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31. 发明专利

JP2019094896A 真空ポンプ审中-公开
公开(公告)号：JP2019094896A
公开(公告)日：2019-06-20
申请号：JP2018216103
申请日：2018-11-19
申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH
发明人： FLORIAN SCHNEIDER , STEFFEN HERRMANN
IPC分类号： F04C25/02 , F04D19/04
摘要：【課題】本発明の課題は、冒頭に記載した形式の真空ポンプの性能を改善し、特に高い圧力において高い吸引性能を特に吸引過程の初期においても実現し、かつ達成可能な低い最終圧力も実現することである。【解決手段】課題は、一つの第一の作動ポンプ部分(42)、少なくとも一つの第二の作動ポンプ部分(44)、および制御装置(40,46)を有する真空ポンプにおいて、制御装置によって、作動ポンプ部分が直列接続と並列接続の間で切り替えられることが可能であることにより解決される。【選択図】図1

32. 发明专利

JP2017082760A 真空ポンプ有权
公开(公告)号：JP2017082760A
公开(公告)日：2017-05-18
申请号：JP2016162586
申请日：2016-08-23
申请人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー , Pfeiffer Vacuum Gmbh
发明人： HOFMANN JAN
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D29/5853 , F04D19/04 , F04D19/042
摘要：【課題】可能な限り少ないコストとエネルギー消費のもとで、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの吸引側のハウジング部分と反対側のハウジング部分の間の可能な限り大きな温度差が保証されるべきである。【解決手段】真空ポンプ10、特にターボ分子ポンプであって、ハウジング16、ステーター及びローター軸を有するローターを有し、このローター軸が、ハウジング16の吸引側の領域に設けられる第一の支承部によって、及びハウジングの反対側の領域に設けられる別の支承部によって支持されており、その際、吸引側のハウジング部分と、別の支承部を含むハウジング部分との間の熱抵抗を高める為に、ハウジング16の吸引側と反対の部分70が、複数の材料空所部66、68を設けられており、これらが、ラビリンス状に、複数の方向変化によって延長された熱流パス72が生じるように、ハウジング16内に設けられていることを特徴とする真空ポンプ。【選択図】図2

33. 发明专利

JP2015017611A 真空ポンプ有权
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：JP2015017611A
公开(公告)日：2015-01-29
申请号：JP2014141915
申请日：2014-07-10
申请人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー , Pfeiffer Vacuum Gmbh
发明人： HOFMANN JAN , MEKOTA MIRKO
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D29/056 , F04D19/04 , F04D19/042 , F04D29/102 , F04D29/646 , Y10T29/49245
摘要：【課題】作動室と支承室の間の有害なガス交換が防止され、かつ同時に少ないコストで製造可能であり、かつ少ない構造空間で実現可能で、かつ少ない性能要求と長い寿命を備える真空ポンプを提供することである。【解決手段】真空ポンプ、特にターボ分子ポンプまたはサイドチャネルポンプであって、作動室12、支承室14、作動室と支承室の間に配置された分離壁16、および分離壁を貫通して延在し、分離壁と共に間隙20を形成する少なくとも一つのローター軸18を有し、並びに、作動室と支承室の間の隔離を行うためのシール装置を有し、その際、シール装置が、ジーグバーンポンプステージ22により形成されており、このジーグバーンポンプステージが、作動室と支承室の間の間隙を貫通して作用するポンプ効果を提供するために形成されていることを特徴とする真空ポンプにより解決される。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种真空泵，其中可以在小的施工空间中实现在工作室和轴承室之间有效的交换气体并且可以以低成本制造的同时，具有小的性能要求和长寿命。解决方案：真空泵，特别是涡轮分子泵或侧通道泵具有工作室12，轴承室14，设置在工作室和轴承之间的分隔壁16 并且至少一个转子轴18延伸穿过分隔壁并与分隔壁形成间隙20。真空泵还具有用于分隔工作室和轴承室的密封装置，这里，密封装置由Siegbahn泵级22形成，该Siegbahn泵级22构造成用于提供作用在工作室和工作室之间的间隙的泵作用轴承室。

34. 发明专利

JP2014219004A ガス状又は液状の操作媒体を案内するための少なくとも１つの通路を有する装置有权
标题翻译：具有至少一个通道用于导入气体或液体操作介质的装置
公开(公告)号：JP2014219004A
公开(公告)日：2014-11-20
申请号：JP2014094971
申请日：2014-05-02
申请人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー , Pfeiffer Vacuum Gmbh
发明人： HERBERT STAMMLER , SOENKE GILBRICH
IPC分类号： F04B39/00 , F16J15/06 , F16J15/54
CPC分类号： F16J15/021 , F04D19/042 , F04D29/083 , F04D29/403 , F04D29/522 , F04D29/624 , F04D29/644
摘要：【課題】低減させた費用で提供することができる、ガス状又は液状の操作媒体を案内するための少なくとも1つの通路を有する装置と、低減させた費用で実施することが出来る、ガス状又は液状の操作媒体を案内するための方法を提供する。【解決手段】本発明は、通路が、一方の側を、通路の経過に従う細長い少なくとも1つのシール手段によって流体密に閉鎖されている、特に真空ポンプ内でガス状又は液状の操作媒体を案内するための少なくとも1つの通路を有する装置に関する。本発明は、更に、ガス状又は液状の操作媒体を案内するための少なくとも1つの通路を有する装置を製造するための方法に関する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种具有用于导入气态或液态操作介质的至少一个通道的装置，以及用于导致气态或液态操作介质的方法，同时降低成本。解决方案：一种装置具有至少一个通道，用于进行气态或液体操作介质，特别是在真空泵中，其中通道在一侧以流体密封的方式通过至少一个沿着通道的程度的细长密封装置封闭。还提供了一种制造具有用于导入气态或液态操作介质的至少一个通道的装置的方法。

