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    • 34. 发明专利
    • Drucksensor
    • DE102008054879A1
    • 2010-07-01
    • DE102008054879
    • 2008-12-18
    • ENDRESS & HAUSER GMBH & CO KG
    • HAUPTVOGEL KARL-PETERSELDERS PETER
    • G01L9/00G01L7/08G01L9/12
    • Es ist ein Drucksensor mit einem keramischen Grundkörper (1), einer mit dem Grundkörper (1) unter Bildung einer Messkammer (3) druckdicht verbundenen Messmembran (5), einem elektromechanischen Wandler, der dazu dient, eine druckabhängige Verformung der Messmembran (5) in ein elektrisches Primärsignal umzuwandeln, und der mindestens einen auf eine Außenseite des Grundkörpers (1) geführten elektrischen Anschluss (13, 15) aufweist, und einer auf dem Grundkörper (1) montierten Vorortelektronik, bei dem die Vorortelektronik mechanisch vom Grundkörper entkoppelt ist, mit einem vom Grundkörper beabstandet angeordneten keramischen Träger (25), auf dem die Vorortelektronik angeordnet ist, auf der Außenseite des Grundkörpers (1) sind montierte Verbindungselemente (19, 21, 23), auf denen der Träger (25) mechanisch befestigt, und über die eine der Anzahl der Anschlüsse (13, 15) des Wandlers entsprechende Anzahl elektrisch leitfähiger Verbindungen verläuft, die vom jeweiligen Anschluss (13, 15) über eines der Verbindungselemente (19, 21) zu einem dem jeweiligen Anschluss (13, 15) zugeordneten auf dem Träger (25) befindlichen an die Vorortelektronik angeschlossenen Kontakt (31a, 31b) führt.
    • 40. 发明专利
    • Kapazitiver keramischer Drucksensor
    • DE102010000915A1
    • 2011-07-21
    • DE102010000915
    • 2010-01-14
    • ENDRESS & HAUSER GMBH & CO KG
    • HAUPTVOGEL KARL-PETERROSBERG ANDREASSCHMIDT ELKE
    • G01L9/12
    • Es ist ein Drucksensor mit einem Grundkörper (1, 1a, 1b), einer scheibenförmigen Messmembran (5), einer metallischen Fügestelle (7), die einen äußeren Rand der Messmembran (5) mit einem äußeren Rand des Grundkörpers (1, 1a, 1b) verbindet, einer unter der Messmembran (5) eingeschlossenen, durch die Fügestelle (7) und den Grundkörper (1, 1a, 1b) nach außen abgeschlossenen Messkammer (3), und einem kapazitiven elektromechanischen Wandler, der dazu dient, eine druckabhängige Verformung der Messmembran (5) in ein elektrisches Primärsignal umzuwandeln, der eine auf einer der Messmembran (5) zugewandten Oberfläche des Grundkörpers (1, 1a, 1b) flächig aufgebrachte Elektrode (9, 9a, 9b) und eine auf einer dem Grundkörper (1, 1a, 1b) zugewandten Oberfläche der Messmembran (5) flächig aufgebrachte Gegenelektrode (11) aufweist, bei dem die Elektrode (9, 9a, 9b) und die Gegenelektrode (11) einen Kondensator bilden, dessen Kapazität ein Maß für die druckabhängige Verformung der Messmembran (5) ist, beschrieben, der bei geringen Abmessungen Druckmessungen mit einer hohen Messgenauigkeit ausführen kann, beschrieben, bei dem der Grundkörper (1, 1a, 1b) in der Mitte des Drucksensors in die Messkammer (3) hinein ragt, so dass ein Abstand zwischen der flächig auf die Oberfläche des Grundkörpers (1, 1a, 1b) aufgebrachten Elektrode (9, 9a, 9b) und der flächig auf die Messmembran (5) aufgebrachten Gegenelektrode (11) in der Mitte des Drucksensors geringer als eine Dicke (d) der Fügestelle ist.