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    • 41. 发明申请
    • APPARATUS FOR MEASUREMENT OF STRUCTURES ON PHOTOLITHOGRAPHIC MASKS
    • 用于测量光刻掩模结构的装置
    • WO2008071324A1
    • 2008-06-19
    • PCT/EP2007/010532
    • 2007-12-05
    • CARL ZEISS SMS GMBHSTROESSNER, Ulrich
    • STROESSNER, Ulrich
    • G03F1/00
    • G03F1/84
    • The invention relates to an apparatus for measurement of structures on photolithographic masks (1), said apparatus comprising at least one coherent-light emitting source of illumination (3, 7), which illuminates the photolithographic mask (1) via an illumination beam path (4, 8); a spatially displaceable stage (2) receiving the photolithographic mask (1) whose position is controlled by means of laser interferometry; an imaging device, which images light coming from the photolithographic mask (1) onto a detecting device (13); as well as an evaluating device (14) coupled to the detecting device, said evaluating device (14) evaluating the detected signals and determining the positions of the structures. In such an apparatus, at least one field stop (15, 16) is provided in the illumination beam path (4, 8), said field stop (15, 16) having a size which corresponds to an area around the structure during imaging onto the photolithographic mask (1), which area appears identical for all structures.
    • 本发明涉及一种用于测量光刻掩模(1)上的结构的装置,所述装置包括至少一个相干发光光源(3,7),其通过照明光束路径照射光刻掩模(1) 4,8); 接收通过激光干涉测量控制其位置的光刻掩模(1)的空间位移级(2); 成像装置,其将来自光刻掩模(1)的光成像到检测装置(13)上; 以及耦合到所述检测装置的评估装置(14),所述评估装置(14)评估所检测的信号并确定所述结构的位置。 在这种装置中,在照明光束路径(4,8)中设置至少一个场光阑(15,16),所述场光阑(15,16)具有对应于在成像期间围绕结构的区域的尺寸 该光刻掩模(1),该区域对于所有结构看起来相同。
    • 42. 发明申请
    • BILDSCHIRM UND VERFAHREN ZUR SICHEREN DARSTELLUNG VON INFORMATIONEN
    • SCREEN AND METHOD FOR信息的安全演示
    • WO2014177342A1
    • 2014-11-06
    • PCT/EP2014/056804
    • 2014-04-04
    • SIOPTICA GMBHSECCO GMBH
    • SCHWARZ, JuergenEMMRICH, SvenDAEHNERT, Ullrich
    • G09G3/20
    • G09G3/20G02F1/13306G02F1/1333G02F2001/133374G09G2300/023G09G2320/068G09G2358/00
    • Die Erfindung betrifft einen Bildschirm, welcher ein Hintergrundraster (1) mit Licht abstrahlenden Hintergrundrasterelementen einer ersten Art (2) und mit Licht abstrahlenden oder lichtundurchlässigen Hintergrundrasterelementen einer zweiten Art (3), umfasst. Dem Hintergrundraster (1) ist aus Richtung eines Betrachters vorgeordnetes Vordergrundraster (4) vorgeordnet, welches vollständig lichtdurchlässige Vordergrundrasterelementen (5) und Licht abschwächenden Vordergrundrasterelementen (6) aufweist. Das Vordergrundraster (4) ist in einem vorgegebenen Abstand zum Hintergrundraster (1) angeordnet und in einer vorgegebenen lateralen Position senkrecht zum Abstand am Hintergrundraster (1) ausgerichtet. Bei einem solchen Bildschirm zur sicheren Darstellung von Informationen sind in mindestens einem Vordergrundbereich des Vordergrundrasters (4) die vollständig lichtdurchlässigen Vordergrundrasterelemente (5) und die Licht abschwächenden Vordergrundrasterelemente (6) stochastisch in einem Verhältnis von etwa 50:50 verteilt. Diese Verteilung dient als Schlüssel für eine Kodierung des Hintergrundrasters (1).
