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31. 发明公开

EP0371021A1 HELIUM-NEON LASERS 有权转让
标题翻译：氦氖激光。
公开(公告)号：EP0371021A1
公开(公告)日：1990-06-06
申请号：EP88903898.0
申请日：1988-05-05
申请人： THE SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE IN HER BRITANNIC MAJESTY'S GOVERNMENT OF THE UNITED KINGDOM OF GREAT BRITAIN AND
发明人： RAWLEY, William, Richard, Charlton , GILL, Patrick
IPC分类号： H01S3
CPC分类号： H01S3/1398
摘要： Laser à hélium et néon émettant des rayonnements situés dans les plages de l'ultra-violet, de l'infrarouge, et de lumières visibles autres que rouge, dans au moins deux modes. Système stabilisateur se composant d'un dispositif de chauffage par alignement (19) qui fléchit les tubes du laser en vue d'un alignement optimum, un système de chauffage spiralé (20) faisant varier cycliquement la longueur des tubes, ainsi que des aimants permanents (24, 25) réduisant l'instabilité des polarisations des modes, et destinés à optimiser les intensités relatives de ceux-ci. La sortie transmise est stabilisée en fréquence par commande de la longueur du tube du laser, avec le signal de stabilisation dérivé de l'intensité ou des intensités stables ou variables d'une ou de chacune de deux entrées optiques polarisées orthogonalement. Il existe de nombreuses utilisations potentielles pour des lasers à hélium et néon non rouges dans des applications dans lesquelles de la lumière autre que de la lumière rouge est requise, par exemple dans l'interférométrie à longueurs d'ondes multiples.

32. 发明公开

KR1020150038651A 시드 레이저 모드 안정화 시스템 및 방법 有权
标题翻译：种子激光模式稳定系统和方法
公开(公告)号：KR1020150038651A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：KR1020157006494
申请日：2013-08-13
申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
发明人： 샌드트롬리차드엘.
IPC分类号： H01S3/13 , H05G2/00 , H01S3/00 , H01S3/11 , H01S3/136 , H01S3/139 , H01S3/23
CPC分类号： H01S3/13 , H01S3/0085 , H01S3/11 , H01S3/1305 , H01S3/136 , H01S3/1398 , H01S3/2366 , H01S3/2383 , H05G2/005 , H05G2/008
摘要： 레이저생성플라즈마(LPP) 극자외선(EUV) 광시스템내의시드레이저안정화방법및 장치가개시된다. 하나의실시예에서, 레이저의캐비티길이는캐비티의일단을형성하는이동가능한미러에의해조절될수 있다. 출력펄스의방출로부터다음레이징임계값에도달될때까지의시간지연이상이한미러위치에서측정되고, 레이저의이득피크와나란한캐비티모드를야기하는미러위치가선택되어, 레이저의출력펄스에서부터다음레이징임계값까지의최소시간지연을산출한다. 레이저내의 Q-스위치는프리레이징및 출력펄스의지터-프리(jitter-free) 타이밍을가능하게한다. 피드백루프는레이저출력을최대이득및 효율로, 그리고감쇠및 타이밍을희망의동작포인트로유지한다.

33. 发明公开

KR1020100101021A 외부공동 가변파장 레이저에서의 위상제어 失效
标题翻译：外部可加热激光器的相位控制
公开(公告)号：KR1020100101021A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：KR1020107019408
申请日：2003-09-30
申请人： 컨버전트 인텔렉츄얼 프로퍼티 매니지먼트 인코포레이티드
发明人： 로마노안드레아 , 데돈노마르코 , 피안치올라아우렐리오
IPC分类号： H01S3/10 , H01S3/13 , H01S5/14
CPC分类号： H01S5/141 , G02F2203/055 , H01S3/105 , H01S3/1065 , H01S3/1398 , H01S5/02216 , H01S5/02284 , H01S5/0617 , H01S5/0622 , H01S5/0683 , H01S5/101
摘要： 본 발명은 이득 매질, 가변파장 소자 및 채널할당 격자소자를 포함하는 단일모드 외부공동 가변파장 레이저에 관한 것이다. 채널할당 격자소자는 바람직하게는 ITU 채널격자에 해당하는 등간격의 복수의 투과 피크, 예컨대, 200, 100, 50, 또는 25GHz를 형성하도록 구성되고 배열된 FP 에탈론이다. 가변파장 소자, 바람직하게는 가변파장 미러는 격자 에탈론의 피크들을 식별하는 저밀도 동조소자로서 사용된다. 본 발명의 가변파장 레이저는 15㎜보다 크지 않는, 바람직하게는 12㎜보다 크지 않는 비교적 짧은 공동길이를 갖는다. FP 에탈론이 캐비티 모드의 압축, 즉, 에탈론 투과 피크에 따른 캐비티 모드 간격에서의 감소를 유발하는 외부공동에서 위상 비선현성을 도입하는 것을 발견하였다. 모드 압축은 이하 (FWHM)
FP 라고 하는 격자 FP 에탈론의 FWHM 대역폭의 감소에 따라 증가한다. (FWHM)
FP 는 약 2GHz 내지 약 8GHz의 범위로 구성되어야 한다. 바람직하기로, (FWHM)
FP 는 대략 3GHz 내지 6GHz 사이에 포함된다.

