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31. 发明专利

TW200907602A 光微影系統 PHOTOLITHOGRAPHY SYSTEM 审中-公开
简体标题：光微影系统 PHOTOLITHOGRAPHY SYSTEM
公开(公告)号：TW200907602A
公开(公告)日：2009-02-16
申请号：TW097130030
申请日：2008-08-07
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：奧山隆志 TAKASHI OKUYAMA , 小林義則 YOSHINORI KOBAYASHI
IPC分类号： G03F , H01L
CPC分类号： G03F7/70508 , G03F7/70275 , G03F7/70291 , G03F7/704
摘要：光微影系統包括了至少一空間光調製器、一掃描機構、複數記憶體、一資料處理器與一曝光控制器。至少一空間光調製器包括了規則排列之複數光調製元件。掃描機構係規劃用以相對於一目標物件而沿著一給定掃描方向移動至一曝光區域,曝光區域被定義為空間光調製器之一投影區域。複數記憶體係規劃用以對應於複數空間曝光區域,複數空間曝光區域係經由區分曝光區域而定義,複數記憶體係指定為第一記憶體至第N記憶體。資料處理器係根據一曝光之時序而連續地將曝光資料寫入各記憶體之中。曝光控制器係基於曝光區域之相對位置而控制複數光調製元件。舉例而言,複數記憶體係以串聯方式而彼此相互連接。資料處理器係將最新產生曝光資料寫入第一記憶體且將儲存在第一記憶體至第N-1記憶體中之曝光資料分別轉移至第二記憶體至第N記憶體。
简体摘要：光微影系统包括了至少一空间光调制器、一扫描机构、复数内存、一数据处理器与一曝光控制器。至少一空间光调制器包括了守则排列之复数光调制组件。扫描机构系规划用以相对于一目标对象而沿着一给定扫描方向移动至一曝光区域,曝光区域被定义为空间光调制器之一投影区域。复数内存系规划用以对应于复数空间曝光区域,复数空间曝光区域系经由区分曝光区域而定义,复数内存系指定为第一内存至第N内存。数据处理器系根据一曝光之时序而连续地将曝光数据写入各内存之中。曝光控制器系基于曝光区域之相对位置而控制复数光调制组件。举例而言,复数内存系以串联方式而彼此相互连接。数据处理器系将最新产生曝光数据写入第一内存且将存储在第一内存至第N-1内存中之曝光数据分别转移至第二内存至第N内存。

32. 发明专利

TW200839466A 曝光繪圖裝置审中-公开
简体标题：曝光绘图设备
公开(公告)号：TW200839466A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：TW096148900
申请日：2007-12-20
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：李德 DUK LEE , 高津嘉郎 YOSHIO TAKATSU
IPC分类号： G03F , G03B
CPC分类号： G03F7/70291 , G03F7/70275 , G03F7/70558
摘要：【【課題】】提供一種曝光描圖裝置,確認光源的光量、空間光調變元件的運轉狀況而調整。【【解決手段】】曝光描圖裝置(100)包括一孔洞構件(20),設有用於將上述光源(10)分離成第一光束及第二光束的第一開口窗(21)及第二開口窗(21);第一及第二空間光調變裝置(41),調變上述第一光束及第二光束;投影光學系(60),將上述第一空間光調變裝置及第二空間光調變裝置所調變的第一光束及第二光束投影至上述被曝光體;第一光量感測器(SS11),在上述孔洞構件的附近,檢測出上述光源的光量;第二光量感測器(SS12),檢測出穿透上述投影光學系的第一光束及第二光束的光量;以及判斷裝置(88),根據上述第一光量感測器的第一輸出資訊以及上述第二光量感測器的第二輸出資訊而判斷從上述孔洞構件至上述被曝光體的狀況。
简体摘要：【【课题】】提供一种曝光描图设备,确认光源的光量、空间光调制组件的运转状况而调整。【【解决手段】】曝光描图设备(100)包括一孔洞构件(20),设有用于将上述光源(10)分离成第一光束及第二光束的第一开口窗(21)及第二开口窗(21);第一及第二空间光调制设备(41),调制上述第一光束及第二光束;投影光学系(60),将上述第一空间光调制设备及第二空间光调制设备所调制的第一光束及第二光束投影至上述被曝光体;第一光量传感器(SS11),在上述孔洞构件的附近,检测出上述光源的光量;第二光量传感器(SS12),检测出穿透上述投影光学系的第一光束及第二光束的光量;以及判断设备(88),根据上述第一光量传感器的第一输出信息以及上述第二光量传感器的第二输出信息而判断从上述孔洞构件至上述被曝光体的状况。