    • 本发明涉及一种具有背景网格(1)发射光与第一类型(2)的背景光栅元件和与第二类型的(3)包括光发射或不透明背景网格元件的屏幕。 背景网格(1)布置在上游被从观察者前景栅格(4)的方向,上游侧布置有完全透明的前景光栅元件(5)和衰减前格子体的光(6)。 前景画面(4)垂直于所述背景网格(1)的距离布置在所述背景光栅(1)的预定距离和定向在预定的侧向位置。 在用于信息安全显示这样的屏幕完全半透明前景光栅元件(5)和光衰减前格子体(6)在前景画面(4)中的至少一个前景区域被随机分布在约50:50的比例。 该分布是针对网格背景(1)的编码的关键。
    • 43. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR VORBEREITUNG UND DURCHFÜHRUNG DER AUFNAHME VON BILDSTAPELN EINER PROBE AUS VERSCHIEDENEN ORIENTIERUNGSWINKELN
    • 方法从不同的定向角的制备与实施的样品的图像栈的记录学报
    • WO2014005866A1
    • 2014-01-09
    • PCT/EP2013/063092
    • 2013-06-24
    • CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
    • SELCHOW, OlafLIPPERT, HelmutTOMANCAK, Pavel
    • G02B21/36
    • G02B21/367
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Vorbereitung und Durchführung der mikroskopischen Aufnahme von Bildstapeln einer Probe (2) aus verschiedenen Orientierungswinkeln, wobei die Probe (2) in einer Probenhalterung (3) gehalten wird und die Probenhalterung (3) ein Probenkoordinatensystem festlegt. Die Probenhalterung (3) selbst ist in einem von einem Detektionskoordinatensystem aufgespannten Raum translatier- und rotierbar. Dabei wird in einer ersten Ausgestaltung für mindestens zwei verschiedene Orientierungswinkel (α, α 2 ), ein Projektionsbild im Detektionskoordinatensystem aufgenommen und ein erstes und ein zweites Proben- volumen (V ) bzw. (V 2 ) im Probenkoordinatensystem bestimmt. Anschließend wir das Schnittvo- lumen dieser beiden Probenvolumina im Probenkoordinatensystem bestimmt. Anhand des Schnittvolumens werden für alle übrigen Orientierungswinkel die zur Bildstapelaufnahme notwendigen Parameter im Probenkoordinatensystem bestimmt. Alternativ zur Bestimmung eines Schnittvolumens kann ein Probenvolumen V P auch durch die Bestimmung von Anfangs- und Endparametern für eine Bildstapelaufnahme bei einem Orientierungswinkel festgelegt werden. Die Probe (2) wird dann im Detektionskoordinatensystem entsprechend positioniert und die Bildstapelaufnahme durchgeführt. Eine Umrechnung zwischen Probenkoordinatensystem und Detektionskoordinatensystem wird mit Hilfe entsprechender Transformationsmatrizen vorgenommen.
    • 本发明涉及一种用于图像的显微照片的准备和执行的处理栈从取向的不同的角度的样品(2),其中所述样品(2)在一个样品保持器(3)和所述样本保持器(3)限定的样品坐标系被保持。 样本保持器(3)本身是translatier-在由检测坐标系统的空间和可旋转跨越的平面。 在这种情况下,溶液中加入至少两种不同的取向角度(α,α2)的第一实施例中,在检测的投影图像的坐标系和第一和第二样品的体积(V)和(V 2)在样品中确定的坐标系。 然后,我们流明Schnittvo-样品在这两个样本量的坐标系确定。 基于所需的图像堆栈采集参数的平均体积上被样品中的坐标系中确定对所有其它取向角度。 备选地,用于测定样品体积V P的平均体积,也可以通过确定的定向角度的图像记录叠层的开始和Endparametern确定。 样品(2)然后相应地在检测定位坐标系和进行图像记录叠层。 样品之间A转换坐标系统和检测坐标系由适当的变换来进行。
    • 44. 发明申请
    • OPTICAL SYSTEM FOR A LASER THERAPY INSTRUMENT
    • 用于激光治疗仪的光学系统
    • WO2012156122A1
    • 2012-11-22
    • PCT/EP2012/054743
    • 2012-03-19
    • CARL ZEISS MEDITEC AGSTOBRAWA, GregorBISCHOFF, Mark
    • STOBRAWA, GregorBISCHOFF, Mark
    • A61F9/008
    • A61F9/008A61F9/00825A61F9/0084A61F2009/0087A61F2009/00872A61F2009/00874
    • The invention relates to an optical system for a laser therapy instrument for the application of laser radiation on and in the eye, particularly suitable for laser surgery of the cornea and/or of the crystalline lens, comprising: - a femtosecond laser as a radiation source (2) for the therapeutic laser radiation, - an objective (8) from which the therapeutic laser radiation exits and is directed and focussed on to or into the eye, with the objective (8) itself or at least one lens or lens group (8.1, 8.2) of the objective (8) being shiftable in the direction of the optical axis relative to the other lenses or lens groups of the system, and this shifting being intended for a shifting of the focus position from the region of the cornea to the region of the crystalline lens and vice versa, - at least two optical assemblies (6.1, 6.2), designed for the axial variation of the focus of the therapeutic laser radiation, with the focus variation range Δz differing between the individual assemblies (6.1, 6.2), and - a changing device, designed for the insertion of any one of these assemblies (6.1, 6.2) into the therapeutic laser beam path at a time, depending on the shifting of the focus position from the region of the cornea to the region of the crystalline lens and vice versa.
