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21. 发明专利

TW201810436A 主動元件陣列基板审中-公开
简体标题：主动组件数组基板
公开(公告)号：TW201810436A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW105116326
申请日：2016-05-25
申请人：友達光電股份有限公司 , AU OPTRONICS CORPORATION
发明人：陳銘耀 , CHEN, MING YAO , 陳培銘 , CHEN, PEI MING
IPC分类号： H01L21/335 , H01L29/772 , G02F1/1368 , H01L21/76
摘要：一種主動元件陣列基板包含基板、第一主動層、閘極介電層、圖案化導電層、層間介電層、第二主動層、至少一導電柱以及至少一蝕刻阻擋層。第一主動層設置於基板之非顯示區。閘極介電層至少設置於第一主動層上。圖案化導電層包含設置於第一主動層上之第一閘極電極以及位於顯示區之第二閘極電極。層間介電層覆蓋第一主動層、閘極介電層與圖案化導電層且包含連接第一主動層之至少一開口。第二主動層設置於層間介電層之上且位於第二閘極電極上方。導電柱設置於開口內。蝕刻阻擋層至少設置於開口的底部，其中蝕刻阻擋層與第二主動層的材料相同。
简体摘要：一种主动组件数组基板包含基板、第一主动层、闸极介电层、图案化导电层、层间介电层、第二主动层、至少一导电柱以及至少一蚀刻阻挡层。第一主动层设置于基板之非显示区。闸极介电层至少设置于第一主动层上。图案化导电层包含设置于第一主动层上之第一闸极电极以及位于显示区之第二闸极电极。层间介电层覆盖第一主动层、闸极介电层与图案化导电层且包含连接第一主动层之至少一开口。第二主动层设置于层间介电层之上且位于第二闸极电极上方。导电柱设置于开口内。蚀刻阻挡层至少设置于开口的底部，其中蚀刻阻挡层与第二主动层的材料相同。

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