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    • 41. 发明专利
    • 雷射切斷用之化學強化玻璃板
    • 激光切断用之化学强化玻璃板
    • TW201235326A
    • 2012-09-01
    • TW101101142
    • 2012-01-11
    • 旭硝子股份有限公司
    • 齋藤勳小池章夫岩永泰成小林裕介岩崎達彌
    • C03CC03B
    • C03B33/091B23K26/0057B23K26/0732B23K26/0736B23K26/40B23K2201/006B23K2203/172C03B33/07
    • 雷射切斷用之化學強化玻璃板10係包括殘留壓縮應力之表面層13及殘留壓縮應力之背面層15、以及形成於該表面層13與該背面層15之間且殘留拉伸應力之中間層17。表面層13之最大殘留壓縮應力及背面層15之最大殘留壓縮應力分別為600 MPa以上,中間層17之內部殘留拉伸應力為15 MPa以上。化學強化玻璃板10係將所有鐵以3價鐵之氧化物換算時之鐵含量為100質量ppm以上,以2價鐵之氧化物換算之含量為20~60000質量ppm。若將化學強化玻璃板10對中心波帶為1075~1095 nm之雷射光之吸收係數設為α(cm -1 ),將化學強化玻璃板10之厚度設為t(cm),則化學強化玻璃板10滿足0.001≦α×t≦3.0之式。
    • 激光切断用之化学强化玻璃板10系包括残留压缩应力之表面层13及残留压缩应力之背面层15、以及形成于该表面层13与该背面层15之间且残留拉伸应力之中间层17。表面层13之最大残留压缩应力及背面层15之最大残留压缩应力分别为600 MPa以上,中间层17之内部残留拉伸应力为15 MPa以上。化学强化玻璃板10系将所有铁以3价铁之氧化物换算时之铁含量为100质量ppm以上,以2价铁之氧化物换算之含量为20~60000质量ppm。若将化学强化玻璃板10对中心波带为1075~1095 nm之激光光之吸收系数设为α(cm -1 ),将化学强化玻璃板10之厚度设为t(cm),则化学强化玻璃板10满足0.001≦α×t≦3.0之式。
    • 42. 发明专利
    • 無鹼玻璃及無鹼玻璃之製造方法
    • 无碱玻璃及无碱玻璃之制造方法
    • TW201223910A
    • 2012-06-16
    • TW100145138
    • 2011-12-07
    • 旭硝子股份有限公司
    • 十村知之西澤學小池章夫
    • C03C
    • C03C3/091C03C3/087
    • 本發明係關於一種無鹼玻璃,其應變點為725℃以上,50~300℃下之平均熱膨脹係數為30×10 -7 ~40×10 -7 /℃,玻璃黏度成為10 2 dPa‧s時之溫度T2為1710℃以下,玻璃黏度成為10 4 dPa‧s時之溫度T4為1320℃以下,以氧化物基準之莫耳%表示係包含66~70之SiO2、12~15之Al2O3、0~1.5之B2O3、超過9.5且為13以下之MgO、4~9之CaO、0.5~4.5之SrO、0~1之BaO、0~2之ZrO2,且MgO+CaO+SrO+BaO為17~21,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)為0.4以上,MgO/(MgO+CaO)為0.4以上,MgO/(MgO+SrO)為0.6以上,實質上不含有鹼金屬氧化物。
    • 本发明系关于一种无碱玻璃,其应变点为725℃以上,50~300℃下之平均热膨胀系数为30×10 -7 ~40×10 -7 /℃,玻璃黏度成为10 2 dPa‧s时之温度T2为1710℃以下,玻璃黏度成为10 4 dPa‧s时之温度T4为1320℃以下,以氧化物基准之莫耳%表示系包含66~70之SiO2、12~15之Al2O3、0~1.5之B2O3、超过9.5且为13以下之MgO、4~9之CaO、0.5~4.5之SrO、0~1之BaO、0~2之ZrO2,且MgO+CaO+SrO+BaO为17~21,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.4以上,MgO/(MgO+CaO)为0.4以上,MgO/(MgO+SrO)为0.6以上,实质上不含有碱金属氧化物。
