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    • 22. 发明授权
    • 소프트 몰드 및 이의 제조방법
    • 软模具及其制造方法
    • KR101174771B1
    • 2012-08-17
    • KR1020050055192
    • 2005-06-24
    • 엘지디스플레이 주식회사
    • 이창희채기성조규철김진욱
    • G02F1/1335
    • B29C33/38B29C33/3857B29C33/40
    • 본발명은소프트몰드의내구성을향상시키고몰드변형을막아서대량생산에적용하기에알맞은소프트몰드및 이의제조방법을제공하기위한것으로, 이와같은목적을달성하기위한본 발명에따른소프트몰드의제조방법은기판상에임의의패턴이형성된마스터몰드를형성하는단계; 상기마스터몰드전면에상부면이평탄한제 1 액상고분자전구체를형성하는단계; 상기제 1 액상고분자전구체를일부경화시키는단계; 상기제 1 액상고분자전구체의가장자리를노출시키도록, 상기제 1 액상고분자전구체의상부에 UV 투과율이 95%이상인지지필름을밀착시키는단계; 상기지지필름의상부면및 측면과노출된상기제 1 액상고분자전구체의가장자리에커플링에이전트(coupling agent) 처리를하는단계; 상기지지필름의상부면및 측면과노출된상기제 1 액상고분자전구체의가장자리를덮도록제 2 액상고분자전구체를형성하는단계; 상기제 2 액상고분자전구체와상기제 1 액상고분자전구체를완전경화시켜서몰드를형성시키는단계; 및상기지지필름이삽입된상기몰드를상기마스터몰드로부터떼어내어, 상기지지필름이삽입되어있고, 일표면에소정의형상이양각(陽刻) 또는음각(陰刻)된소프트몰드(soft mold)를형성하는단계를포함한다.
    • 23. 发明授权
    • 액정표시소자의 제조방법
    • 用于制造液晶显示器的方法
    • KR101157966B1
    • 2012-06-25
    • KR1020050133533
    • 2005-12-29
    • 엘지디스플레이 주식회사
    • 이창희채기성조규철김진욱
    • G02F1/136
    • B29C59/026B29C43/021B29L2011/0016G02F1/13394
    • 본 발명은 포토리쏘그래피 공정 대신 소프트 몰드를 이용한 패터닝 공정에 의해 박막 패턴을 형성함으로써 평판표시소자의 제조공정을 단순화시킬 수 있는 액정표시소자의 제조방법을 제공하는 것이다.
      본 발명의 액정표시소자의 제조방법은 기판 상에 셀영역을 구획하는 블랙 매트릭스를 형성하는 단계와; 상기 블랙 매트릭스에 의해 구획된 셀영역에 컬러필터를 형성하는 단계와; 상기 컬러필터 상에 유기물을 도포하는 단계와; 기준면과, 상기 기준면으로부터 함입된 홈, 상기 기준면으로부터 돌출된 돌출부를 구비하는 소프트 몰드를 이용하여 상기 유기물을 가압 성형하여, 상기 기준면과 대응되는 평탄화층 및 상기 돌출부에 대응하는 평판화층의 홀을 형성하는 것과 동시에, 상기 홈에 대응하여 상기 평탄화층으로부터 돌출된 스페이서를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 평탄화층의 두께를 결정하는 상기 소프트 몰드의 돌출부에 대응하여, 상기 평탄화층의 두께를 결정하는 높이를 갖는 상기 평탄화층의 홀을, 상기 블랙 매트릭스와 중첩하게 형성하는 것을 특징으로 한다.
    • 26. 发明授权
    • TFT 어레이 기판의 제조방법
    • 制造薄膜晶体管阵列基板的方法
    • KR101030532B1
    • 2011-04-21
    • KR1020040034234
    • 2004-05-14
    • 엘지디스플레이 주식회사
    • 채기성조규철김진욱
    • G02F1/136
    • 본 발명은 디태치먼트 방법(Detachment Method) 및 플로잉 방법(Flowing Method)과 같은 비노광 과정과 1회의 노광공정만으로 TFT 어레이 기판을 완성함으로써 노광 장비에 의한 단가상승과 공정의 어려움을 방지하고자 하는 TFT 어레이 기판의 제조방법에 관한 것으로서,
      기판 상에 디태치먼트 방법에 의해서 게이트 배선 및 게이트 전극을 형성하는 제 1 단계와, 상기 게이트 배선을 포함한 전면에 게이트 절연막을 형성하는 제 2 단계와, 상기 게이트 절연막을 포함한 전면에 액티브층 및 금속층을 적층하는 제 3 단계와, 상기 액티브층 및 금속층을 식각하여 상기 게이트 배선에 수직하는 데이터 배선 및 상기 데이터 배선에서 분기되는 소소/드레인 전극을 형성하는 제 4 단계와, 상기 데이터 배선을 포함한 전면에 플로잉 방법에 의해 콘택홀을 가지는 보호막을 형성하는 제 5 단계와 그리고, 상기 보호막 상부에 상기 콘택홀을 통해 드레인 전극과 접속하는 화소전극을 형성하는 제 6 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
      저마스크, 디태치먼트 방법, 플로잉 방법, 비노광 공정
    • 27. 发明授权
    • 액정표시장치용 어레이기판과 제조방법
    • 液晶显示装置用阵列基板及其制造方法
    • KR100971950B1
    • 2010-07-23
    • KR1020030043946
    • 2003-06-30
    • 엘지디스플레이 주식회사
    • 조원호조규철이규태강진규정병화김진영
    • G02F1/136
    • G02F1/136286G02F2001/13629G02F2001/136295
    • 본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로 특히, 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법에 관한 것이다.
