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    • 36. 发明专利
    • データ保存構造を有する半導体構造、および、その製造方法
    • 具有数据存储结构的半导体结构及其制造方法
    • JP2016149551A
    • 2016-08-18
    • JP2016021870
    • 2016-02-08
    • 台湾積體電路製造股▲ふん▼有限公司Taiwan Semiconductor Manufacturing Company,Ltd.
    • 蕭 婉▲いん▼金 雅琴林 崇榮陳 皇魁張 宗生
    • H01L27/105H01L45/00H01L49/00H01L27/10
    • H01L27/2436H01L29/41725H01L29/78
    • 【課題】データ保存構造を有し、機能が多様化した半導体構造とその形成方法を提供する。 【解決手段】基板102及び基板上に形成されるゲート構造104を有する。半導体構造は、更に、第一ソース/ドレイン構造116及びゲート構造に隣接する基板中に形成される第二ソース/ドレイン構造118を有する。半導体構造は、更に、基板上に形成されて、ゲート構造、第一ソース/ドレイン構造及び第二ソース/ドレイン構造を被覆する層間絶縁層120を有する。半導体構造は、更に、第一ソース/ドレイン構造上の層間絶縁層中に形成される第一導電構造128及び第二ソース/ドレイン構造上の層間絶縁層中に形成される第二導電構造130を有する。第一導電構造は、第一ソース/ドレイン構造と直接接触し、第二導電構造は、第二ソース/ドレイン構造と直接接触しない。 【選択図】図1D
    • 要解决的问题:提供具有数据存储结构和多种功能的半导体结构及其制造方法。解决方案:半导体结构包括基板102和形成在基板上的栅极结构104。 半导体结构还包括:第一源极/漏极结构116和形成在与栅极结构相邻的衬底中的第二源极/漏极结构118; 形成在基板上并覆盖栅极结构的层间绝缘层120,第一源极/漏极结构和第二源极/漏极结构; 以及形成在第一源极/漏极结构上的层间绝缘层中的第一导电结构128和形成在第二源极/漏极结构上的层间绝缘层中的第二导电结构130。 第一导电结构直接接触第一源极/漏极结构。 第二导电结构不直接接触第二源/漏结构。选择图:图1D
    • 39. 发明专利
    • パッド構造
    • PAD结构
    • JP2015173284A
    • 2015-10-01
    • JP2015102960
    • 2015-05-20
    • 台湾積體電路製造股▲ふん▼有限公司Taiwan Semiconductor Manufacturing Company,Ltd.
    • 陳 思瑩林 政賢楊 敦年劉 人誠劉 家▲い▼曾 仲銓
    • H01L21/768H01L23/522H01L21/3205
    • H05K1/0296H01L23/522H01L23/5283H01L23/562H05K1/115H01L2224/05093H01L2224/05568H01L24/05
    • 【課題】剥離を軽減するパッド構造を提供する。 【解決手段】パッド構造は、第一領域の上に位置する接着領域と、接着領域下のパッドであって、第一領域または第二領域のうちの少なくとも一つの上に位置するパッドと、パッド下の第一層間領域であって、第一領域に関連する第一層間誘電体領域、および、一つ以上のパッド接続を含む第一層間領域と、第一層間領域に関連する第一金属間誘電体領域、および、第二領域に関連する第二金属間領域を含む、層間領域下の第一金属間領域であって、第一金属間誘電体領域は、パッド構造に関連する剥離を軽減するように構成されることと、第一金属間領域下のパッシベーション酸化物領域であって、このパッシベーション酸化物領域は、第二領域に関連する第一再分配層含むことと、パッシベーション酸化物領域下のウェハとを含む。 【選択図】図4
    • 要解决的问题:提供一种用于减轻剥离的垫结构。解决方案:垫结构包括:位于第一区域上方的粘结区域; 垫,其设置在所述接合区域的下方并且位于所述第一区域和第二区域中的至少一个的上方; 设置在所述焊盘下方的第一层间区域,所述第一层间区域包括与所述第一区域相关联的第一层间电介质区域,并且还包括一个或多个焊盘连接; 设置在所述第一层间区域下方的第一金属间区域,所述第一金属间区域包括与所述第一区域相关联的第一金属间介电区域和与所述第二区域相关联的第二金属间区域, 第一金属间介质区域被配置为减轻与焊盘结构相关联的剥离; 设置在所述第一金属间区域下方的钝化氧化物区域,所述钝化氧化物区域包括与所述第二区域相关联的第一再分布层; 以及设置在钝化氧化物区域下方的晶片。