    • 45. 发明专利
    • 半導體裝置貫通電極形成用之玻璃基板之製造方法
    • 半导体设备贯通电极形成用之玻璃基板之制造方法
    • TW201200284A
    • 2012-01-01
    • TW100113793
    • 2011-04-20
    • 旭硝子股份有限公司
    • 小野元司小池章夫村上亮太菊川信也
    • B23K
    • H01L23/15B23K26/382B23K26/40B23K2203/50H01L21/486H01L2924/0002H01L2924/00
    • 本發明提供一種藉由對玻璃基板照射雷射光,可使玻璃基板不產生龜裂或變形等而恰當地形成複數個貫通孔的半導體裝置貫通電極形成用之玻璃基板之製造方法。本發明係關於一種半導體裝置貫通電極形成用之玻璃基板之製造方法,其包含如下步驟:(1)準備厚度為0.01mm~5mm、SiO2含量為50wt%~70wt%、50℃至300℃下之平均熱膨脹係數為10×10 -7 /K~50×10 -7 /K之玻璃基板;(2)將上述玻璃基板配置於來自準分子雷射光產生裝置之準分子雷射光之光程上;(3)於上述準分子雷射光產生裝置與上述玻璃基板之間之上述光程上,配置不包含貫通開口之遮罩;及(4)自上述準分子雷射光產生裝置,沿著上述光程對上述玻璃基板照射上述準分子雷射光,而於上述玻璃基板形成貫通孔。
    • 本发明提供一种借由对玻璃基板照射激光光,可使玻璃基板不产生龟裂或变形等而恰当地形成复数个贯通孔的半导体设备贯通电极形成用之玻璃基板之制造方法。本发明系关于一种半导体设备贯通电极形成用之玻璃基板之制造方法,其包含如下步骤:(1)准备厚度为0.01mm~5mm、SiO2含量为50wt%~70wt%、50℃至300℃下之平均热膨胀系数为10×10 -7 /K~50×10 -7 /K之玻璃基板;(2)将上述玻璃基板配置于来自准分子激光光产生设备之准分子激光光之光程上;(3)于上述准分子激光光产生设备与上述玻璃基板之间之上述光程上,配置不包含贯通开口之遮罩;及(4)自上述准分子激光光产生设备,沿着上述光程对上述玻璃基板照射上述准分子激光光,而于上述玻璃基板形成贯通孔。
    • 48. 发明专利
    • 強化玻璃板之切斷方法
    • 强化玻璃板之切断方法
    • TW201245063A
    • 2012-11-16
    • TW100141708
    • 2011-11-15
    • 旭硝子股份有限公司
    • 齋藤勳小池章夫岩永泰成小林裕介岩崎達彌
    • C03BB23K
    • 強化玻璃板之切斷方法係包括對強化玻璃板10之表面12照射雷射光20、且使雷射光20之照射區域22於強化玻璃板10之表面12上移動之步驟。於雷射光20垂直入射至表面12之情形時,α×t大於0且為3以下。α係表示強化玻璃板10對雷射光20之吸收係數(cm -1 ),t係表示強化玻璃板10之厚度(cm)。又,於雷射光20傾斜入射至表面12之情形時,α×t/cosγ大於0且為3以下。γ係表示雷射光20之折射角(°)。藉由對雷射光20之照射區域之中間層17以徐冷點以下之溫度進行加熱,而控制因中間層17之殘留拉伸應力而產生於強化玻璃板10之裂痕30之伸展。
    • 强化玻璃板之切断方法系包括对强化玻璃板10之表面12照射激光光20、且使激光光20之照射区域22于强化玻璃板10之表面12上移动之步骤。于激光光20垂直入射至表面12之情形时,α×t大于0且为3以下。α系表示强化玻璃板10对激光光20之吸收系数(cm -1 ),t系表示强化玻璃板10之厚度(cm)。又,于激光光20倾斜入射至表面12之情形时,α×t/cosγ大于0且为3以下。γ系表示激光光20之折射角(°)。借由对激光光20之照射区域之中间层17以徐冷点以下之温度进行加热,而控制因中间层17之残留拉伸应力而产生于强化玻璃板10之裂痕30之伸展。