33. 发明专利

TW200836990A 搬運裝置失效
简体标题：搬运设备
公开(公告)号：TW200836990A
公开(公告)日：2008-09-16
申请号：TW096148236
申请日：2007-12-17
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：池田泰人 YASUHITO IKEDA , 森昌人 MASATO MORI
IPC分类号： B65G
摘要：【【課題】】提供一種搬運裝置,在搬運基板的搬運工程中,可容易地在有高度差異的基板處理裝置及搬運裝置之間移載,同時移載後的基板在下一工程中以適當姿勢整合。【【解決手段】】本發明的搬運裝置1包括複數個滾子;滾子輸送部10,具備上述滾子並具有以既定間隔並列設置的複數根軌道部,其水平搬運矩形基板N;鉛直移動機構3,使上述滾子輸送部10於鉛直方向移動;以及一對整合部30,配置於上述基板N相向的端部側,在上述滾子運輸部10上,藉由推動上述基板N的端部而整合上述基板N的姿勢,其中上述鉛直移動機構3係配置於上述滾子輸送部10的一端側,而上述滾子輸送部10的另一端側為自由端。
简体摘要：【【课题】】提供一种搬运设备,在搬运基板的搬运工程中,可容易地在有高度差异的基板处理设备及搬运设备之间移载,同时移载后的基板在下一工程中以适当姿势集成。【【解决手段】】本发明的搬运设备1包括复数个滚子;滚子输送部10,具备上述滚子并具有以既定间隔并列设置的复数根轨道部,其水平搬运矩形基板N;铅直移动机构3,使上述滚子输送部10于铅直方向移动;以及一对集成部30,配置于上述基板N相向的端部侧,在上述滚子运输部10上,借由推动上述基板N的端部而集成上述基板N的姿势,其中上述铅直移动机构3系配置于上述滚子输送部10的一端侧,而上述滚子输送部10的另一端侧为自由端。

34. 发明专利

TW200821775A 多重曝光裝置审中-公开
简体标题：多重曝光设备
公开(公告)号：TW200821775A
公开(公告)日：2008-05-16
申请号：TW096140016
申请日：2007-10-25
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：奧山隆志
IPC分类号： G03F
摘要：【【課題】】提供以不使資料轉送的規模擴大而進行從控制部朝裝置頭部的資料轉送的裝置。【【解決手段】】多種曝光裝置1係具備在作為基於作為在連續而被複數進行的曝光用中被使用的向量資料的繪製資料而被作成的網路資料的複數的曝光資料中、基於前後曝光資料間的差異而作成差異資料的曝光資料產生部11。具備具有在曝光用中被使用的DMD33、以及基於差異資料驅動DMD的元件控制部31的裝置頭部30。
简体摘要：【【课题】】提供以不使数据转送的规模扩大而进行从控制部朝设备头部的数据转送的设备。【【解决手段】】多种曝光设备1系具备在作为基于作为在连续而被复数进行的曝光用中被使用的矢量数据的绘制数据而被作成的网络数据的复数的曝光数据中、基于前后曝光数据间的差异而作成差异数据的曝光数据产生部11。具备具有在曝光用中被使用的DMD33、以及基于差异数据驱动DMD的组件控制部31的设备头部30。