34. 发明公开

KR1020100079582A 레이저 빔 출력 보정시스템 및 보정방법 失效
标题翻译：激光束功率的修正系统和修正方法
公开(公告)号：KR1020100079582A
公开(公告)日：2010-07-08
申请号：KR1020080138113
申请日：2008-12-31
申请人： (주)와이티에스
发明人： 이석준 , 박근표 , 최준호
IPC分类号： H01S3/10
CPC分类号： H01S3/1398 , G02B5/283 , H01S3/0619 , H01S3/1026
摘要： PURPOSE: A system and a method for revising laser beam power are provided to calculate a revised value by measuring the specific wavelength of laser beam power and comparing the measured wavelength with pre-stored data. CONSTITUTION: A controller(110) controls the whole operation of a system. A laser beam measuring unit(120) measures the laser beam power on the end part of laser beam which passed through a scan head. A power/voltage value conversion unit(130) converts the power of the laser beam into a voltage value. A data storing unit(140) stores data for voltage values in contradistinction to the laser beam power.
摘要翻译：目的：提供一种用于修改激光束功率的系统和方法，以通过测量激光束功率的特定波长并将测量的波长与预存数据进行比较来计算修正值。构成：控制器（110）控制系统的整个操作。激光束测量单元（120）测量通过扫描头的激光束的端部上的激光束功率。电源/电压值转换单元（130）将激光束的功率转换成电压值。数据存储单元（140）存储与激光束功率相对应的电压值的数据。

35. 发明公开

KR1020060065723A 외부공동 가변파장 레이저의 파장 제어 无效
标题翻译：外部可加热激光的波长控制
公开(公告)号：KR1020060065723A
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：KR1020067006232
申请日：2003-11-07
申请人： 피렐리 앤 씨. 에스.피.에이. , 텔레콤 이탈리아 소시에떼 퍼 아찌오니
发明人： 카텔란수산나마리아 , 로마노안드레아 , 데돈노마르코 , 피안치올라아우렐리오
IPC分类号： H01S5/14
CPC分类号： H01S5/141 , G02F2203/055 , H01S3/105 , H01S3/1065 , H01S3/1398 , H01S5/02216 , H01S5/02284 , H01S5/0617 , H01S5/0622 , H01S5/0683 , H01S5/101
摘要： The present invention relates to a method of controlling an external-cavity tuneable laser that comprises a wavelength-elective tuneable mirror, in which wavelength selectivity is achieved by an electrical signal provided by an alternating voltage. The tuneable mirror of the present invention comprises a liquid crystal material, a diffraction grating and a planar waveguide optically interacting with the grating. The diffraction grating and the waveguide form a resonant structure that reflects only a selected resonance wavelength from among all the other wavelengths impinging thereon. Depending on the amplitude of the voltage applied to the tunable mirror, VTM, the tuneable mirror reflects radiation only at a given wavelength lambdaTM. The lasing output wavelength of the laser is selected to correspond to the resonance wavelength lambdaTM of the tuneable mirror. Accurate selection of the emission wavelength (frequency) of the tuneable laser by the tuneable mirror can be derived from the analysis of the signal modulation induced by the AC voltage applied to the tuneable mirror.
摘要翻译：本发明涉及一种控制外腔可调激光器的方法，该激光器包括波长选择性可调谐镜，其中通过由交流电压提供的电信号实现波长选择性。本发明的可调谐镜包括液晶材料，衍射光栅和与光栅光学相互作用的平面波导。衍射光栅和波导形成谐振结构，其仅从入射到其上的所有其它波长中仅反射出选定的谐振波长。根据施加到可调谐镜VTM的电压的幅度，可调谐镜仅在给定波长λTM下反射辐射。选择激光器的激光输出波长以对应于可调镜的谐振波长λTM。可调谐反射镜对可调谐激光器的发射波长（频率）的精确选择可以从对施加到可调镜的AC电压引起的信号调制的分析中得出。

