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41. 发明申请

WO2004076725A1 METHOD FOR PRODUCING QUARTZ GLASS CRUCIBLE FOR USE IN PULLING SILICON SINGLE CRYSTAL AND QUARTZ GLASS CRUCIBLE PRODUCED BY SAID METHOD 审中-公开
标题翻译：用于生产石英玻璃的方法用于拉丝硅单晶和石英玻璃通过公式生产的可溶性
公开(公告)号：WO2004076725A1
公开(公告)日：2004-09-10
申请号：PCT/EP2004/001663
申请日：2004-02-20
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , OHAMA, Yasuo , MATSUI, Hiroshi
发明人： OHAMA, Yasuo , MATSUI, Hiroshi
IPC分类号： C30B15/00
CPC分类号： C03B19/095 , C03B2201/04 , C30B15/10
摘要： The present invention refers to a method for producing a quartz glass crucible for use in pulling silicon single crystal, said crucible having at least a double-layer structure comprising a pore-free transparent inner layer and an opaque base body or outer layer having pores, characterized in that at least the base body is formed with a silica powder maintained in a gas having a mixing ratio of 0.0005 to 0.0065 kg/kg (dry gas), and a quartz glass crucible produced by said production method. The obtained crucible has an average OH group concentration of 50 ppm or lower and is capable of suppressing the vibration occurring on the surface of silicon melt during pulling the silicon single crystal. Further the obtained crucible suffers less deformation of the crucible on pulling the silicon single crystal.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造用于拉硅单晶的石英玻璃坩埚的方法，所述坩埚至少具有包含无孔透明内层和不透明基体或具有孔的外层的双层结构，其特征在于，至少所述基体由保持在混合比为0.0005〜0.0065kg / kg（干燥气体）的气体中的二氧化硅粉末和由所述制造方法制造的石英玻璃坩埚形成。得到的坩埚的OH基浓度平均为50ppm以下，能够抑制在拉伸硅单晶时在硅熔体表面发生的振动。此外，所获得的坩埚在拉制硅单晶时受到较小的坩埚变形。

42. 发明申请

WO2004024643A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM VERTIKALEN ZIEHEN EINES ZYLINDERFÖRMIGEN GLASKÖRPERS 审中-公开
标题翻译：方法和设备垂直拉的圆柱形玻璃体
公开(公告)号：WO2004024643A1
公开(公告)日：2004-03-25
申请号：PCT/EP2003/009739
申请日：2003-09-02
申请人： HERAEUS TENEVO AG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , BOGDAHN, Thomas , GANZ, Oliver
发明人： BOGDAHN, Thomas , GANZ, Oliver
IPC分类号： C03B37/012
CPC分类号： C03B23/047 , C03B37/0124
摘要： Es ist ein Vertikalziehverfahren zur Herstellung eines zylinderförmigen Glaskörpers, insbesondere eines Quarzglaskörpers, bekannt, das eine Anziehphase und eine Ziehphase umfasst, wobei während der Anziehphase ein Glaszylinder entlang einer Ziehachse mit seinem unteren Ende beginnend einer Heizzone zugeführt, darin erweicht, aus dem erweichten Bereich unter Ausbildung einer Ziehzwiebel ein Anziehstrang erzeugt, dieser einem Abzug zugeführt und während der Ziehphase zu einem Glasstrang mit vorgegebener Nominal-Abmessung abgezogen wird, und wobei der Glasstrang anschliessend zu dem zylinderförmigen Glaskörper abgelängt wird. Um hiervon ausgehend ein Vertikalziehverfahren mit verkürzter Anziehphase anzugeben, wird erfindungsgemäss vorgeschlagen, dass der Anziehstrang erzeugt wird unter Einsatz einer in der Ziehachse angeordneten, axial bewegbaren Anzugseinrichtung, die einerseits mit dem unteren Ende des Glaszylinders verbunden und andererseits mittels des Abzugs mit vorgegebener Abzugsgeschwindigkeit nach unten abziehbar ist.
摘要翻译：有用于制造圆筒形玻璃体，特别是石英玻璃体，已知包括Anziehphase和牵拉阶段，其中在所述Anziehphase馈送到玻璃圆筒连同其下端的牵引轴，起动的加热区中，从软化的区域下软化的垂直拉拔处理形成绘制灯泡产生Anziehstrang，这被馈送到一个触发器和在拉伸阶段到具有预定标称尺寸的玻璃丝上剥离，其中，所述玻璃棒切割成长度随后到圆柱形玻璃体。为了此基础上提供一个垂直拉伸工艺具有缩短Anziehphase，本发明提出的是，Anziehstrang生成在牵引轴使用，可轴向移动的紧固装置以预定的卷绕速度配置，在连接到玻璃圆筒的下端和在另一方面，一方面由所述触发的装置向下是可拆卸的。