    • 本发明涉及一种用于激光治疗仪器的光学系统,用于在眼睛和眼睛中应用激光辐射,特别适用于角膜和/或晶状体的激光手术,包括:飞秒激光器作为辐射源 (2)用于治疗性激光辐射, - 物镜(8),其中治疗激光辐射从该物体(8)自身或至少一个透镜或透镜组(8)自动导向并聚焦到眼睛或眼睛上, 物镜(8)的相对于该系统的其他透镜组或透镜组在光轴方向上可移动的物镜(8.1,8.2),该移动用于将聚焦位置从角膜区域移动到 晶状体的区域,反之亦然 - 至少两个设计用于治疗激光辐射的焦点的轴向变化的光学组件(6.1,6.2),其中聚焦变化范围αz在各个组合之间不同 (6.1,6.2),以及 - 改变装置,设计用于将这些组件(6.1,6.2)中的任一个一次插入到治疗激光束路径中,这取决于聚焦位置从 角膜到晶状体的区域,反之亦然。
    • 45. 发明申请
    • VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR BESTIMMUNG DES BRECHZAHLGRADIENTEN EINES MATERIALS
    • 的方法和系统,用于确定折射率梯度A MATERIAL
    • WO2012076640A1
    • 2012-06-14
    • PCT/EP2011/072166
    • 2011-12-08
    • FACHHOCHSCHULE JENABLIEDTNER, JensRINCK, StephanBARZ, AndreaBRUECKNER, Michael
    • BLIEDTNER, JensRINCK, StephanBARZ, AndreaBRUECKNER, Michael
    • G01N21/41G01N11/02
    • G01N21/4133G01N21/552G01N2021/9511
    • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Anordnung zur Bestimmung des Brechzahlgradienten einer Probe (1) eines Materials an dessen Oberfläche (2) unter Zugrundelegung des Reflexionsverhaltens dieses Materials. Dabei wird ein Bündel von Lichtstrahlen (7) einer Lichtquelle (8) fokussiert und durch ein optisch transparentes Medium, welches eine höhere Brechzahl als das Material der Probe aufweist, hindurch auf eine Position (10) an der Oberfläche (2) der Probe (1) fokussiert. Das optisch transparente Medium ist zwischen Probe (1) und Lichtquelle (8) angeordnet. Der Einfallswinkelbereich der fokussierten Lichtstrahlen (7) enthält den Grenzwinkel der Totalreflexion. Totalreflektierte Lichtstrahlen (7) werden in einem Ausfallswinkelbereich nach Durchtritt durch das optisch transparente Medium ortsaufgelöst als Intensitätsprofil mit einer Detektierungseinrichtung detektiert. Anhand des Intensitätsprofils wird der Brechungsindex des Materials an der Position der Oberfläche (2) ermittelt. Anschließend wird die Position, auf die das Bündel von Lichtstrahlen fokussiert wird, variiert. Anhand der für die einzelnen Positionen bestimmten Brechungsindizes wird dann mittels einer Ansteuer- und Auswerteeinrichtung ein Brechzahlgradient bestimmt.
