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41. 发明专利

TW201632790A 入口總成审中-公开
简体标题：入口总成
公开(公告)号：TW201632790A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW104141957
申请日：2015-12-14
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：希利安德魯詹姆斯 , SEELEY, ANDREW JAMES , 普萊斯當肯麥可 , PRICE, DUNCAN MICHAEL
IPC分类号： F23D14/12 , F23D14/48
CPC分类号： F23G7/065 , F23D14/12 , F23D14/583 , F23D14/70 , F23D2205/00 , F23G2209/142
摘要：本發明揭示一種用於一燃燒器之入口總成及一種方法。該入口總成包括：一入口噴嘴，其界定可與一入口導管耦合之一入口孔，該入口導管提供一廢氣流供該燃燒器處理；一非圓形出口孔；及沿著一縱向軸在該入口孔與該出口孔之間延伸的一噴嘴鑽孔，其用於將該廢氣流自該入口孔輸送至該出口孔以遞送至該燃燒器之該燃燒室，該噴嘴鑽孔具有自該入口孔延伸之一入口部分及延伸至該非圓形出口孔之一出口部分。依此方式，該非圓形出口孔提供流入該燃燒室中之一非圓形廢氣流。該非圓形廢氣流動使廢氣流之一較大體積被引入至該燃燒室中，同時仍然達到或超過所需的消減程度。此係由於一非圓形廢氣流與一等效的圓形廢氣流相比提供一縮小的距離，擴散及反應需要沿著該距離發生。因此，與一等效的圓形廢氣流相比，非圓形廢氣流可消減廢氣流之一增大的體積。
简体摘要：本发明揭示一种用于一燃烧器之入口总成及一种方法。该入口总成包括：一入口喷嘴，其界定可与一入口导管耦合之一入口孔，该入口导管提供一废气流供该燃烧器处理；一非圆形出口孔；及沿着一纵向轴在该入口孔与该出口孔之间延伸的一喷嘴钻孔，其用于将该废气流自该入口孔输送至该出口孔以递送至该燃烧器之该燃烧室，该喷嘴钻孔具有自该入口孔延伸之一入口部分及延伸至该非圆形出口孔之一出口部分。依此方式，该非圆形出口孔提供流入该燃烧室中之一非圆形废气流。该非圆形废气流动使废气流之一较大体积被引入至该燃烧室中，同时仍然达到或超过所需的消减程度。此系由于一非圆形废气流与一等效的圆形废气流相比提供一缩小的距离，扩散及反应需要沿着该距离发生。因此，与一等效的圆形废气流相比，非圆形废气流可消减废气流之一增大的体积。

42. 发明专利

TWI524006B 真空幫浦有权
简体标题：真空帮浦
公开(公告)号：TWI524006B
公开(公告)日：2016-03-01
申请号：TW097114700
申请日：2008-04-22
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：尼爾透那 , TURNER, NEIL , 麥爾肯葛瑞 , GRAY, MALCOLM , 傑克雷蒙泰特索 , TATTERSALL, JACK RAYMOND
IPC分类号： F04C18/08 , F04C18/12 , F04C25/02
CPC分类号： F04C18/123 , F04C18/084 , F04C18/126 , F04C25/02 , F04C2220/10 , F04C2280/02 , Y10S417/01