43. 发明申请

WO2004013061A1 SYNTHETIC QUARTZ GLASS OPTICAL MATERIAL FOR YAG LASER WITH HIGHER HARMONIC 审中-公开
标题翻译：用于具有较高谐波的YAG激光器的合成QUARTZ玻璃光学材料
公开(公告)号：WO2004013061A1
公开(公告)日：2004-02-12
申请号：PCT/EP2003/007914
申请日：2003-07-19
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , FUJINOKI, Akira , NISHIMURA, Hiroyuki , YOSHIDA, Kunio
发明人： FUJINOKI, Akira , NISHIMURA, Hiroyuki , YOSHIDA, Kunio
IPC分类号： C03C3/06
CPC分类号： C03C4/0085 , C03C3/06 , C03C2201/21 , C03C2201/23
摘要： It is an object of the present invention to provide synthetic quartz glass optical materials suitable for use in YAG of higher order harmonics. The damage threshold value in J/cm 2 (energy density at which cracks occur generated by irradiation) is to be considered when synthetic quartz glass material is irradiated with YAG laser of third or higher order harmonics with single pulses or continuously. Regarding a synthetic quartz glass optical material in use for the optical parts constituting the prism and lens used in a laser beam machine, this invention provides a synthetic quartz glass material suitably used for the YAG laser with the third or higher order of harmonic, choosing the following conditions: OH group concentration is in the range of ≥1 to ≤300ppm; contained hydrogen molecule concentration is in the range of ≥2 x 10 18 to ≥2 x 10 19 molecules/cm 3 ; transmittance of ultraviolet rays at 245nm of wavelength is 99.9% or more; and the fictive temperature is in the range of ≥880 to ≤990°C.
摘要翻译：本发明的目的是提供适用于高次谐波的YAG的合成石英玻璃光学材料。当合成石英玻璃材料用单个脉冲或连续的第三次或更高次谐波的YAG激光照射时，应考虑J / cm 2的损伤阈值（通过照射产生裂纹的能量密度）。关于构成用于激光束机的棱镜和透镜的光学部件的合成石英玻璃光学材料，本发明提供了适用于具有第三或更高次谐波的YAG激光器的合成石英玻璃材料，选择以下条件：OH基浓度在> = 1〜<= 300ppm的范围内; 含有氢分子浓度在> = 2×10 18至> = 2×10 19分子/ cm 3的范围内; 波长245nm处紫外线的透射率为99.9％以上; 并且虚构温度在> = 880至<= 990℃的范围内。

