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    • 23. 发明公开
    • 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 제조 방법
    • 制造用于液晶显示的薄膜晶体管基板的方法
    • KR1020060133711A
    • 2006-12-27
    • KR1020050053487
    • 2005-06-21
    • 삼성전자주식회사
    • 유춘기박경민
    • G02F1/136
    • H01L27/1259G02F1/1368H01L27/1222
    • A method for manufacturing a thin film transistor substrate for an LCD is provided to reduce the contact resistance between connected upper and lower metal layers, by forming a contact hole for exposing a lower metal layer, performing thermal treatment, forming an upper metal layer, and forming a passivation layer at a high temperature. An active layer(110) is formed on a substrate(100). A gate insulating layer(122) is formed to cover the active layer. A gate pattern having a gate electrode(120) and a gate line(151) is formed on the gate insulating layer. An interlayer insulating film(160) is formed on the gate pattern. A source contact hole(181), a drain contact hole(191), and a lower gate contact hole(152) are respectively formed in the interlayer insulating film and the gate insulting layer. A thermal treatment is performed on the resultant substrate using a furnace. A data line having a source electrode, a drain electrode, and a lower gate pad are respectively formed on the interlayer insulating film. A passivation layer is formed under an atmosphere having a temperature, at which metal atoms are diffusible in the lower gate pad.
    • 提供一种用于制造LCD的薄膜晶体管基板的方法,通过形成用于暴露下金属层的接触孔,进行热处理,形成上金属层,以及 在高温下形成钝化层。 在基板(100)上形成有源层(110)。 形成栅极绝缘层(122)以覆盖有源层。 在栅极绝缘层上形成具有栅电极(120)和栅极线(151)的栅极图案。 在栅极图案上形成层间绝缘膜(160)。 在层间绝缘膜和栅极绝缘层中分别形成源极接触孔(181),漏极接触孔(191)和下部栅极接触孔(152)。 使用炉对所得基板进行热处理。 分别在层间绝缘膜上形成具有源电极,漏电极和下栅极焊盘的数据线。 在具有下部栅极焊盘中的金属原子可扩散的温度的气氛下形成钝化层。
    • 28. 发明公开
    • 박막 트랜지스터 표시판
    • 薄膜晶体管显示面板
    • KR1020060021560A
    • 2006-03-08
    • KR1020040070341
    • 2004-09-03
    • 삼성전자주식회사
    • 정진구박경민유춘기
    • G02F1/1345
    • H01L27/12G02F1/13454G02F2001/13629G02F2201/50H01L27/124
    • 본 발명의 박막 트랜지스터 표시판에는, 게이트선과 데이터선이 제1 층간 절연막을 사이에 두고 서로 교차하고 있으며, 게이트선 중 하나와 데이터선 중 하나에 각각 연결되어 있는 스위칭 소자와 화소 전극이 각각의 화소 영역에 형성되어 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있다. 화소 전극 하부에 위치하여 게이트선, 데이터선 및 스위칭 소자를 덮는 제2 절연막에는 데이터선의 끝 부분을 드러내는 접촉구가 형성되어 있고, 화소 전극과 동일한 층에는 접촉구를 통하여 데이터선의 끝 부분과 연결되어 있는 접촉 보조 부재가 형성되어 있다. 이때, 게이트선과 동일한 층에는 게이트선과 동일한 층으로 이루어져 있으며, 제1 층간 절연막의 접촉구를 통하여 데이터선과 연결되어 있는 보조 신호선이 형성되어 있는데, 보조 신호선을 연결하는 접촉구는 제2 절연막에 의해 완전히 덮여 있다.
      접촉불량, 부식, 알루미늄, 테이퍼, 유기절연막
    • 在本发明的TFT阵列面板中,栅极线和数据线是所述第一已放置跨越层间绝缘膜之间相互被连接到所述一个和所述数据线的像素区的开关元件和像素电极的一条栅极线的每个在 并连接到栅极线和数据线。 位于像素电极下栅极线,在接触孔暴露数据线端部形成覆盖所述数据线和所述开关元件的第二绝缘膜,在那里通过所述接触孔连接至所述数据线的端部相同的层与像素电极 形成接触辅助部件。 在这种情况下,相同的层与栅极线,并取得相同的层线和栅极的,第一有辅助信号线形成,它们通过层间绝缘膜的接触孔连接数据线,它完全通过第二绝缘球接触连接辅助信号线覆盖 有。
    • 29. 发明公开
    • 박막 트랜지스터 표시판 및 그의 제조 방법
    • KR1020050060437A
    • 2005-06-22
    • KR1020030092060
    • 2003-12-16
    • 삼성전자주식회사
    • 박경민
    • H01L29/786
    • 본 발명에 따른 박막 트랜지스터의 제조 방법은 절연 기판 위에 다결정 규소막을 형성하는 단계, 다결정 규소막 위에 절연막을 형성하는 단계, 절연막 및 다결정 규소막을 동일한 마스크로 패터닝하여 게이트 절연층과 반도체층을 형성하는 단계, 게이트 절연층과 일부분이 중첩하는 게이트선을 형성하는 단계, 반도체층의 소정 영역에 도전형 불순물을 고농도로 도핑하여 소스 영역, 드레인 영역을 형성하는 단계, 게이트선 및 반도체층을 덮도록 제1 층간 절연막을 형성하는 단계, 제1 층간 절연막 위에 소스 영역과 연결되는 소스 전극을 가지는 데이터선 및 드레인 영역과 연결되는 드레인 전극을 형성하는 단계, 데이터선 및 드레인 전극 위에 제2 층간 절연막을 형성하는 단계, 제2 층간 절연막 위에 드레인 전극과 연결되는 화소 전극을 형성하는 단� �를 포함한다.