43. 发明专利

TW201533364A 真空系統管道耦合审中-公开
简体标题：真空系统管道耦合
公开(公告)号：TW201533364A
公开(公告)日：2015-09-01
申请号：TW103135560
申请日：2014-10-14
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：希利安德魯詹姆斯 , SEELEY, ANDREW JAMES
IPC分类号： F16L21/02 , F16L23/12
CPC分类号： F16L17/10 , F16J15/002 , F16J15/14 , F16L23/10 , F16L23/167 , F16L23/22 , F16L39/00 , F16L2201/30 , G01M3/00 , G01M3/2861
摘要：本發明揭示一種真空系統管道耦合(20)，其包含一第一耦合部件(24)及一第二耦合部件(28)。該真空系統管道耦合具有待定位以在該第一耦合部件與該第二耦合部件之間密封之一密封系統(32)及將該第一耦合部件可釋放地固定至該第二耦合部件之一固定系統。該密封系統(32)具有一內部密封元件(36)及與該內部密封元件隔開之一外部密封元件(38)。該第一耦合部件經提供有一流動通道(40)，其經組態以將一加壓氣體引導至在該內部密封元件與該外部密封元件之間之一間隔(42)，以在該內部密封元件故障的情況中，將該外部密封元件從流動通過該管道耦合的流體中屏蔽出來。
简体摘要：本发明揭示一种真空系统管道耦合(20)，其包含一第一耦合部件(24)及一第二耦合部件(28)。该真空系统管道耦合具有待定位以在该第一耦合部件与该第二耦合部件之间密封之一密封系统(32)及将该第一耦合部件可释放地固定至该第二耦合部件之一固定系统。该密封系统(32)具有一内部密封组件(36)及与该内部密封组件隔开之一外部密封组件(38)。该第一耦合部件经提供有一流动信道(40)，其经组态以将一加压气体引导至在该内部密封组件与该外部密封组件之间之一间隔(42)，以在该内部密封组件故障的情况中，将该外部密封组件从流动通过该管道耦合的流体中屏蔽出来。

44. 发明专利

TW201506325A 燃燒監測审中-公开
简体标题：燃烧监测
公开(公告)号：TW201506325A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：TW103114747
申请日：2014-04-23
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：史坦頓蓋瑞斯大衛 , STANTON, GARETH DAVID , 普萊斯當肯麥可 , PRICE, DUNCAN MICHAEL
IPC分类号： F23G7/06 , F23M11/04
CPC分类号： F23N3/002 , F23C99/006 , F23D14/14 , F23D14/16 , F23G7/06 , F23G7/065 , F23G2209/142 , F23N5/08 , F23N5/082 , F23N5/24 , F23N5/242
摘要：本發明揭示一種輻射燃燒器及方法。該輻射燃燒器用於處理來自一製造程序工具之一廢氣流且包括：一燃燒室，其具有一多孔套筒，燃燒材料通過該多孔套筒用於接近於該多孔套筒之一燃燒表面之燃燒；一燃燒特性監測器，其可操作以藉由監測自該燃燒表面發射之紅外線輻射來判定該輻射燃燒器之燃燒效能；及一輻射燃燒器控制器，其可操作以取決於由該燃燒特性監測器判定之燃燒效能來控制該輻射燃燒器之操作。因此，態樣認識到，若一燃燒器正經受一過量空氣流，則燃燒器襯墊或燃燒表面通常將冷卻，此造成由一輻射燃燒器生產之廢氣中之非期望排放物之一增加。該冷卻亦造成由該燃燒表面判定之紅外線輻射之一減少。該輻射燃燒器之氫火焰及燃燒器引燃器之烴火焰通常不發射紅外線輻射且因此由該輻射燃燒器之該燃燒表面發射之紅外線輻射之一改變(舉例而言，強度、量或頻率)可用於診斷饋送至系統(舉例而言，該燃燒室)中之燃燒混合物中之冷氣體(通常係空氣)之一「溢流」。一旦經診斷，便可採取適當改善性步驟且舉例而言，燃燒器控制邏輯可係可操作以藉由減少至該燃燒器中之空氣流來補償。
简体摘要：本发明揭示一种辐射燃烧器及方法。该辐射燃烧器用于处理来自一制造进程工具之一废气流且包括：一燃烧室，其具有一多孔套筒，燃烧材料通过该多孔套筒用于接近于该多孔套筒之一燃烧表面之燃烧；一燃烧特性监测器，其可操作以借由监测自该燃烧表面发射之红外线辐射来判定该辐射燃烧器之燃烧性能；及一辐射燃烧器控制器，其可操作以取决于由该燃烧特性监测器判定之燃烧性能来控制该辐射燃烧器之操作。因此，态样认识到，若一燃烧器正经受一过量空气流，则燃烧器衬垫或燃烧表面通常将冷却，此造成由一辐射燃烧器生产之废气中之非期望排放物之一增加。该冷却亦造成由该燃烧表面判定之红外线辐射之一减少。该辐射燃烧器之氢火焰及燃烧器引燃器之烃火焰通常不发射红外线辐射且因此由该辐射燃烧器之该燃烧表面发射之红外线辐射之一改变(举例而言，强度、量或频率)可用于诊断馈送至系统(举例而言，该燃烧室)中之燃烧混合物中之冷气体(通常系空气)之一“溢流”。一旦经诊断，便可采取适当改善性步骤且举例而言，燃烧器控制逻辑可系可操作以借由减少至该燃烧器中之空气流来补偿。