44. 发明申请

WO2003029155A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TRENNEN EINES GLASSTRANGS BEIM ZIEHVORGANG 审中-公开
标题翻译：用于分离的玻璃的方法和装置火车拉丝工艺
公开(公告)号：WO2003029155A1
公开(公告)日：2003-04-10
申请号：PCT/EP2002/010642
申请日：2002-09-23
申请人： HERAEUS TENEVO AG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , GANZ, Oliver
发明人： SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , GANZ, Oliver
IPC分类号： C03B21/02
CPC分类号： C03B21/02
摘要： Bei einem bekannten Verfahren zum Trennen eines Glasstrangs (1; 21) beim Ziehvorgang wird der Glasstrang (1; 21) in Richtung seiner Längsachse (2) befördert und dabei mittels eines Schneidwerkzeugs eine Sollbruchstelle (5) am Aussenmantel (4) erzeugt und der Glasstrang (1; 21) anschliessend durch eine im Bereich der Sollbruchstelle (5) wirkende Kraft getrennt. Um hiervon ausgehend ein Verfahren anzugeben, mittels dem Schnittflächen hoher Güte erhalten und Schneidverluste reduziert werden können, wird erfindungsgemäss vorgeschlagen, dass am Aussenmantel (4) eine Biegevorrichtung (6; 22) fixiert und mittels dieser im Bereich der Sollbruchstelle (5) ein Biegemoment induziert wird, das bis zum Brechen des Glasstrangs (1; 21) kontinuierlich erhöht wird. Eine einfache und betriebssichere Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemässen Verfahrens zeichnet sich dadurch aus, dass ein Trennwerkzeug vorgesehen ist, das ein den Aussenmantel (4) mindestens teilweise umgreifendes Rahmengebilde (7; 23) umfasst, an dem eine Biegevorrichtung (6; 22) mit einem in Richtung senkrecht zur Längsachse bewegbaren Druckkörper (8; 24) gehalten wird, wobei die Bewegung des Druckkörpers (8; 24) in Richtung der Sollbruchstelle (5) mittels einem regelbaren oder steuerbaren, und mit dem Druckkörper (8; 24) über eine flexible Leitung (10) verbundenen Antrieb (9) erfolgt.
摘要翻译：在用于分离玻璃丝（1; 21）;公知的方法在其纵向轴线（2）的方向输送，从而产生预定的断裂点（5）在外壳（4）通过在玻璃纤维束的绘制过程的切削工具和所述玻璃纤维束的装置（21 1）（1; 21）作用后经预定的断裂点（5）的力的区域中分离出来。为了此基础上提供一种方法，通过高品质的截面积的装置获得和切割损失可被减小，本发明建议，在外壳（4）的弯曲装置（6; 22）固定，并且弯曲力矩在预定断裂点的区域中诱导这（5）是直到打碎玻璃股线（1; 21）连续地增加。用于执行本发明的方法的简单和可靠的装置，其特征在于，分离工具被设置具有外护套（4）至少部分地包围框架结构（7; 23）;具有在其上弯曲装置（22 6）在垂直于所述可动的压力件（8; 24）的纵向轴线的方向被保持，其中所述压力体的移动;在所述预定的断裂点（5）的方向上通过可调节的或可控制的，并与所述压力体（8; 24）的装置经由柔性（8 24）进行连接到所述驱动器（9）线（10）。

45. 发明申请

WO2017137618A1 DIFFUSER MATERIAL OF SYNTHETICALLY PRODUCED QUARTZ GLASS AND METHOD FOR THE MANUFACTURE OF A MOLDED BODY CONSISTING FULLY OR IN PART THEREOF 审中-公开
标题翻译：合成石英玻璃的扩散器材料及其制造全部或部分成型的成型体的方法
公开(公告)号：WO2017137618A1
公开(公告)日：2017-08-17
申请号：PCT/EP2017/053126
申请日：2017-02-13
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
发明人： SCHEICH, Gerrit , NUERNBERG, Frank , GOETZENDORFER, Andreas , TSCHOLITSCH, Nadine , BERNHARD, Franz , KLETT, Ursula , DONELON, Matthew
IPC分类号： C03C3/06 , C03B20/00
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/066 , C03B19/12 , C03B19/14 , C03B2201/07 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/80 , C03C2203/54
摘要： A known diffuser material of synthetically produced, pore-containing quartz glass has a chemical purity of at least 99.9% SiO 2 , a cristobalite content of not more than 1 %, and a density in the range of 2.0 to 2.18 g/cm 3 . Starting therefrom, to indicate a diffuser material which is improved with respect to diffuse reflectivity with Lambertian behavior over a wide wavelength range, high material homogeneity and UV radiation resistance, it is suggested according to the invention that the quartz glass has a hydroxyl group content in the range of at least 200 wt. ppm and that at least 80% of the pores have a maximum pore dimension of less than 20 µm.
摘要翻译：已知的合成制造的含孔石英玻璃的漫射体材料具有至少99.9％SiO 2的化学纯度，不超过1％的方石英含量，密度在2.0-2.18g / cm 3范围内。从这里开始，为了表明漫反射率相对于宽波长范围内的朗伯行为，高材料均匀性和抗UV辐射性得到改善的漫射体材料，根据本发明建议，石英玻璃的羟基含量在至少200wt。 ppm，并且至少80％的孔具有小于20微米的最大孔隙尺寸