    • 本发明涉及一种方法和用于确定样品的折射率梯度的装置(1)在其表面上的材料(2)该材料的反射行为的基础上。 在这种情况下的光束(7)的光源(8)被聚焦并(通过具有比所述样品的材料高的折射率的光学透明介质的一个束,传递到位置(10)的表面(2)上的样品1的 )集中。 所述光学透明介质被布置在样品(1)和光源(8)之间。 聚焦的光束(7)的入射角度范围包含全反射的临界角。 总的反射光束(7)的空间分辨的在出射角度范围,通过光学透明介质使被检测为与检测装置的强度分​​布之后。 所述材料在表面(2)的位置处的折射率从所述强度分布来确定。 接着,位置到光束的束聚焦改变。 折射率梯度是从用于各自的折射率所确定的位置,然后通过一个控制和评估装置的手段来确定。
    • 47. 发明申请
    • KREUZTISCH FÜR MIKROSKOPE
    • 交叉表显微镜
    • WO2012004105A1
    • 2012-01-12
    • PCT/EP2011/060029
    • 2011-06-16
    • CARL ZEISS MICROIMAGING GMBHBENDLIN, CorneliaSCHNUELL, Peter
    • BENDLIN, CorneliaSCHNUELL, Peter
    • G02B21/26
    • G02B21/26
    • Die Erfindung betrifft einen Kreuztisch (1) für Mikroskope. Ein solcher Kreuztisch (1) umfasst eine Basistischplatte (2), eine Zwischentischplatte (4) und ein Obertischelement (7). Das Obertischelement (7) ist in einer ersten Führung in der Zwischentischplatte (4) entlang einer ersten Achse (X) verschiebbar gelagert, die Zwischentischplatte (4) in einer zweiten Führung (5) in der Basistischplatte (2) entlang einer zweiten Achse (Y), welche mit der ersten Achse (X) einen von Null verschiedenen Winkel einschließt. Der Kreuztisch (1) umfasst zudem einen mechanischen Tischtrieb, welcher einen Obertischelementantrieb und einen damit gekoppelten -abtrieb umfasst, sowie einen Zwischentischplattenantrieb und einen damit gekoppelten - abtrieb. Mit dem Obertischelementantrieb ist eine erste Triebrichtung vorgebbar, mit dem Zwischentischplattenantrieb eine zweite Triebrichtung. Zudem sind erste Kopplungsmittel zur Kopplung des Obertischelementabtriebs mit dem Obertischelement (7) vorgesehen, mittels der das Obertischelement (7) in Abhängigkeit von der ersten Triebrichtung entlang der ersten Achse (X) in einer ersten Verschiebungsrichtung verschiebbar ist, sowie zweite Kopplungsmittel zur entsprechenden Kopplung der Zwischentischplatte (4) an den Zwischentischplattenabtrieb. Ein solcher Kreuztisch (1) umfasst mechanische erste Umschaltmittel zur Umkehrung der ersten Verschiebungsrichtung bei konstanter erster Triebrichtung und/oder mechanische zweite Umschaltmittel zur Umkehrung der zweiten Verschiebungsrichtung bei konstanter zweiter Triebrichtung.