45. 发明专利

TWI467898B 馬達、真空泵浦及在一馬達之使用期間自一位於一低氣壓環境中之馬達轉子移除熱之方法有权
简体标题：马达、真空泵浦及在一马达之使用期间自一位于一低气压环境中之马达转子移除热之方法
公开(公告)号：TWI467898B
公开(公告)日：2015-01-01
申请号：TW096125079
申请日：2007-07-10
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：安東尼約翰威爾德 , WILDER, ANTHONY JOHN , 羅倫特馬克菲利浦 , PHILIPPE, LAURENT MARC
IPC分类号： H02K5/20 , F04B17/03
CPC分类号： H02K9/19 , F04D19/04 , F04D25/06 , F04D29/063 , F04D29/5806 , F04D29/5853 , H02K5/1732 , H02K5/20 , H02K9/08 , H02K9/22 , H02K2201/03

46. 发明专利

TWI457166B 收集裝置有权
简体标题：收集设备
公开(公告)号：TWI457166B
公开(公告)日：2014-10-21
申请号：TW095109957
申请日：2006-03-22
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：克里斯多夫約翰蕭 , SHAW, CHRISTOPHER JOHN , 葛拉梅杭特利 , HUNTLEY, GRAEME , 安德魯詹姆士希利 , SEELEY, ANDREW JAMES
IPC分类号： B01D51/10 , B01D53/75 , C23C16/44
CPC分类号： C23C16/4412 , H01L21/67017

47. 发明专利

TWI456084B 處理氣流的方法失效
简体标题：处理气流的方法
公开(公告)号：TWI456084B
公开(公告)日：2014-10-11
申请号：TW096119220
申请日：2007-05-30
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：安德魯詹姆斯希利 , SEELEY, ANDREW JAMES , 亞伯亞博若羅安東尼 , ABREU ABREU, RAUL ANTONIO
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/18
CPC分类号： B01D53/32 , B01D2251/104 , B01D2257/406 , B01D2258/0216 , C23C16/4412

48. 发明专利

TWI453342B 真空泵有权
公开(公告)号：TWI453342B
公开(公告)日：2014-09-21
申请号：TW095128141
申请日：2006-08-01
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：耐吉爾保羅薛費爾德 , SCHOFIELD, NIGEL PAUL , 彼德休伯奇 , BIRCH, PETER HUGH
IPC分类号： F04C18/08 , F04C18/12
CPC分类号： F04C23/001 , F04C18/084 , F04C18/126 , F04C2240/20

49. 发明专利

TWI453341B 轉子總成有权
简体标题：转子总成
公开(公告)号：TWI453341B
公开(公告)日：2014-09-21
申请号：TW096107243
申请日：2007-03-02
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：納杉李凱透威爾 , KETTLEWELL, NATHAN LEE , 坎納斯約翰伍格高斯 , WOOLGAR-GOLDS, KENNETH JOHN , 艾嵐艾德密斯頓麥戴亞米德 , MCDIARMID, ALLAN EDMISTON , 格連崔洛哈伍德普萊斯 , PRICE, GLEN TREVOR HARWOOD
IPC分类号： F04C18/00
CPC分类号： F04D29/266 , F04C18/123 , F04C18/126 , F04C23/001 , F04C29/005 , F04C2230/60

50. 发明专利

TWI453297B 捕捉裝置有权
简体标题：捕捉设备
公开(公告)号：TWI453297B
公开(公告)日：2014-09-21
申请号：TW095109498
申请日：2006-03-20
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：大衛恩傑藍 , ENGERRAN, DAVID
IPC分类号： C23C16/44
CPC分类号： C23C16/4486 , Y10S55/15

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