46. 发明申请

WO2014006037A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ZYLINDERN AUS QUARZGLAS 审中-公开
标题翻译：用于生产石英玻璃圆柱
公开(公告)号：WO2014006037A1
公开(公告)日：2014-01-09
申请号：PCT/EP2013/063924
申请日：2013-07-02
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
发明人： TROMMER, Martin , BADEKE, Klaus-Uwe
IPC分类号： C03B19/14
CPC分类号： C03B19/1415 , C03B2201/02 , C03B2207/36 , C03B2207/50 , C03B2207/52 , C03B2207/66 , C03B2207/70
摘要： Bei einem Verfahren zur Herstellung von Zylindern aus Quarzglas durch Herstellen von Sootkörpern, wobei mittels mindestenszweier Abscheidebrenner SiO 2 Partikel zum Masseauftrag auf einem um seine Längsachse rotierenden Träger abgeschieden werden, und beim Verglasen der Sootkörper unter Bildung von Quarzglaszylindern, ist vorgesehen, dass vor dem Herstellen der Sootkörper ein Verfahren ausgeführt wird, das die folgenden Schritte umfasst: a) Herstellen eines ersten Test-Sootkörpers, wobei mittels der mindestens zwei Abscheidebrenner SiO 2 -Partikel zum Masseauftrag auf einem um seine Längsachse rotierenden Träger abgeschieden werden, b) Ermitteln der Dichteverteilung des ersten Test-Sootkörpers in axialer Richtung, c) Herstellen eines zweiten Test-Sootkörpers, wobei die axiale Dichteverteilung des zweiten Test-Sootkörpersin Abhängigkeit der ermittelten axialen Dichteverteilung des ersten Test-Sootkörperseingestellt, vorzugsweise vergleichmäßigt wird, d)Verglasen des zweiten Test-Sootkörpers, so dass ein Test- Quarzglaszylinder entsteht, e) Ermitteln der Masseverteilung des Test-Quarzglaszylinders in axialer Richtung, f) Einstellen des Masseauftrags von mittels der Abscheidebrenner auf dem Träger abzuscheidenden SiO2 -Partikeln in Abhängigkeit der ermittelten axialen Masseverteilung des Test-Quarzglaszylinders derart,dass die Masseverteilung von verglasten, mit den Abscheidebrennern hergestellten Sootkörperngegenüber der axialen Masseverteilung des Test-Quarzglaszylindersverbessert bzw. vergleichmäßigt wird.
摘要翻译：在通过制备烟灰体，其沉积，用于对至少两个沉积SiO 2颗粒的旋转绕其纵轴线的质量的应用程序产生的石英玻璃的气缸的方法，以及烟灰体与形成在石英玻璃圆筒的玻璃化过程中，它提供了制备前烟灰体，一个处理被执行，包括以下步骤：a）制备第一测试烟灰体，其沉积于大量应用在由所述至少两个沉积来SiO 2个颗粒的旋转围绕其纵向轴线，b）确定所述第一测试的密度分布烟灰体在轴向方向上，c）制备第二测试微粉体，其特征在于，所述第一测试Sootkörperseingestellt的所确定的轴向密度分布的第二测试Sootkörpersin函数的轴向密度分布，优选被均匀化，D）在第二玻璃化测试的烟灰体，从而使测试石英玻璃圆柱体产生时，e）确定在轴向方向上测试石英玻璃圆柱体的质量分布，F）调节所述质量作业由沉积由在载体上的沉积SiO 2颗粒作为测试的确定轴向质量分布的函数石英玻璃圆柱体，使得玻璃的质量分布，产生使用沉积燃烧器Sootkörperngegenüber测试-Quarzglaszylindersverbessert的轴向质量分布或均匀。