    • 本发明涉及一种跨表(1)显微镜。 这种交表(1)包括一个基台(2),中间表顶部(4)和上表构件(7)。 上工作台元件(7)是在中间表顶部的第一引导(4)中沿着第一轴线(X)移动地支承,中间表顶部(4)的第二引导在(5)中的基台(2)沿一第二轴线(Y ),其与所述第一轴线(X)一个非零角度包围。 交叉表(1)还包括一个机械载台驱动,其包括一上表和与其耦合-abtrieb一个驱动元件和一个中间表顶部驱动和一个与其耦合 - 输出。 与上表元件驱动的第一驱动方向可以是预定的,与中间台面驱动的第二驱动方向。 此外,第一连接装置,用于连接所述上表元素起飞与(7)通过上表元件(7)的装置,响应沿第一轴(X)中的第一位移方向是可移动的设置在第一驱动方向上的上表元素,和第二耦合装置的相应的连接 顶板(4)的中间表输出之间。 这种交表(1)包括机械第一切换装置,用于以恒定的第一驱动方向和/或机械的开关反转第一位移方向装置,用于以恒定的第二驱动方向反转所述第二的第二位移方向。
    • 48. 发明申请
    • VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUM ERMITTELN DER DEHNUNG ODER STAUCHUNG EINES FASEROPTISCHEN GITTERS
    • 的方法和系统,用于确定拉伸或光纤的压缩光栅
    • WO2010136365A1
    • 2010-12-02
    • PCT/EP2010/056883
    • 2010-05-19
    • FACHHOCHSCHULE JENABLIEDTNER, JensRINCK, Stephan
    • BLIEDTNER, JensRINCK, Stephan
    • G01B11/16
    • G01B11/18G01D5/35303
    • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Ermitteln der Dehnung oder Stauchung eines faseroptischen Gitters. Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf einen nach diesem Verfahren arbeitenden Fasergitter-Verformungssensor. Es sind folgende Verfahrensschritte vorgesehen: - aus dem von einer Lichtquelle ausgesendeten Wellenlängenbereich ΔλL wird mittels eines Faser-Bragg-Gitters M eine von dessen aktueller Auslenkung abhängige Wellenlänge λM selektiert, mittels eines weiteren Faser-Bragg-Gitters S wird aus dem verbleibenden Spektrum eine von dessen aktueller Auslenkung abhängige Wellenlänge λS selektiert, - nach Selektion der Wellenlängen λM und λS wird die Intensität des übrigen Strahlungsanteils ausgewertet und auf eine gleiche oder ungleiche Auslenkung der beiden Faser-Bragg-Gitter M und S geschlossen. Dabei wird erfindungsgemäß - das zur Selektion der Wellenlänge λM bestimmte Faser-Bragg-Gitter M periodisch ausgelenkt, so daß die Wellenlänge λM einen sich periodisch ändernden Wert hat, oder - die Auslenkung des zur Selektion der Wellenlänge λM bestimmten Faser-Bragg- Gitters M kontinuierlich der Auslenkung des Faser-Bragg-Gitters S nachgeführt, so daß die Wellenlängen λM und λS identisch gehalten werden.
    • 本发明涉及一种方法,用于确定光纤光栅的伸长或压缩。 本发明还根据该方法,纤维光栅失真传感器涉及一种工作。 提供了下面的方法步骤: - 将来自光源的波长范围内; L发射的是一个通过光纤布拉格光栅M的手段依赖波长M的当前偏转的由另外的光纤布拉格光栅S是从剩余的装置选择? 选择光谱依赖波长S的电流偏转, - 波长M和S的评估的其他辐射分量的强度和封闭在两个光纤布拉格光栅M和S的相等或不等的偏转选择之后? 在这种情况下,根据本发明 - M个特定光纤布拉格光栅中号周期性地偏转,用于选择波长,使得M的波长具有周期性变化的值,或 - ?的偏转的对于该波长μm光纤布拉格选择给定的? 光栅中号连续跟踪到光栅S中的光纤布喇格的偏转,从而使波长λM和?S被保持相同。
    • 49. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON GEGENSTÄNDEN MIT EINER DEFINIERT STRUKTURIERTEN OBERFLÄCHE
    • 方法制造具有定义的结构化曲面对象
    • WO2010127935A1
    • 2010-11-11
    • PCT/EP2010/055051
    • 2010-04-16
    • SECCO GmbHVISUMOTION GMBHDAEHNERT, UllrichOTTE, StephanSCHWARZ, Juergen
    • DAEHNERT, UllrichOTTE, StephanSCHWARZ, Juergen
    • B29D11/00
    • B29D11/00278B29D11/00144
    • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen von Gegenständen mit einer strukturierten, vorzugsweise optisch wirksamen Oberfläche, welche an unterschiedlichen Positionen unterschiedliche Strukturhöhen aufweist, insbesondere zum Herstellen von Lentikularscheiben. Erfindungsgemäß sind folgende Verfahrensschritte vorgesehen: Auftragen einer noch flüssigen Kunststoffschicht (2) aus einem bei Energieeintrag aushärtenden Kunststoff auf einen Träger (1), Glätten der Oberfläche der flüssigen Kunststoffschicht (2), Energieeintrag in den Kunststoff, wobei die Menge der je Zeiteinheit einzutragenden Energie örtlich differenziert in Abhängigkeit von der jeweils zu erzielenden Strukturhöhe vorgegeben wird, so daß im Ergebnis des Energieeintrags an unterschiedlichen Positionen der Oberfläche unterschiedliche Mengen an noch nicht ausgehärtetem und bereits ausgehärtetem Kunststoff vorhanden sind, und der nicht ausgehärtete Kunststoff entfernt wird und der verbleibende ausgehärtete Kunststoff eine optisch wirksame Struktur definiert.
