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    • 27. 发明专利
    • ダイヤモンド半導体装置及びその製造方法
    • 金刚石半导体器件及其制造方法
    • JP2016103651A
    • 2016-06-02
    • JP2015253889
    • 2015-12-25
    • 国立研究開発法人産業技術総合研究所国立大学法人東京工業大学
    • 加藤 宙光牧野 俊晴小倉 政彦竹内 大輔山崎 聡波多野 睦子岩崎 孝之
    • H01L21/338H01L29/808H01L29/812H01L27/098H01L29/12H01L29/78H01L21/336H01L21/337
    • 【課題】デバイス設計の自由度を大幅に高めるとともに、効率的に製造可能なダイヤモンド半導体装置及びその製造方法を提供する。 【解決手段】ダイヤモンド基板1と、ダイヤモンド基板1の{001}の結晶面を有する基板面上に略垂直に隆起して配されるダイヤモンド段差部と、n型のリンドープダイヤモンド領域5a、5bと、ダイヤモンド絶縁領域6a、6bと、を有す。ダイヤモンド段差部は、側面が{110}の結晶面を有する第1段差部3と、側面が{100}の結晶面を有する第2段差部4a、4bとが一体に形成され、リンドープダイヤモンド領域5a,5bは、第1段差部3の段差形状の底角を起点に第1段差部3の側面及びダイヤモンド基板1の基板面を成長基面として結晶成長させて形成され、ダイヤモンド絶縁領域6a、6bは、第2段差部4a、4bの側面及びダイヤモンド基板1の基板面を成長基面として結晶成長させて形成される。 【選択図】図3
    • 要解决的问题:提供能够显着提高器件设计自由度和有效制造的金刚石半导体器件,并提供其制造方法。解决方案:一种金刚石半导体器件,包括:金刚石衬底1 ; 在金刚石基板1的具有{001}晶面的基板表面上基本上垂直地突出并布置的金刚石阶梯部分; n型磷掺杂金刚石区域5a和5b; 和金刚石绝缘区域6a和6b。 在金刚石阶梯部分中,其一侧具有{110}晶面的第一台阶部分3和其侧面具有{100}晶面的第二台阶部分4a和4b一体形成。 掺杂荧光体的金刚石区域5a和5b通过使用第一台阶部分3的阶梯状底角作为起始点并使用第一台阶部分3的侧面和钻石的基板表面进行晶体生长而形成 底物1作为生长基底表面。 金刚石绝缘区域6a和6b通过使用第二台阶部分4a和4b的侧面和金刚石基板1的基板表面作为生长基底表面进行晶体生长而形成。图3