47. 发明申请

WO2013164189A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG SYNTHETISCHER QUARZGLASKÖRNUNG 审中-公开
标题翻译：方法生产合成石英玻璃砂
公开(公告)号：WO2013164189A1
公开(公告)日：2013-11-07
申请号：PCT/EP2013/057957
申请日：2013-04-17
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
发明人： LEHMANN, Walter , HOFMANN, Achim , KAYSER, Thomas , ARNDT, Martin
IPC分类号： C03B19/10 , F27B7/00
CPC分类号： C03B20/00 , C03B19/1095 , C03B2201/02 , C04B35/185 , C04B35/62665 , C04B35/64 , C04B2235/5427 , C04B2235/77 , C04B2235/94 , C23C4/10 , C23C4/11 , C23C4/18 , C23C4/185 , F27B7/00 , F27B7/04 , F27B7/34
摘要： Die Herstellung von Quarzglaskörnung umfasst die Granulation pyrogen hergestellter Kieselsäure und Bildung eines SiO 2 -Granulats und Verglasen des SiO 2 -Granulats unter einem Behandlungsgas, das mindestens 30 Vol.-% Helium und/oder Wasserstoff enthält. Dieser Prozess ist zeit- und kostenaufwändig. Um ein Verfahren anzugeben, das ausgehend von porösem SiO 2 -Granulat eine preisgünstige Herstellung dichter, synthetischer Quarzglaskörnung ermöglicht, die zum Einschmelzen blasenfreier Bauteile aus Quarzglas geeignet ist, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das Verglasen des SiO 2 -Granulats in einem Drehrohrofen mit einem mullithaltigen keramischen Drehrohr erfolgt, für dessen Fertigung ein Ausgangspulver, das SiO 2 und AI 2 O 3 mit einem Molanteil von mindestens 45% enthält, mittels thermischem Pulverspritzverfahren unter Bildung einer Mullit enthaltenden Schicht auf einem Formkern aufgetragen wird und der Formkern anschließend entfernt wird, und wobei das keramische Drehrohr mit einem Behandlungsgas geflutet oder mit dem Behandlungsgas gespült wird, das mindestens 30 Vol.-% Helium und/oder Wasserstoff enthält.
摘要翻译：石英玻璃粒的制备，造粒包括热解法二氧化硅和形成的SiO 2颗粒的二氧化硅颗粒和玻璃化的含有至少30体积百分比的氦和/或氢的％的处理气体。这个过程是费时又费钱。为了提供一种能够开始致密多孔的SiO 2颗粒的低成本制造，合成二氧化硅颗粒，其适合于熔化石英玻璃的无气泡的部件，本发明提出了具有莫来石陶瓷旋转管在SiO 2颗粒在旋转管式炉的玻璃化发生时，包含它的制造过程中，SiO2和Al2O3，其具有至少45％的摩尔分数，通过热粉末含有喷涂法，以在模芯莫来石层被施加，然后将心轴被除去，并且其中，原料粉末的陶瓷旋转管与处理气体充斥或与含有至少30体积百分比的氦和/或氢的％的处理气体洗涤。

