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    • 35. 发明专利
    • ワイヤ放電加工装置および半導体ウエハ製造方法
    • 电气放电加工设备和半导体制造方法
    • JP2015217438A
    • 2015-12-07
    • JP2014099953
    • 2014-05-13
    • 三菱電機株式会社
    • 三宅 英孝糸数 篤橋本 隆
    • B23H7/10B23H9/00B23H7/02
    • 【課題】ワイヤ走行速度が変化する状況であっても、ワイヤの断線を抑止すること。 【解決手段】ワイヤ放電加工装置16は、回転可能な2つのボビン1,4と、ボビン1,4の回転を制御するボビン駆動制御装置11と、ボビン1,4間で、切断ワイヤ部2aを形成して往復走行する一本のワイヤ電極2と、ワイヤ電極2に給電する給電子7A,7Bと、ワイヤ電極2と被加工物8との間で発生する放電加工電圧を制御する放電波形発振制御装置62と、被加工物8をワイヤ電極2に対して相対的に変化させる切断送り用ステージ13と、切断送り用ステージ13を制御する切断ステージ駆動制御装置14と、ボビン駆動制御装置11、放電波形発振制御装置62および切断ステージ駆動制御装置14を統括し、ボビン駆動制御装置11から入力されるワイヤ電極2の走行速度情報に基づき、放電加工電圧およびワイヤ電極2と被加工物8の間隔を制御する加工制御装置12とを備える。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:即使当线速度改变时也抑制线的断开。解决方案:线放电加工装置16包括:两个可旋转的筒管1,4; 线轴驱动控制装置11,其控制线轴1,4的旋转; 一条线电极2,其形成切割线部分2a并且在线轴1,4之间进行往复运动; 向线电极2供电的供电电源7A,7B; 放电波形振荡控制装置62,其控制在线电极2和被加工物体8之间产生的放电加工电压; 用于进给相对于线电极2相对地改变被加工物体8的切割的台13; 切割台驱动控制装置14,其控制用于进给切割的台13; 以及加工控制装置12,其对筒管驱动控制装置11,放电波形振荡控制装置62和切割台驱动控制装置14进行监控,并且控制电加工电压和线电极2与对象8之间的间隔 根据从线轴驱动控制装置11输入的线电极2的运行速度信息进行加工。