35. 发明专利

TW200813658A 曝光裝置审中-公开
简体标题：曝光设备
公开(公告)号：TW200813658A
公开(公告)日：2008-03-16
申请号：TW096132705
申请日：2007-09-03
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：小林義則 YOSHINORI KOBAYASHI
IPC分类号： G03F , G03B
摘要：【【課題】】提供以不降低繪製解析度而擴大帶寬的曝光裝置,或提供不會使曝光資料演算處理複雜化而在繪製解析度高的狀態下進行曝光的曝光裝置。【【解決手段】】曝光裝置係包括:DMD(曝光部30)、成像光學系統50、以及繪製部70,其中成像光學系統50具有投影部(分割縮小投影部53),其包括將從在DMD中的開啓狀態的微型反射鏡反射的光所構成的中間投影像聚集在對於主掃描方向xx形成一定傾斜角度��的第一方向x上的第一方向圓筒狀鏡片、以及在和第一方向x垂直的第二方向y之間形成一定傾斜角度的副掃描方向yy上分割及聚集光的副掃描方向圓筒狀鏡片群或在第二方向y上分割及聚集光的第二方向圓筒狀鏡片群。繪製部70係在曝光時,由DMD經由成像光學系統50、投影像被投影,在主掃描方向xx移動。
简体摘要：【【课题】】提供以不降低绘制分辨率而扩大带宽的曝光设备,或提供不会使曝光数据演算处理复杂化而在绘制分辨率高的状态下进行曝光的曝光设备。【【解决手段】】曝光设备系包括:DMD(曝光部30)、成像光学系统50、以及绘制部70,其中成像光学系统50具有投影部(分割缩小投影部53),其包括将从在DMD中的开启状态的微型反射镜反射的光所构成的中间投影像聚集在对于主扫描方向xx形成一定倾斜角度��的第一方向x上的第一方向圆筒状镜片、以及在和第一方向x垂直的第二方向y之间形成一定倾斜角度的副扫描方向yy上分割及聚集光的副扫描方向圆筒状镜片群或在第二方向y上分割及聚集光的第二方向圆筒状镜片群。绘制部70系在曝光时,由DMD经由成像光学系统50、投影像被投影,在主扫描方向xx移动。

36. 发明专利

TW200809419A 對正裝置及曝光裝置审中-公开
简体标题：对正设备及曝光设备
公开(公告)号：TW200809419A
公开(公告)日：2008-02-16
申请号：TW095142414
申请日：2006-11-16
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：佐藤博明 , 池田泰人 , 森昌人
IPC分类号： G03F
摘要：【【課題】】本發明提供一種藉由對正而避免基板的變形與破損的對正裝置以及使用該對正裝置的曝光裝置。【【解決手段】】本發明之對正裝置包括:一台座(2、3),保持二維平面的方形基板(W),以正交於二維平面的軸為中心旋轉,且於該二維平面內的第一方向上移動;一第一攝影裝置(4a、4b),對配置於方形基板的一邊的邊緣的彼此分離的位置做攝影,並輸出二個位置的邊緣影像;一第二攝影裝置(4c),對與上述一邊相交的另一邊的邊緣一個位置做攝影,並輸出一個位置的另一邊緣影像;一影像處理電路(100),對邊緣影像及另一邊緣影像做影像處理;以及一控制部(20),根據影像處理裝置的輸出而控制台座。
简体摘要：【【课题】】本发明提供一种借由对正而避免基板的变形与破损的对正设备以及使用该对正设备的曝光设备。【【解决手段】】本发明之对正设备包括:一台座(2、3),保持二维平面的方形基板(W),以正交于二维平面的轴为中心旋转,且于该二维平面内的第一方向上移动;一第一摄影设备(4a、4b),对配置于方形基板的一边的边缘的彼此分离的位置做摄影,并输出二个位置的边缘影像;一第二摄影设备(4c),对与上述一边相交的另一边的边缘一个位置做摄影,并输出一个位置的另一边缘影像;一影像处理电路(100),对边缘影像及另一边缘影像做影像处理;以及一控制部(20),根据影像处理设备的输出而控制台座。