48. 发明申请

WO2013149882A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES FORMKÖRPERS AUS ELEKTROGESCHMOLZENEM SYNTHETISCHEM QUARZGLAS 审中-公开
标题翻译：方法制备成型身体合成石英玻璃电熔
公开(公告)号：WO2013149882A1
公开(公告)日：2013-10-10
申请号：PCT/EP2013/056364
申请日：2013-03-26
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
发明人： LEHMANN, Walter , KAYSER, Thomas , ARNDT, Martin , HOFMANN, Achim
IPC分类号： C03B20/00 , C03B5/033 , C03B19/10
CPC分类号： C03B20/00 , C03B5/033 , C03B5/0336 , C03B19/108 , C03B19/1095 , Y02P40/57
摘要： Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers aus synthetischem Quarzglas wird Quarzglaskörnung (15) in einem elektrisch beheizten Schmelzbehälter (31) unter Bildung einer erweichten Quarzglasmasse (57) erhitzt und die erweichte Quarzglasmasse (57) zu dem Formkörper geformt. Um auch bei kontinuierlichen Einschmelzprozessen ein vorteilhaftes Einschmelzverhalten zu erreichen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, synthetisch erzeugte Quarzglaskörnung (15) aus Körnungsteilchen einzusetzen, in denen Helium eingeschlossen ist, wobei diese Quarzglaskörnung (15) erzeugt wird durch Granulation pyrogen hergestellter Kieselsäure unter Bildung eines SiO 2 -Granulats (9) und anschließendem Verglasen des SiO 2 -Granulats in einem Drehrohrofen (1) mit einem mindestens teilweise aus keramischem Werkstoff bestehenden Drehrohr (6) und unter einem Behandlungsgas, das mindestens 30 Vol.-% Helium enthält.
摘要翻译：在用于制造合成石英硅石颗粒的模制品的公知方法是在电加热熔融槽（31）被加热以形成软化的石英玻璃块（57）（15）和形成在该软化的石英玻璃块（57）对模具主体。为了实现有利的熔化特性，可以在连续Einschmelzprozessen，本发明提出的是使用其中氦被封闭Körnungsteilchen的合成产生的硅石颗粒（15），所述二氧化硅颗粒（15）由热解二氧化硅的颗粒化制备，以形成SiO 2的颗粒（9），并在旋转窑（1）SiO 2个的颗粒的后续玻璃化具有至少部分由陶瓷材料制成，所述旋转管（6）和含有至少30体积％氦的处理气体下。

49. 发明申请

WO2013087678A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SYNTHETISCHEM QUARZGLAS SOWIE QUARZGLAS FÜR DEN EINSATZ ALS MANTELMATERIAL EINER OPTISCHEN FASER 审中-公开
标题翻译：工艺生产合成石英玻璃和石英玻璃用作表面材料光纤ONE
公开(公告)号：WO2013087678A1
公开(公告)日：2013-06-20
申请号：PCT/EP2012/075197
申请日：2012-12-12
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
发明人： TROMMER, Martin , ZWARG, Steffen , SATTMANN, Ralph , KUEHN, Bodo
IPC分类号： C03B37/014
CPC分类号： C03B37/014 , C03B37/01406 , C03B37/01413 , C03B2201/20 , C03B2201/84 , C03B2207/32 , C03B2207/36 , C03C13/008 , C03C2213/00
摘要： Es ist ein Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas bekannt, umfassend die Verfahrensschritte: (a) Umsetzen eines eine kohlenstoffhaltige Siliziumverbindung enthaltenden Einsatzmaterials mit Sauerstoff in einer Reaktionszone zu SiO 2 -Partikeln, (b) Abscheiden der SiO 2 -Partikel auf einer Ablagerungsfläche unter Bildung eines Kohlenstoff und Hydroxylgruppen enthaltenden, porösen SiO 2 -Sootkörpers, (c) Trocknen des porösen SiO 2 -Sootkörpers, und (d) Verglasen zu dem synthetischen Quarzglas durch Erhitzen des Sootkorpers auf eine Verglasungstemperatur. Um hiervon ausgehend ein Verfahren anzugeben, das eine kostengünstige Herstellung von Quarzglas durch Pyrolyse oder Hydrolyse einer kohlenstoffhaltigen Siliziumverbindung unter Einsatz eines kohlenstoffhaltigen Einsatzmaterials ermöglicht, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass ein Sootkörper mit einem Kohlenstoffgehalt im Bereich von 1 Gew.-ppm bis 50 Gew.-ppm erzeugt wird.
摘要翻译：它是用于制造合成石英玻璃的方法是已知的，包括以下步骤：（a）沉积表面2个颗粒上的SiO的含碳硅与氧的原料在反应区中，以SiO 2颗粒，含化合物的（b）中沉积反应以形成碳和含羟基的，多孔的SiO 2烟灰体，（c）干燥所述多孔的SiO 2烟灰体，和（d）玻璃化由Sootkorpers加热到玻璃化温度的合成石英玻璃。要指定此基础上的方法，其允许通过热解或水解廉价生产的石英玻璃的硅化合物，使用将碳质原料含碳，本发明提出了具有以重量计在1个重量ppm的范围内的碳含量，以50份微粉体 ppm的被生成。

