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    • 39. 发明公开
    • 플렉서블 소자 패키징 방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 소자
    • 柔性包装方法及其制造方法
    • KR1020180022218A
    • 2018-03-06
    • KR1020160107259
    • 2016-08-23
    • 한국과학기술원한국기계연구원
    • 이건재김재현장봉균홍성민김도현
    • H01L23/538H01L23/00H01L21/762
    • H01L23/5387H01L21/7624H01L23/481H01L23/4985H01L24/27H01L24/28H01L24/81
    • 본발명에따른플렉서블소자패키징방법은소자기판(100)을준비하는단계; 상기소자기판(100) 상에 LSI 소자(300)를제조하는단계; 임시기판(500)을상기소자기판(100)의 LSI 소자(300)를덮도록접착제(400)로고정하는단계; 물리화학적방법을통해상기소자기판(100)의하면을식각함으로써상기소자기판(100)의두께를줄이는단계; 상기소자기판(100)의후면을통해컨택홀을형성하고상기컨택홀을통해관통전극(600)을형성하는단계; 상기소자기판(100)의하면상에이방성전도성필름(700)을배치하고, 상기이방성전도성필름(700)의하부에컨택전극(900)이형성된플렉서블회로기판(800)을배치하는단계; 상기임시기판(500)의상부및 상기플렉서블회로기판(800)의하부를통해초음파, 열, 압력등을인가하여상기소자기판(100)의 LSI 소자(300)와상기플렉서블회로기판(800)을접합하는단계;를포함하는것을특징으로한다.
    • 根据本发明的柔性器件封装方法包括:准备元件衬底(100); 在器件衬底(100)上制造LSI器件(300); 指定临时衬底(500)作为粘合剂(400)以覆盖元件衬底(100)的LSI元件(300)的步骤; 通过物理化学方法蚀刻元件基板(100)来减小元件基板(100)的厚度; 通过器件基板100的后表面形成接触孔并且通过接触孔形成穿透电极600; 在元件基板100上配置各向异性导电膜700,在各向异性导电膜700的下部设置具有接触电极900的柔性电路基板800, 元件基板100的LSI装置300和柔性电路基板800通过在临时基板500的上部和柔性基板800的下部施加超声波,加热,加压等来接合, 该方法包括以下步骤: