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41. 发明授权

KR101137845B1 소프트 몰드의 제조방법 有权
标题翻译：软模制造方法
公开(公告)号：KR101137845B1
公开(公告)日：2012-04-20
申请号：KR1020050055197
申请日：2005-06-24
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 김진욱 , 조규철
IPC分类号： G02F1/1335
CPC分类号： B29C33/40 , B29C33/3857 , B29C33/424
摘要： 본 발명은 소프트 몰드 형성을 위한 마스터 몰드의 사이즈에 상관없이 공정 정합성이 높은 소프트 몰드의 제조방법을 제공하기 위한 것으로, 이와 같은 목적을 달성하기 위한 소프트 몰드의 제조방법은 지그(Zig)의 상부에 마스터 몰드(master mold)를 올려놓는 단계; 상기 지그 내에 프리-폴리머층을 형성하는 단계; 상기 프리-폴리머층상에 백 프레인(back plane)용 기판을 부착시키는 단계; 상기 프리-폴리머층을 선택적으로 경화시켜서 선택적으로 폴리머층을 형성시키는 단계; 상기 지그 및 상기 마스터 몰드로부터 상기 폴리머층 및 상기 프리-폴리머층을 떼어내는 단계; 경화되지 않은 상기 프리-폴리머층을 제거하는 단계를 포함함을 특징으로 한다. 이때 상기 프리-폴리머층은 열 경화 또는 UV 경화 시킬 수 있고, 열 경화는 마이크로웨이브 오븐내에서 진행하고, UV 경화는 투과영역과 차광영역이 정의된 마스크를 이용하여 진행함을 특징으로 한다.
마스터 몰드, 열 경화, UV 경화

42. 发明授权

KR101117985B1 평판표시소자의 제조장치 및 제조방법 有权
标题翻译：平面显示装置的制作装置和方法
公开(公告)号：KR101117985B1
公开(公告)日：2012-03-06
申请号：KR1020050009594
申请日：2005-02-02
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 조규철 , 채기성 , 황용섭 , 김진욱 , 이창희
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 본발명은기판위에패터닝하고자하는소정패턴과대응되는패턴으로형성된홈을일측면에가지는소프트몰드와; 상기소프트몰드의타측면에부착되어상기소프트몰드의휨을방지하는지지대를구비하며, 상기지지대는상기소프트몰드의타측면에수직및 수평중 적어도어느하나의방향으로형성된다.

43. 发明授权

KR101096701B1 미세 패턴 형성용 마스크 형성장치 有权
标题翻译：使用形成细节图案制造掩模的设备
公开(公告)号：KR101096701B1
公开(公告)日：2011-12-22
申请号：KR1020050055195
申请日：2005-06-24
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 조규철 , 채기성 , 김진욱 , 이창희
IPC分类号： H01L21/027
摘要： 본발명은공정을단순화시켜서생산성을향상시키고재료비를절감시키기에알맞은미세패턴형성용마스크형성장치를제공하기위한것으로, 이와같은목적을달성하기위한미세패턴형성용마스크형성장치는챔버내에소프트몰드가접착된백-프레인을고정시키기위한백-프레인고정부와; 상기백-프레인고정부를상하구동시키기위한상하구동부와; 액상고분자물질이형성된기판이로딩될스테이지와; 상기스테이지를 z축방향으로구동시킬 z축구동부와; 상기챔버하면의일영역에공기를유입시키기위한제 1 공기구멍; 상기챔버하면의타영역에상기챔버를진공상태로만들기위한제 2 공기구멍과; 상기챔버의상부면에배치된얼라이너(aligner)와; 상기챔버상부의일영역에구비되어상기기판상에 UV를조사하기위한 UV 램프를포함하여구성됨을특징으로한다.

44. 发明授权

KR101012491B1 액정표시장치용 어레이기판과 제조방법 有权
标题翻译： LCD基板及其制造方法
公开(公告)号：KR101012491B1
公开(公告)日：2011-02-08
申请号：KR1020030087674
申请日：2003-12-04
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 김진영 , 조규철 , 이규태 , 정병화 , 강진규
IPC分类号： G02F1/136
CPC分类号： G02F1/136286 , G02F2001/13629
摘要： 본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로 특히, 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 특징은 어레이기판에 구성하는 박막트랜지스터의 전극과 어레이 배선을 형성할 때, 버퍼금속(buffer metal)으로 몰리-티타늄 합금층(Mo-Ti alloy)을 사용하는 것을 특징으로 한다.
몰리-티타늄 합금층(Mo-Ti alloy)을 배리어층(barrier layer)으로 하고, 배리어층(barrier layer)에 원하는 저저항 금속을 적층하고 열을 가하면, 상기 합금층의 티타늄(Ti)성분이 외부로 확산되어 저저항 금속층을 감싸는 현상이 일어난다.
이와 같은 구성은 저저항 금속을 티타늄층으로 블로킹(blocking)하는 효과에 의해, 종래에 저저항 금속층을 사용함으로써 발생하였던 불량을 방지할 수 있기 때문에 저저항 금속층을 배선 및 전극의 재료로 사용하는 것이 가능하다.
따라서, 신호 지연 방지를 통한 고화질의 액정표시장치를 제작할 수 있고 더불어 대면적의 액정패널을 제작할 수 있는 장점이 있다.