      본 발명은 5 마스크 공정과 4 마스크공정을 통해 제작된, 액정표시장치용 어레이기판의 구성 및 제조방법에 관한 것이다.
      본 발명의 특징적인 부분은, 액정표시장치용 어레이기판에 구성되는 배선(게이트 배선, 데이터 배선)과 박막트랜지스터(게이트전극, 액티브층, 소스 전극, 드레인 전극)의 구성에 있어서, 게이트 배선과 게이트 전극은 배리어층/알루미늄(알루미늄합금)의 이중 금속층으로 구성하고, 데이터 배선과 소스 및 드레인 전극은 구리/배리어층의 이중 금속층으로 구성한다.
      전술한 구성에서, 상기 알루미늄(알루미늄 합금층)의 상부 또는 하부의 배리어층으로 몰리브덴(Mo),몰리합금층,크롬(Cr),티타늄(Ti),탄탈륨(Ta),질화탄탈륨(TaN),질화티타늄(TiN),니켈(Ni),텅스텐(W),인듐(In),주석(Sn),금(Au)을 포함하는 도전성 금속그룹 중 선택된 하나로 형성하고, 상기 구리층의 하부에 구성한 배리어층은 금속그룹 중 선택된 하나로 형성한다.
    • 液晶显示器用阵列基板及其制造方法技术领域本发明涉及液晶显示器,尤其涉及液晶显示器用阵列基板及其制造方法。
    • 28. 发明授权
    • 액정표시장치용 어레이기판과 제조방법
    • 液晶显示器及其制造方法
    • KR100938885B1
    • 2010-01-27
    • KR1020030043962
    • 2003-06-30
    • 엘지디스플레이 주식회사
    • 조원호조규철이규태강진규정병화김진영
    • G02F1/136
    • G02F1/1368G02F1/136286
    • 본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로 특히, 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법에 관한 것이다.
      본 발명의 특징은 어레이기판에 첫 번째로 구성되는 층인 게이트 배선과 게이트 전극은 구리층과 몰리합금(Mo-alloy)층의 이중층으로 구성하고, 상기 게이트 배선 및 게이트 전극의 상부에 구성되는 데이터 배선과 소스 및 드레인 전극은 몰리합금(Mo-alloy)층과 구리(Cu)층 순서로 적층한 이중층으로 구성하는 것이다.
      이와 같은 적층 구조는 200℃ 이상의 열을 가하게 되면, 상기 몰리 합금층으로부터 상기 구리층의 표면으로 몰리브덴(Mo)과 합금된 금속이 확산되는 현상이 발생하게 된다.
      상기 구리층 주변의 확산층은 절연막과의 접촉특성이 양호하여 구리의 밀착특성을 개선하고, 상기 몰리합금(Mo-alloy)층은 구리층과 반도체층 사이에 버퍼층으로 작용하여 구리(Cu)와 실리콘(Si)성분이 반응하는 것을 방지하는 역할을 하게된다.
      따라서, 저 저항인 구리를 배선재료로 사용하는 것이 가능하도록 하여, 대면적 액정패널을 제작할 수 있는 장점이 있다.
    • 30. 发明公开
    • 미세 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 미세 패턴 형성방법
    • 用于制作细节图案的细节图案的装置
    • KR1020070002917A
    • 2007-01-05
    • KR1020050058619
    • 2005-06-30
    • 엘지디스플레이 주식회사
    • 조규철채기성김진욱이창희
    • H01L21/027
    • G03F7/0002B82Y10/00B82Y40/00G03F7/70716H01L21/6831
    • A fine pattern forming apparatus and a fine pattern forming method using the same are provided to simplify forming processes and to reduce fabrication costs by performing sequentially predetermined processes using one chamber alone. A fine pattern forming apparatus includes a first stage, a second stage, an upper holder, a Z axis driving unit, an aligner, and an UV(UltraViolet) lamp. The first stage(22) is used as an electrostatic chuck capable of loading a soft mold, wherein the soft mold is attached to a back plane of a chamber. The second stage(24) is used for loading a substrate. The upper holder(25) is used for fixing the first stage. The Z axis driving unit(26) is used for driving the second stage in a Z axis direction. The aligner is arranged on an upper surface of the chamber. The UV lamp(31) is installed at one side of the chamber.
    • 提供了精细图案形成装置和使用其的精细图案形成方法,以简化成形工艺并且通过仅使用一个腔室依次进行预定的处理来降低制造成本。 精细图案形成装置包括第一阶段,第二阶段,上部支架,Z轴驱动单元,对准器和UV(UltraViolet)灯。 第一阶段(22)被用作能够加载软模具的静电卡盘,其中软模具附接到腔室的背面。 第二阶段(24)用于装载基板。 上保持器(25)用于固定第一级。 Z轴驱动单元(26)用于沿Z轴方向驱动第二级。 对准器布置在腔室的上表面上。 UV灯(31)安装在腔室的一侧。