37. 发明专利

JP2008141054A Apparatus, method, and program for stabilizing laser frequency 有权
标题翻译：用于稳定激光频率的装置，方法和程序
公开(公告)号：JP2008141054A
公开(公告)日：2008-06-19
申请号：JP2006327218
申请日：2006-12-04
申请人： Mitsutoyo Corp , 株式会社ミツトヨ
发明人： NAKAGAWA HIDEYUKI
IPC分类号： H01S3/139
CPC分类号： H01S3/1392 , H01S3/09415 , H01S3/10069 , H01S3/109 , H01S3/1305 , H01S3/1398 , H01S3/1611 , H01S3/1673
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus, method, and program for stabilizing a laser frequency which do not require precision for measuring intervals between saturated absorption lines and, even if an actuator having a large elapsed time variation is used, have adequate trackability against the elapsed time variation for locking the oscillation frequency.
SOLUTION: An automatic locking unit 36a determines saturated absorption lines when a measured output of a secondary differential signal S2 exceeds a threshold voltage V2, and based on the number of determined saturated absorption lines and a combination of the saturated absorption lines thereof (a saturated absorption line group), locks the oscillation frequency of the laser light at a preset saturated absorption line.
COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了提供用于稳定激光频率的装置，方法和程序，其不需要精度来测量饱和吸收线之间的间隔，并且即使使用具有大的经过时间变化的致动器，具有锁定振荡频率的经过时间变化的足够可追踪性。解决方案：当二次差分信号S2的测量输出超过阈值电压V2时，自动锁定单元36a确定饱和吸收线，并且基于确定的饱和吸收线的数量和其饱和吸收线的组合（饱和吸收线组）将激光的振荡频率锁定在预设的饱和吸收线。版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

38. 发明专利

JP2007524215A External cavity wavelength control of the tunable laser 有权
公开(公告)号：JP2007524215A
公开(公告)日：2007-08-23
申请号：JP2005509813
申请日：2003-11-07
申请人：テレコム・イタリア・エッセ・ピー・アー , ピレリ・アンド・チ・ソチエタ・ペル・アツィオーニ
发明人：カッテラン，スザンナ・マリア , デ・ドンノ，マルコ , ピアンチョラ，アウレリオ , ロマーノ，アンドレア
IPC分类号： H01S5/14 , H01S5/022 , H01S5/06 , H01S5/062 , H01S5/343
CPC分类号： H01S5/141 , G02F2203/055 , H01S3/105 , H01S3/1065 , H01S3/1398 , H01S5/02216 , H01S5/02284 , H01S5/0617 , H01S5/0622 , H01S5/0683 , H01S5/101
摘要：本発明は、波長選択同調可能ミラーを備える外部空洞同調可能レーザを制御する方法に関し、波長選択性は交流電圧で供給される電気信号で実現される。本発明の同調可能ミラーは、液晶材料、回折格子および回折格子と光学的に相互作用する平面導波路を備える。回折格子および導波路は、入射する他の全ての波長の中から選択された共振波長だけを反射する共振構造を形成する。同調可能ミラーに加えられた電圧Ｖ
ＴＭの振幅に依存して、同調可能ミラーは所与の波長λ
ＴＭだけで放射を反射する。レーザのレイジング出力波長は、同調可能ミラーの共振波長λ
ＴＭに対応するように選ばれる。同調可能ミラーによる同調可能レーザの発光波長（周波数）の正確な選択は、同調可能ミラーに加えられた交流電圧によって引き起こされた信号変調の分析から得ることができる。