    • 本发明涉及一种用于与具有在不同位置处的不同结构的高度,特别是用于制造Lentikularscheiben结构化,优选光学有效表面生产制品的方法。 据,提供了下列方法步骤的本发明:一个静止液体的塑料层(2)的应用程序包括在塑料能量输入的固化的在载体上的(1)中,能量的液体的塑料层(2)的表面平滑化到塑料,其特征在于,将被输入的每单位时间的量的能量 被局部分化预定义为的函数来实现每个结构的高度,使得不同量的未固化和已固化的塑料是在本发明的表面和未固化的树脂被去除的不同位置处的能量输入的结果,剩余的固化塑料 光学有效结构来定义。
    • 50. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR DARSTELLUNG VON RASTERBILDERN
    • 方法来表示光栅图像
    • WO2010029064A1
    • 2010-03-18
    • PCT/EP2009/061613
    • 2009-09-08
    • VISUMOTION GMBHWIECHMANN, SirkoSCHMIDT, Alexander
    • WIECHMANN, SirkoSCHMIDT, Alexander
    • G06T11/00G06T3/40
    • G06T11/00G06T1/20G09G1/07G09G3/003G09G5/36G09G2340/0407G09G2360/02G09G2370/042
    • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren, bei dem von einer Bildquelle (1) Bilder in Form von Vektordarstellungen erzeugt werden und zugleich eine Initialisierungsanweisung A1 zur Transformation der Vektordarstellungen in Rasterbilder mit einer bestimmten Auflösung Ix, Iy ausgegeben wird. Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf eine zur Ausübung eines solchen Verfahrens geeignete Anordnung. Erfindungsgemäß sind bei einem Verfahren der vorgenannten Art vorgesehen, daß - der Signalweg zwischen der Bildquelle (1) und dem Grafikprozessor unterbrochen wird, - die Initialisierungsanweisung A1 abgefangen wird, - die Initialisierungsanweisung A1 ersetzt wird durch eine Initialisierungsanweisung A2 zur Transformation der Vektordarstellungen in Rasterbilder mit einer Auflösung I'x, I'y, die größer oder kleiner ist als die Auflösung Ix, Iy, und - die Initialisierungsanweisung A2 gemeinsam mit den Vektordarstellungen an den Grafikprozessor übermittelt wird. In einer erfindungsgemäßen Anordnung ist eine Ansteuerschaltung (10) zur Initialisierung des Grafikprozessors in Abhängigkeit von der geänderten Auflösung I'x, I'y vorgesehen.
    • 本发明涉及其中从图像源(1)图像以矢量表示的形式产生的方法,并在同一时间的初始化A1被输出到矢量表示为光栅图像的具有一定分辨率IX,IY的转化。 本发明还涉及适用于实施这种方法安排的装置。 图像源(1)和所述图形处理器之间的信号路径被中断, - - 初始化被截取A1, - 根据上述类型的本发明中的方法提供的,包括初始化被替换A1由初始化指令A2的矢量表示的变换光栅图像 分辨率I'x,I'y比分辨率IX,IY更大或更小,以及 - 所述初始化A2与矢量表示到图形处理器一起发送。 在本发明的装置,用于改变的分辨率I'x的图形处理器功能的初始化驱动电路(10),I'y设置。