：内部冷却磁性工件夹具
公开(公告)号：US6039517A
公开(公告)日：2000-03-21
申请号：US941817
申请日：1997-09-30
申请人： Daniel Joseph Charewicz
发明人： Daniel Joseph Charewicz
IPC分类号： B23Q3/154 , B23Q11/12 , B25B11/00 , B23Q3/06 , B23B31/28
CPC分类号： B23Q11/141 , B23Q11/127 , B23Q3/154 , B25B11/002 , Y10T279/23 , Y10T409/303976 , Y10T409/309016
摘要： A cooled magnetic chuck or cooled magnetic adapter for use with a magnetic chuck. Coolant passages are formed in a magnetic chuck, or in a cooled magnetic adapter for transmitting the magnetic forces of a magnetic chuck to a work piece, such that the heat generated in the workpiece by engagement with a material removing tool may be conducted away from the workpiece. The coolant passages are arranged such that a coolant fluid engages the magnetic materials of the magnetic chuck or adapter, portions of which magnetic material also engage the workpiece.
摘要翻译：用于磁卡盘的冷却磁卡盘或冷却磁适配器。冷却剂通道形成在磁性卡盘中，或在用于将磁性卡盘的磁力传递到工件的冷却的磁性适配器中，使得通过与材料去除工具接合而在工件中产生的热可以远离工件。冷却剂通道被布置成使得冷却剂流体接合磁性卡盘或适配器的磁性材料，磁性材料的一部分也与工件接合。

44. 发明授权

US6000458A Isothermal-liquid circulating apparatus with modular units 失效
标题翻译：具有模块化单元的等温液体循环装置
公开(公告)号：US6000458A
公开(公告)日：1999-12-14
申请号：US94471
申请日：1998-06-10
申请人： Mitsuhiro Watanabe
发明人： Mitsuhiro Watanabe
IPC分类号： F25D13/00 , B23Q11/14 , F24F5/00 , F25B41/04 , F25D17/02 , F25D29/00 , F25B29/00
CPC分类号： B23Q11/143 , B23Q11/141 , F25D17/02 , F25B41/04
摘要： A cooling and circulating unit 2 comprising a cooling circuit section including a heat exchanger 21 that cools a refrigerant liquid and a circulating circuit section for heating the cooled refrigerant liquid and then delivering it; an input/display unit 3 including a temperature setting device 32 for setting the temperature of the refrigerant liquid, and an operation display device 33; a control section unit 4 comprising a sequencer 41; and an electrical section unit 5 including various electrical parts that are integrated into units and the units 2 to 5 are independently and detachably mounted on a frame 1. All units are electrically connected together via a relay substrate 6 mounted on a frame 1.
摘要翻译：冷却循环单元2，包括冷却回路部分，冷却回路部分包括冷却制冷剂液体的热交换器21和用于加热冷却的制冷剂液体然后输送的循环回路部分; 包括用于设定制冷剂液体的温度的温度设定装置32的输入/显示单元3和操作显示装置33; 包括定序器41的控制部分单元4; 并且包括集成到单元中的各种电气部件和单元2至5的电气部分单元5可独立且可拆卸地安装在框架1上。所有单元通过安装在框架1上的中继基板6电连接在一起。

45. 发明授权

US3303731A Temperature controlled lathe 失效
标题翻译：温控车床
公开(公告)号：US3303731A
公开(公告)日：1967-02-14
申请号：US48036165
申请日：1965-08-17
申请人： FERDYNAND ZAWISTOWSKI
发明人： FERDYNAND ZAWISTOWSKI
IPC分类号： B23Q11/14
CPC分类号： B23Q11/146 , B23Q11/141 , B23Q11/143 , B23Q11/145 , Y10S82/90 , Y10T82/25

46. 发明授权

US3066578A Temperature control of machine tool 失效
标题翻译：机床温度控制
公开(公告)号：US3066578A
公开(公告)日：1962-12-04
申请号：US78114958
申请日：1958-12-17
申请人： CINCINNATI MILLING MACHINE CO
发明人： OLTON PETER F
IPC分类号： B23Q11/14
CPC分类号： B23Q11/141 , Y10S82/90 , Y10T409/303248 , Y10T409/303752 , Y10T409/303976

47. 发明授权

US3062104A Cooling system for rotatable machine components, especially in machine tools 失效
标题翻译：用于可旋转机器部件的冷却系统，特别是机床中
公开(公告)号：US3062104A
公开(公告)日：1962-11-06
申请号：US137260
申请日：1960-01-08
申请人： DEREFA ETS
发明人： DEFLANDRE RENE
IPC分类号： B23B29/12 , B23Q11/10 , B23Q11/12 , B23Q11/14
CPC分类号： B23Q11/127 , B23B29/125 , B23Q11/10 , B23Q11/141 , Y10S82/90 , Y10T82/2562 , Y10T409/303976

48. 发明授权

US2426817A Cooling system for machine tools 失效
标题翻译：机床冷却系统
公开(公告)号：US2426817A
公开(公告)日：1947-09-02
申请号：US57360845
申请日：1945-01-19
申请人： CHARLTON CHARLES F , PALMER JR MARK A
发明人： CHARLTON CHARLES F , PALMER JR MARK A
IPC分类号： B23Q11/10 , B23Q11/14 , B24B55/02
CPC分类号： B23Q11/146 , B23Q11/10 , B23Q11/141 , B24B55/02 , Y10S29/077 , Y10S29/088 , Y10S62/10

49. 发明授权

US2380747A Machine tool 失效
公开(公告)号：US2380747A
公开(公告)日：1945-07-31
申请号：US43451942
申请日：1942-03-13
申请人： WARNER SWASEY CO
发明人： GOETZE MAX G
IPC分类号： B23Q11/14
CPC分类号： B23Q11/146 , B23Q11/141 , Y10S82/90 , Y10T82/2566

50. 发明授权

US2335100A Machine tool coolant temperature control 失效
标题翻译：机床冷却液温度控制
公开(公告)号：US2335100A
公开(公告)日：1943-11-23
申请号：US32963440
申请日：1940-04-15
申请人： EX CELL O CORP
发明人： BAUER RUSSELL E
IPC分类号： B23Q11/10 , B23Q11/14 , B24B55/02
CPC分类号： B23Q11/141 , B23Q11/10 , B24B55/02 , Y10S29/063 , Y10S62/10

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