45. 发明授权

KR100978250B1 패턴형성방법 및 이를 이용한 전기소자 제조방법 有权
标题翻译：金属图案制作方法及其电器制造方法
公开(公告)号：KR100978250B1
公开(公告)日：2010-08-26
申请号：KR1020020073206
申请日：2002-11-22
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 조규철 , 채기성 , 황용섭
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： H01L29/66765 , H01L21/0332 , H01L21/0337 , H01L21/28123 , H01L21/32134 , H01L21/32135 , H01L21/32139
摘要： 본 발명의 패턴형성방법은 기판상에 에칭대상층을 형성하는 단계와, Ti층을 형성하는 단계와, 상기 Ti층의 일부 영역을 산화시켜 TiOx층을 형성하는 단계와, 상기 Ti층를 에칭하여 TiOx패턴을 형성하는 단계와, 상기 TiOx패턴으로 에칭대상층을 블로킹한 상태에서 상기 에칭대상층을 에칭하는 단계와, 상기 TiOx패턴을 에칭하는 단계로 구성된다.
패턴, Ti, TiOx, 소수성, 친수성, 에칭

46. 发明授权

KR100977230B1 액정표시소자의 제조방법 有权
标题翻译：方法用于制造液晶显示装置
公开(公告)号：KR100977230B1
公开(公告)日：2010-08-23
申请号：KR1020030100999
申请日：2003-12-30
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 조원호 , 조규철 , 이규태 , 강진규 , 정병화 , 김진영 , 김광태
IPC分类号： G02F1/1337
摘要： 본 발명은 금속층의 단차로 인한 러빙불량을 방지하여 소자의 콘트라스트비를 향상시키고자 하는 액정표시소자의 제조방법에 관한 것으로서, 특히 기판 상에 테이퍼 앵글이 낮은 배리어층을 형성하는 단계와, 상기 배리어층 중 일부가 노출되도록, 상기 배리어층의 나머지 일부 상에 접촉하고, 테이퍼 앵글이 낮은 금속층을 형성하는 단계와, 상기 금속층 상부의 기판 전면에 배향막을 인쇄하는 단계와, 상기 배리어층 및 금속층의 표면을 따라 상기 배향막을 러빙하는 단계를 포함하여 이루어지고, 상기 배리어층은, 상기 노출되는 일부가 소정 너비를 갖도록, 상기 금속층보다 넓은 너비로 형성되는 것을 특징으로 한다.
러빙불량, 금속층 단차, 배리어층, 콘트라스트비

47. 发明授权

KR100897487B1 액정표시소자의 어레이 기판 및 그 제조방법 有权
标题翻译：液晶显示装置阵列基板及其制作方法
公开(公告)号：KR100897487B1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：KR1020010031513
申请日：2001-06-05
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 조규철 , 유홍석
IPC分类号： G02F1/136
摘要： 본 발명은 2층 구조 TFT의 드레인전극과 화소전극 사이와 데이터패드와 데이터패드단자전극 사이의 접촉저항을 줄일 수 있는 액정표시소자용 어레이기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 액정표시소자용 어레이기판은 기판과, 기판 상에 스캐닝신호가 공급되는 게이트배선과, 게이트배선과 연결되는 게이트전극과, 게이트배선 및 게이트전극을 덮는 게이트절연막과, 게이트절연막을 사이에 두고 게이트전극과 중첩되는 활성층과, 활성층 상에 형성되어 소정의 채널크기에 대응하는 홀을 갖는 오믹접촉층과, 오믹접촉층과 동일한 형태로 오믹접촉층 상에 형성되는 배리어금속층과, 배리어금속층을 덮는 소스전극 및 드레인전극과, 데이터배선, 소스전극 및 드레인전극을 덮는 보호층과, 배리어금속층, 드레인전극 및 보호층을 관통하는 접촉홀과, 접촉홀을 통해 드레인전극과 전기적으로 측면 접촉되는 화소전극을 구비한다.
본 발명에 의하면, 반도체층과 배리어금속층을 동시에 동일패턴으로 형성하므로써 반도체층과 배리어금속층의 접촉저항을 줄일 수 있다. 또한, 소스 및 드레인전극 사이의 채널 형성과 동시에 드레인전극을 관통하는 드레인접촉홀을 형성하므로써 드레인전극과 화소전극의 접촉저항을 줄일 수 있다.