39. 发明专利

JP2004088120A Method for stably controlling short pulse laser 有权
公开(公告)号：JP2004088120A
公开(公告)日：2004-03-18
申请号：JP2003354301
申请日：2003-10-14
申请人： Imra America Inc , イムラアメリカインコーポレイテッド
发明人： SUCHA GREGG D DR , FERMANN MARTIN E , HARTER DONALD J DR
IPC分类号： H01S3/10 , G01B11/24 , G01M11/00 , G01P3/80 , G01R13/34 , G01S7/48 , G01S7/484 , G01S7/486 , G01S17/10 , G01S17/50 , H01S3/02 , H01S3/06 , H01S3/07 , H01S3/098 , H01S3/105 , H01S3/13 , H01S3/139 , H01S3/23
CPC分类号： H01S3/2383 , G01P3/806 , G01R13/347 , G01S7/484 , G01S7/486 , G01S7/497 , G01S17/107 , G01S17/50 , H01S3/1398
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce to the minimum timing jitter caused by variations in environmental condition such as vibrations, disturbance of air, change in temperature. SOLUTION: Two lasers are configured by using the an identical component in an identical container so as to be pumped by the same pump laser while maintaining a state in which the two lasers can be controlled independently. In particular, in the case of a fiber laser, two fibers are wound together around the same shaft (spool). COPYRIGHT: (C)2004,JPO

40. 发明申请

WO2014095197A1 PHASENRAUSCH-MESSGERÄT 审中-公开
标题翻译：相位噪声计
公开(公告)号：WO2014095197A1
公开(公告)日：2014-06-26
申请号：PCT/EP2013/074083
申请日：2013-11-18
申请人： BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND, VERTRETEN DURCH DAS BUNDESMINISTERIUM FÜR WIRTSCHAFT UND TECHNOLOGIE
发明人： LEGERO, Thomas , GREBING, Christian
IPC分类号： G01J9/00 , G01J9/02 , H01S3/139
CPC分类号： G01J9/00 , G01J9/02 , H01S3/1392 , H01S3/1398
摘要： Die Erfindung betrifft ein Phasenrausch-Messgerät zum Messen eines Phasenrauschens von elektromagnetischer Strahlung, insbesondere von Licht, mit (a) einem Strahlungseingang (12) zum Einkoppeln eines Primärstrahls (14) kohärenter elektromagnetischer Strahlung, wobei der Primärstrahl (14) ein zu messendes Primärstrahl-Phasenrauschen aufweist, (b) einer Sekundärstrahl-Erzeugungsvorrichtung (16) zum Erzeugen eines Sekundärstrahls (18) aus dem Primärstrahl (14), wobei der Sekundärstrahl (18) ein Sekundärstrahl-Phasenrauschen aufweist, das auf eindeutige Weise von dem Primärstrahl-Phasenrauschen abhängt, (c) einer Sekundärstrahl-Stabilisierungsvorrichtung (27), die eine passive Frequenzreferenz-Verkörperung (26), die eine Frequenzreferenz verkörpert, undeine Regelvorrichtung zum Regeln einer Sekundärstrahl-Frequenz auf die Frequenzreferenzaufweist,zum Erzeugen eines stabilisierten Sekundärstrahls (18') und (d) einer Phasendifferenz-Messvorrichtung (36), die eingerichtet ist zum Messen einer Phasendifferenz zwischen Primärstrahl (14) und stabilisiertem Sekundärstrahl (18'), so dass das Primärstrahl-Phasenrauschen aus der Phasendifferenz bestimmbar ist.
摘要翻译：本发明涉及一种相位噪声测量装置用于注入相干的电磁辐射，其中所述主光束（14）将被测量Primärstrahl-的主梁（14）测量电磁辐射的相位噪声，特别是光，用（a）一种辐射输入（12）具有相位噪声，（b）一种次级光束生成装置（16），用于从所述主光束（14）产生的辅助梁（18），所述辅助光束（18）包括一辅助光束的相位噪声，这取决于在初级光束的相位噪声的明确的方式，包括无源频率参考实施例（26）实施的频率参考，以及用于控制一辅助光束频率到Frequenzreferenzaufweist，用于产生稳定的次级光束（18“）的控制装置（c）中的次级光束稳定装置（27）和（d ）（相位差测量装置36），其被设置，为了测量初级束（14）和稳定的次级光束（18“），使得所述主光束的相位噪声能够从相位差来确定之间的相位差。

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