35. 发明专利

JP2014214745A ホルベックポンプ段用のステータ要素、ホルベックポンプ段を有する真空ポンプ、及び、ホルベックポンプ段用のステータ要素を製造するための方法有权
标题翻译： HOLWECK泵阶段的定子元件，带有霍夫泵的真空泵和用于制造霍尔沃克泵阶段的定子元件的方法
公开(公告)号：JP2014214745A
公开(公告)日：2014-11-17
申请号：JP2014086153
申请日：2014-04-18
申请人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー , Pfeiffer Vacuum Gmbh
发明人： HOFMANN JAN , MEKOTA MIRKO
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D29/522 , F04D19/044 , F04D29/644 , Y10T29/49323
摘要：【課題】基本的に筒状の原形を成すホルベックポンプ段用のステータ要素、又は基本的に筒状の原形を成すホルベックポンプ段用のステータ要素のための組立品に関する。さらに、ホルベックポンプ段を有する真空ポンプ並びにホルベックポンプ段用のステータ要素を製造するための方法及びホルベックポンプ段用のステータ要素のための組立品を製造するための方法に関する。【解決手段】ステータ要素又は前記組立品が、互いに分離された複数のステータ部品12,12′,12″を有し、これらのステータ部品12,12′,12″が、前記ステータ要素に組み立てられている、又は前記ステータ要素に組み立て可能であることによって解決される。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：为了提供基本上形成圆柱形原始形状的Holweck泵级的定子元件或用于Holweck泵级的定子元件的组装产品，基本上形成圆柱形原始形状，并且还提供具有Holweck泵级的真空泵，用于制造用于Holweck泵级的定子元件的方法和用于制造用于Holweck泵级的定子元件的组装产品的方法。解决方案：通过以下布置来解决问题：其中定子元件或组装产品具有多个彼此分离的定子部件12,12'，12“和定子部件12,12'，12”组装在定子元件中或者可以组装在定子元件中。

36. 发明专利

JP2014146795A Method for coating and/or application onto magnetic rings of rotor magnetic bearing, rotor magnetic bearing, and vacuum pump 有权
标题翻译：用于涂覆和/或应用于转子磁性轴承，转子磁性轴承和真空泵的磁环的方法
公开(公告)号：JP2014146795A
公开(公告)日：2014-08-14
申请号：JP2014008273
申请日：2014-01-21
申请人： Pfeiffer Vacuum Gmbh , プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
发明人： MARCO ANTONACCI , HERBERT STAMMLER
IPC分类号： H01F41/02 , F04D19/04 , F16C32/04 , H01F7/02
CPC分类号： F04D19/048 , B05D1/002 , B05D1/02 , B05D3/0493 , F01D5/06 , F16C32/0425 , F16C32/0468 , F16C2360/45 , H02K1/22
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of coating and/or application onto magnetic rings of a rotor magnetic bearing without influencing rotation balance in a rotor used for a vacuum pump.SOLUTION: In the rotor used for the vacuum pump, magnetic rings 4 of magnetic bearing of a rotor 1 is disposed at a location 3 provided for the magnetic rings 4, and exposed surfaces of the magnetic rings 4 are subjected to coating and/or application.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种涂覆和/或施加到转子磁性轴承的磁环上的方法，而不影响用于真空泵的转子中的旋转平衡。解决方案：在用于真空泵的转子中，磁环4 转子1的磁性轴承设置在为磁环4设置的位置3处，并且磁环4的暴露表面经受涂覆和/或施加。