48. 发明授权

KR100799463B1 액정표시장치 및 그 제조방법 有权
标题翻译：液晶显示装置及其制造方法
公开(公告)号：KR100799463B1
公开(公告)日：2008-02-01
申请号：KR1020010014650
申请日：2001-03-21
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 조규철 , 채기성
IPC分类号： G02F1/136
CPC分类号： G02F1/13458 , G02F1/1368
摘要： 본 발명은 3층 구조의 버스라인에서 최하층의 과식각을 방지할 수 있는 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 액정표시장치는 기판과; 상기 기판상에 형성된 게이트 전극과; 상기 게이트 전극에 중첩되는 제1 반도체층과;상기 제1 반도체층 상에 중첩되고, 상기 제1 반도체층을 노출시키는 채널부를 사이에 두고 분리된 패턴으로 형성되는 제2 반도체층과; 상기 제2 반도체층 상에 중첩되고, 상기 제2 반도체층과 동일패턴으로 형성되는 제1 금속층과; 상기 채널부를 사이에 두고 상기 제1 금속층 상에 중첩되는 소스 전극 및 드레인 전극을 구비하고, 상기 소스 전극 및 드레인 전극은 순차적으로 적층된 제2 및 제3 금속층을 포함한다.
본 발명에 의하면, 3층 구조의 버스라인 형성시 제1 금속층을 먼저 패터닝하고 제2 금속층과 제3 금속층을 패터닝하여 최하층의 과식각을 방지할 수 있다.
摘要翻译：液晶显示装置及其制造方法技术领域本发明涉及能够防止三层结构的总线中的过曝光角度的液晶显示装置及其制造方法。

49. 发明公开

KR1020070072181A 소프트몰드 제조방법 有权
标题翻译：主模，主模的制作方法及其使用的液晶显示装置的制造方法
公开(公告)号：KR1020070072181A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：KR1020050136173
申请日：2005-12-30
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 이창희 , 조규철 , 김진욱
IPC分类号： G02F1/136
CPC分类号： H01L27/1288 , H01L27/1214
摘要： A master mold, a manufacturing method thereof and a method for manufacturing an LCD(Liquid Crystal Display) by using the same are provided to use a soft lithography manner instead of a photo lithography manner. A master mold(501) comprises a body and a predetermined pattern formed on the body. A hydrophobic group is introduced into the body and the surface of materials for forming the predetermined pattern. The hydrophobic group is fluoride. The body is a glass panel. In the body, a metal layer is formed on the body. The materials for forming the predetermined pattern is any one among metal, silicon dioxide, silicon nitride, photo resist and wax. In the hydrophobic group introducing process, the hydrophobic group is introduced by the plasma treatment by means of the gas including particles having the fluorine elements.
摘要翻译：提供了通过使用它们的主模具，其制造方法和用于制造LCD（液晶显示器）的方法来使用软光刻方式而不是光刻方式。主模具（501）包括主体和形成在主体上的预定图案。将疏水基团引入体内和用于形成预定图案的材料的表面。疏水基团是氟化物。身体是玻璃面板。在身体中，在身体上形成金属层。用于形成预定图案的材料是金属，二氧化硅，氮化硅，光致抗蚀剂和蜡中的任何一种。在疏水基团引入方法中，通过等离子体处理，通过包含具有氟元素的颗粒的气体引入疏水基团。

50. 发明公开

KR1020070002171A 소프트몰드와 그 제조방법 有权
标题翻译：软模和制造
公开(公告)号：KR1020070002171A
公开(公告)日：2007-01-05
申请号：KR1020050057547
申请日：2005-06-30
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 이창희 , 채기성 , 조규철 , 김진욱
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y40/00 , G03F7/0015
摘要： A soft mold and a fabrication method thereof are provided to minimize non-uniformity in a resin pattern forming process due to density non-uniformity between a large-sized pattern and a small-sized pattern by decreasing the height of the large-sized pattern. A soft mold(1) includes a small-sized pattern and a large-sized pattern. The height of the large-sized pattern is smaller than that of the small-sized pattern. The soft mold is made of PDMS(Polydimethylsiloxane). The soft mold is formed by coating a soft mold material on a master mold, curing the soft mold material and detaching the cured soft mold from the master mold.
摘要翻译：提供了一种软模具及其制造方法，通过降低大尺寸图案的高度，由于大尺寸图案和小尺寸图案之间的密度不均匀性，使树脂图案形成工艺中的不均匀性最小化。软模具（1）包括小尺寸图案和大尺寸图案。大型图案的高度小于小尺寸图案的高度。软模由PDMS（聚二甲基硅氧烷）制成。软模具通过在主模具上涂覆软模材料，固化软模材料并将固化的软模从主模上分离而形成。

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