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    • 35. 发明申请
    • MAGNETIC TUNNEL JUNCTION WITH DOMAIN WALL PINNING
    • 磁性隧道结与领域墙壁钉扎
    • WO2011097455A1
    • 2011-08-11
    • PCT/US2011/023713
    • 2011-02-04
    • QUALCOMM IncorporatedZHU, XiaochunLI, XiaKANG, Seung H.
    • ZHU, XiaochunLI, XiaKANG, Seung H.
    • H01L43/08H01L43/12
    • H01L43/08H01L43/12
    • Magnetic tunnel junctions (MTJs) are manufactured having pinning sites in a ferromagnetic layer of the MTJ. The pinning sites are created using patterns in the photomask used during patterning of the ferromagnetic layer without adding additional processes to manufacturing of the MTJs. The pinning sites create energy barriers substantially preventing a domain wall in the ferromagnetic layer from passing into fixed regions of the ferromagnetic layer. Additionally, the pinning sites substantially prevent a domain wall in the ferromagnetic layer from returning to the middle of the free region. Pinning the domain wall at the boundary of the fixed region and the free region the ferromagnetic layer improves reliability and sensitivity of the MTJ. The ferromagnetic layer may be magnetized in a direction perpendicular to the plane of the ferromagnetic layer.
    • 在MTJ的铁磁层中制造具有钉扎位置的磁隧道结(MTJ)。 使用在铁磁层的图案化期间使用的光掩模中的图案来创建钉扎位置,而不增加MTJ的制造的附加工艺。 钉扎位置产生基本上阻止铁磁层中的畴壁进入铁磁层的固定区域的能量势垒。 此外,钉扎位置基本上防止铁磁层中的畴壁返回自由区域的中间。 固定区域边界处的固定区域和自由区铁磁层提高了MTJ的可靠性和灵敏度。 铁磁层可以在垂直于铁磁层的平面的方向上被磁化。