50. 发明申请

WO2013076192A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SYNTHETISCHEM QUARZGLAS DURCH ABSCHEIDUNG VON SiO2-SOOT AUS DER DAMPFPHASE AUF EINER UNTERLAGE 审中-公开
标题翻译：用于生产合成石英玻璃进行分离二氧化硅烟尘从气相在PAD
公开(公告)号：WO2013076192A1
公开(公告)日：2013-05-30
申请号：PCT/EP2012/073340
申请日：2012-11-22
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
发明人： FABIAN, Heinz
IPC分类号： C03B19/14 , C03B37/014
CPC分类号： C03B37/01807 , C03B19/1415 , C03B37/01413 , C03B2207/32 , C03B2207/85
摘要： Ein bekanntes Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas umfasst die Verfahrensschritte: Bereitstellen eines flüssigen SiO 2 -Einsatzmaterials, das als Hauptkomponente Octamethylcyclotetrasiloxan D4 enthält, Verdampfen des SiO 2 -Einsatzmaterials in einen Einsatzmaterialdampf, Umsetzen des Einsatzmaterialdampfes zu SiO 2 -Partikeln, Abscheiden der SiO 2 -Partikel auf einer Ablagerungsfläche unter Bildung eines porösen SiO 2 -Sootkörpers, und Verglasen des SiO 2 -Sootkörpers unter Bildung des synthetischen Quarzglases. Um hiervon ausgehend die Herstellung von großvolumigen, zylinderförmigen Sootkörpern mit Außendurchmessern von mehr als 300 mm mit verbesserter Materialhomogenität zu ermöglichen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das flüssige Einsatzmaterial Zusatzkomponenten enthält, umfassend Hexamethylcyclotrisiloxan D3 und dessen lineares Homolog mit einem Gewichtsanteil mD3, Decamethylcyclohexasiloxan D6 und dessen lineares Homolog mit einem Gewichtsanteil mD6 sowie Tetradekamethylcycloheptasiloxan D7 und/oder Hexadecamethylcyclooctasiloxan D8 und deren lineare Homologe mit einem Gewichtsanteil mD7+, wobei das Gewichtsverhältnis mD3/mD6 in einem Bereich zwischen 0,05 und 90 liegt und der Gewichtsanteil mD7+ mindestens 20 Gew.-ppm beträgt.
摘要翻译：用于制造合成石英玻璃的已知方法包括以下步骤：提供含有作为主要成分的八甲基环四D4，二氧化硅原料的蒸发在原料蒸气的液体的SiO 2的原料中，进料蒸汽以SiO 2颗粒反应，在沉积该SiO 2颗粒沉积表面上以形成多孔的SiO 2烟灰体，并用形成的合成石英玻璃的玻璃化SiO 2的微粉体。在开始启用此，生产具有大于300mm的外径的材料的改进的均匀性笨重圆柱形烟灰体的，本发明提出的液体进料含有包括六甲基环三D3和其线性同源物具有重量分数MD3，Decamethylcyclohexasiloxan D6和另外的组分及其具有重量分数MD6和Tetradekamethylcycloheptasiloxan D7和/或Hexadecamethylcyclooctasiloxan D8以及它们与重量分数MD7 +线性同系物，其中重量比MD3 / MD6是在0.05和90重量分数MD7 +至少20ppm之间的范围重量的线性同源，

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