37. 发明专利

JP2014111939A Vacuum pump 审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：JP2014111939A
公开(公告)日：2014-06-19
申请号：JP2013250093
申请日：2013-12-03
申请人： Pfeiffer Vacuum Gmbh , プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
发明人： KOCI BERND
IPC分类号： F04D19/04 , B22F1/00 , C01B31/02 , C22C1/05 , C22C1/10 , F04D29/02
CPC分类号： F04D17/168 , F04D19/042 , F04D29/023 , F04D29/321 , F05C2201/903 , F05D2300/121 , F05D2300/224 , F05D2300/6032 , F05D2300/61
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum pump that has a long operating life while being able to be reliably operated at high gas load and conveyance speed, and can be manufactured at low cost.SOLUTION: At least one component 30 of a vacuum pump is made of a material including metal and nanoparticles, and one stator and at least one rotor mechanism 30 are provided. The rotor mechanism 30 is rotatably supported with respect to the stator. In addition, the metal includes an alloy such as aluminum, especially a certain type of aluminum alloy.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够在高气体负载和输送速度下可靠地工作的使用寿命长的真空泵，并且可以以低成本制造。解决方案：至少一个真空泵的一个部件30 由包括金属和纳米颗粒的材料制成，并且提供一个定子和至少一个转子机构30。转子机构30相对于定子可旋转地支撑。此外，金属包括铝等合金，特别是某种类型的铝合金。

38. 发明专利

JP2013213498A Pump system for vacuuming gas from multiple chambers and method for controlling pump system 有权
标题翻译：用于从多个燃烧室吸入气体的泵系统和用于控制泵系统的方法
公开(公告)号：JP2013213498A
公开(公告)日：2013-10-17
申请号：JP2013066397
申请日：2013-03-27
申请人： Pfeiffer Vacuum Gmbh , プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
发明人： BURGGRAF THORSTEN , HOFMANN JAN , STOLL TOBIAS
IPC分类号： F04D19/04 , F04B37/16
CPC分类号： F04B23/08 , F04D19/042 , F04D19/046 , F04D25/16 , F04D27/009 , F04D27/0253 , F04D27/0269
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To optimally use a maximally large number of pumps from an economical viewpoint and a technical viewpoint, and to maximally similarly distribute a generating gas load to a plurality of maximally simple and resembled or similar pumps so as not to have reaction to a process.SOLUTION: A pump system is provided for discharging gas from a plurality of chambers 1 and 2 having at least three vacuum pumps. When at least two pre-pumps 5 and 6 and at least one turbo molecular pump 3 are provided, at least one cross-section reducing part 9 for adjusting and/or reducing a gas flow, is arranged in at least one connecting pipe 8 between at least the two pre-pumps 5 and 6.
摘要翻译：要解决的问题：为了从经济的角度和技术角度最佳地使用最大量的泵，并且最大程度地将发电气体负载分配到多个最简单和相似或相似的泵，以便不会对一种方法。解决方案：提供一种用于从具有至少三个真空泵的多个室1和2排出气体的泵系统。当提供至少两个预泵5和6以及至少一个涡轮分子泵3时，至少一个用于调节和/或减少气流的横截面减小部分9布置在至少一个连接管8之间至少两台预泵5和6。

39. 发明专利

JP2013113300A High-speed rotating rotor for vacuum pump 有权
标题翻译：用于真空泵的高速旋转转子
公开(公告)号：JP2013113300A
公开(公告)日：2013-06-10
申请号：JP2012256006
申请日：2012-11-22
申请人： Pfeiffer Vacuum Gmbh , プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
发明人： MAEDLER MATTHIAS
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/044 , F04D29/023 , F05D2300/17 , F05D2300/603
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high-speed rotating rotor for a vacuum pump having improved vacuum technical performance.SOLUTION: The high-speed rotating rotor 10 for a vacuum pump 2 includes a first sleeve 16 and support structures (14; 60). In order to enhance the vacuum technical performance, a second sleeve 18 is arranged on an inner side of the first sleeve 16, and the first and second sleeves form a composite material.

40. 发明专利

JP2012233477A Vacuum pump having rotor 有权
标题翻译：真空泵具有转子
公开(公告)号：JP2012233477A
公开(公告)日：2012-11-29
申请号：JP2012099727
申请日：2012-04-25
申请人： Pfeiffer Vacuum Gmbh , プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
发明人： BERNHARDT HELMUT , LOBACH WOLFGANG , STAMMLER HERBERT , STROH ANJA , TATZBER BERNHARD
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/048
CPC分类号： F04D29/662 , F04D19/042 , F04D29/058 , F04D29/059
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum pump capable of cost-advantageously correcting an unbalance change.SOLUTION: This vacuum pump includes a rotor 20 including a balance means, driving devices 38 and 40 for rotating the rotor, bearings 44 and 50 for supporting the rotor, and a sensor means for measuring a balance state of the rotor and detecting a change in a balance state by cooperating with an adapted evaluation unit 134, and includes an allocating means for allocating the balance state to a rotor position so that the balance means can be adjusted for coping with a change in the balance state of cooperating with a rotor position detecting unit 132 for determining the rotor position.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够成本有利地校正不平衡变化的真空泵。解决方案：该真空泵包括转子20，转子20包括平衡装置，用于转动转子的驱动装置38和40，用于支撑转子的轴承44和50;以及用于测量转子的平衡状态和检测的传感器装置通过与适应的评估单元134协作来改变平衡状态，并且包括分配装置，用于将平衡状态分配到转子位置，使得可以调整平衡装置以应对与a的配合的平衡状态的变化用于确定转子位置的转子位置检测单元132。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

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