37. 外观设计

TWD119466S 高壓放電燈之接頭(六) 有权
简体标题：高压放电灯之接头(六)
公开(公告)号：TWD119466S
公开(公告)日：2007-10-11
申请号：TW095304975
申请日：2006-09-01
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
设计人：安達伸雄 NOBUO ADACHI , 屋木康彥 YASUHIKO OKUGI , 石鍋榮彥 SHIGEHIKO ISHINABE
摘要：本創作係關於一種高壓放電燈之接頭，其外型設計融合造型元素。【物品用途】
本創作之高壓放電燈之接頭設置於高壓放電燈之二端部，提供高壓放電燈連接之功能。【創作特點】
本創作高壓放電燈之接頭本體大致為圓柱形，上部凸設有具層疊視感的連接部，該連接部亦為圓柱形態樣，並且該連接部之直徑較本體之直徑為小，另外，本體上部表面設有二突出部與二圓形圖樣，分別設置於該連接部兩側，並且將本體上部之圓周等分為四部分。
整體觀之，本創作高壓放電燈之接頭之整體造形設計予人獨特的造型質感，以層疊以及等分之方式設計，深具美感，誠為符合新式樣專利要件的創新設計，實為同類型產品中所罕見者。
简体摘要：本创作系关于一种高压放电灯之接头，其外型设计融合造型元素。【物品用途】本创作之高压放电灯之接头设置于高压放电灯之二端部，提供高压放电灯连接之功能。【创作特点】本创作高压放电灯之接头本体大致为圆柱形，上部凸设有具层叠视感的连接部，该连接部亦为圆柱形态样，并且该连接部之直径较本体之直径为小，另外，本体上部表面设有二突出部与二圆形图样，分别设置于该连接部两侧，并且将本体上部之圆周等分为四部分。整体观之，本创作高压放电灯之接头之整体造形设计予人独特的造型质感，以层叠以及等分之方式设计，深具美感，诚为符合新式样专利要件的创新设计，实为同类型产品中所罕见者。

38. 发明专利

TW200736539A 燈泡及光源裝置审中-公开
简体标题：灯泡及光源设备
公开(公告)号：TW200736539A
公开(公告)日：2007-10-01
申请号：TW095124617
申请日：2006-07-06
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：屋木康彥 YASUHIKO OKUGI
IPC分类号： F21V
摘要：【課題】使藉由作業者的目視的裝置作業容易化,又,即使金屬蓋架和金屬蓋衝突,也可將衝突作為最小限度,提供可將燈泡以簡單、確實地、圓周方向的位置再現性良好地裝著在金屬蓋架的燈泡及光源裝置作為課題。【解決手段】包括與設置在燈泡1的金屬蓋4的缺口部7卡合的突起部22,且在具有嵌合上述燈泡的金屬蓋保持部9的保持部24的金屬蓋架20以可裝著脫離的方式被裝著的燈泡1,在包括與發光管的兩側連接的密封管3、收容此密封管且在一端具有端面的圓筒狀的金屬蓋4、以及在此金屬蓋的端面連接且比上述金屬蓋的直徑小被形成的上述金屬蓋保持部9的燈泡中,上述缺口部7的構成係作為設置在自上述金屬蓋的圓筒側面5橫跨端面6的位置。
简体摘要：【课题】使借由作业者的目视的设备作业容易化,又,即使金属盖架和金属盖冲突,也可将冲突作为最小限度,提供可将灯泡以简单、确实地、圆周方向的位置再现性良好地装着在金属盖架的灯泡及光源设备作为课题。【解决手段】包括与设置在灯泡1的金属盖4的缺口部7卡合的突起部22,且在具有嵌合上述灯泡的金属盖保持部9的保持部24的金属盖架20以可装着脱离的方式被装着的灯泡1,在包括与发光管的两侧连接的密封管3、收容此密封管且在一端具有端面的圆筒状的金属盖4、以及在此金属盖的端面连接且比上述金属盖的直径小被形成的上述金属盖保持部9的灯泡中,上述缺口部7的构成系作为设置在自上述金属盖的圆筒侧面5横跨端面6的位置。

39. 外观设计

TWD118195S 高壓放電燈之接頭(一) 有权
简体标题：高压放电灯之接头(一)
公开(公告)号：TWD118195S
公开(公告)日：2007-07-21
申请号：TW095304981
申请日：2006-09-01
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
设计人：安達伸雄 NOBUO ADACHI , 屋木康彥 YASUHIKO OKUGI , 石鍋榮彥 SHIGEHIKO ISHINABE
摘要：【創作說明】
本創作係關於一種高壓放電燈之接頭，其外型設計融合造型元素。【物品用途】
本創作之高壓放電燈之接頭設置於高壓放電燈之二端部，提供高壓放電燈連接之功能。【創作特點】
本創作高壓放電燈之接頭本體大致為圓柱形，上部凸設有具層疊視感的連接部，該連接部亦為圓柱形態樣，並且該連接部之直徑較本體之直徑為小，另外，本體上部表面設有三凹陷部，該等凹陷部係為方塊態樣並且將本體上部之圓周等分為三部分。
整體觀之，本創作高壓放電燈之接頭之整體造形設計予人獨特的造型質感，以層疊以及等分之方式設計，深具美感，誠為符合新式樣專利要件的創新設計，實為同類型產品中所罕見者。
简体摘要：【创作说明】本创作系关于一种高压放电灯之接头，其外型设计融合造型元素。【物品用途】本创作之高压放电灯之接头设置于高压放电灯之二端部，提供高压放电灯连接之功能。【创作特点】本创作高压放电灯之接头本体大致为圆柱形，上部凸设有具层叠视感的连接部，该连接部亦为圆柱形态样，并且该连接部之直径较本体之直径为小，另外，本体上部表面设有三凹陷部，该等凹陷部系为方块态样并且将本体上部之圆周等分为三部分。整体观之，本创作高压放电灯之接头之整体造形设计予人独特的造型质感，以层叠以及等分之方式设计，深具美感，诚为符合新式样专利要件的创新设计，实为同类型产品中所罕见者。

40. 外观设计

TWD118192S 高壓放電燈之接頭(三) 有权
简体标题：高压放电灯之接头(三)
公开(公告)号：TWD118192S
公开(公告)日：2007-07-21
申请号：TW095304972
申请日：2006-09-01
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
设计人：安達伸雄 NOBUO ADACHI , 屋木康彥 YASUHIKO OKUGI , 石鍋榮彥 SHIGEHIKO ISHINABE
摘要：【創作說明】
本創作係關於一種高壓放電燈之接頭，其外型設計融合造型元素。【物品用途】
本創作之高壓放電燈之接頭設置於高壓放電燈之二端部，提供高壓放電燈連接之功能。【創作特點】
本創作高壓放電燈之接頭本體大致為圓柱形，上部凸設有連接部，該連接部亦為圓柱形態樣，而連接部外緣還凸設有螺紋態樣的連接段部，並且該連接部之直徑較本體之直徑為小，另外，本體上部表面設有四凹陷部，該等凹陷部係為長方形態樣，並且沿著軸向的方向設置於本體之外緣，並且將本體上部之圓周等分為四部分。
整體觀之，本創作高壓放電燈之接頭之整體造形設計予人獨特的造型質感，以等分之方式設計，深具美感，誠為符合新式樣專利要件的創新設計，實為同類型產品中所罕見者。
简体摘要：【创作说明】本创作系关于一种高压放电灯之接头，其外型设计融合造型元素。【物品用途】本创作之高压放电灯之接头设置于高压放电灯之二端部，提供高压放电灯连接之功能。【创作特点】本创作高压放电灯之接头本体大致为圆柱形，上部凸设有连接部，该连接部亦为圆柱形态样，而连接部外缘还凸设有螺纹态样的连接段部，并且该连接部之直径较本体之直径为小，另外，本体上部表面设有四凹陷部，该等凹陷部系为长方形态样，并且沿着轴向的方向设置于本体之外缘，并且将本体上部之圆周等分为四部分。整体观之，本创作高压放电灯之接头之整体造形设计予人独特的造型质感，以等分之方式设计，深具美感，诚为符合新式样专利要件的创新设计，实为同类型产品中所罕见者。

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