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21. 发明授权

KR100862636B1 광학식 검사 방법 有权
标题翻译：光学视觉检查方法
公开(公告)号：KR100862636B1
公开(公告)日：2008-10-09
申请号：KR1020060048881
申请日：2006-05-30
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 임쌍근 , 이상윤 , 강민구 , 장석준
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/898
摘要： 본 발명은 반사에 의해 조명 포화가 발생하는 검사면에 대하여 격자 영상이 잘 나타나는 영상을 획득하여 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있도록 하는 광학식 검사 방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 광학식 검사 방법은, 검사 대상의 외관 영상을 촬영하고 촬영 영상을 분석하여 검사 대상의 결함 유무를 판단하는 검사 방법에 있어서, 다수의 백색광에 서로 다른 밴드 패스 필터를 각각 장착하고 각 백색광의 밝기 조절을 통해 검사 대상의 포화 영역을 줄여 격자 영상이 잘 나타나는 파장대가 되도록 검사면에 조명광을 조사하고(S10), 상기 검사면 표면을 촬영하여 컬러 영상을 획득하고(S20), 상기 획득된 컬러 영상을 다수의 파장으로 각각 분류하여 각각의 위상을 계산하고(S30), 상기 계산된 각각의 위상을 합쳐서 단일 위상으로 계산하고 계산된 단일 위상을 분석하여 결함 유무를 판단(S40)한다.
또, 이를 위한 본 발명의 광학식 검사 방법은, 검사 대상의 외관 영상을 촬영하고 촬영 영상을 분석하여 검사 대상의 결함 유무를 판단하는 검사 방법에 있어서, 검사면에 백색광을 조사하고(S100), 컬러 카메라의 다수의 파장대의 이득을 조절을 통해 상기 검사면의 포화 영역을 줄여 상기 검사면의 표면을 촬영하여 컬러 영상을 획득하고(S200), 상기 획득된 컬러 영상을 다수의 파장대로 각각 분류하여 각각의 위상을 계산하고(S300), 상기 계산된 각각의 위상을 합쳐서 단일 위상으로 계산하고 계산된 단일 위상을 분석하여 결함 유무를 판단(S400)한다.
특정 파장대, 파장대, 정반사면, 조명 포화, 위상

22. 发明授权

KR100752758B1 영상 측정 장치 및 그 방법 有权
公开(公告)号：KR100752758B1
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：KR1020050098851
申请日：2005-10-19
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 이상윤 , 최이배 , 강민구 , 임쌍근
IPC分类号： H01L27/146
CPC分类号： G01B11/25 , G01B11/0608 , H01L27/148 , H04N13/207 , H04N13/254
摘要： 본 발명은 광학계로부터 촬상된 영상을 고속으로 획득할 수 있는 영상 측정 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
이를 위하여, 본 발명은 광학계를 통해 촬상된 영상을 이용하여 측정 대상의 3차원 형상을 측정하는 장치에 있어서, 광학계를 통해 촬상된 영상을 이용하여 측정 대상의 높이 정보를 측정하는 장치에 있어서, 측정물(P)을 촬상하여 출력하는 CCD 카메라와; 상기 측정물의 촬상 영역을 조명하는 광을 발생시키는 조명부와; 상기 조명 부의 점등을 제어하는 조명 제어부와; 상기 측정물(P)에 투영되는 격자가 형성된 격자와; 상기 투영 격자와 측정물과의 거리를 조절하도록 하는 격자 구동부와; 상기 CCD 카메라를 통해 촬상된 영상을 획득하는 영상 포획부와; 상기 CCD 카메라에서 인에이블 신호가 발생하면 조명 제어부와 투영 격자 구동부 및 영상 획득 부에 구동 신호를 동시에 출력하는 구동 신호 발생부와; 상기 영상 포획부로부터 전송되는 데이터로부터 측정 대상의 3차원 형상을 계산하는 영상 신호 처리부를 포함한다.
영상, 고속, 구동 신호, 격자, 간섭 무늬

23. 发明公开

KR1020070042841A 영상 측정 장치 및 그 방법 有权
标题翻译：用于测量图像的装置和方法
公开(公告)号：KR1020070042841A
公开(公告)日：2007-04-24
申请号：KR1020050098853
申请日：2005-10-19
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 이상윤 , 강민구 , 임쌍근
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B9/04
摘要： 본 발명은 광학계를 통해 촬상되는 영상의 정확도를 향상시킬 수 있는 영상 측정 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
이를 위하여, 본 발명은 광학계를 통해 촬상된 영상을 이용하여 측정 대상의 높이 정보를 측정하는 장치에 있어서, 측정물(P)을 촬상하여 출력하는 CCD 카메라와; 상기 측정물의 촬상 영역을 조명하는 백색광을 발생시키는 조명부와; 상기 조명부의 점등을 제어하는 조명 제어부와; 상기 측정물(P)에 대한 광학계의 미소 높이를 제어하는 미세 구동부와; 상기 CCD 카메라를 통해 촬상된 영상을 획득하는 영상 포획부와; 상기 CCD 카메라에서 인에이블 신호가 발생하면 조명 제어부와 미세 구동부에 구동 신호를 발생하는 구동 신호 발생부와; 상기 영상 포획부로부터 전송되는 데이터로부터 측정 대상의 높이 정보를 계산하는 영상 신호 처리부를 포함한다.
영상, 구동 신호, 백색광, PZT

24. 发明公开

KR1020060127537A 반도체 패키지의 인트레이 검사 장치 및 검사 방법 有权
标题翻译：用于检查半导体器件输入的装置和方法
公开(公告)号：KR1020060127537A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：KR1020050048585
申请日：2005-06-07
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 이상윤 , 최이배 , 강민구 , 임쌍근
IPC分类号： G01R31/26 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/2896 , G01R1/07 , G01R31/302 , H01L22/30
摘要： A method and an apparatus for inspecting an in-tray of a semiconductor package are provided to reduce the inspection time by effectively dividing an image of an object to be tested according to the kind of the object. An apparatus for inspecting an in-tray of a semiconductor package includes a main body(10), a loading unit(21), a buffer(25), a defective tray storage(23), and an unloading unit(24). Trays containing an object to be tested therein are loaded on the loading unit. The buffer temporarily stores buffer trays, which contain the tested semiconductor packages therein. The trays, which contain defective semiconductor packages, are stacked on the defective tray storage. Unloading trays, which contain normal semiconductor packages, are stacked on the unloading unit.
摘要翻译：提供了一种用于检查半导体封装的托盘的方法和装置，以通过根据对象的种类有效地划分被测试对象的图像来减少检查时间。用于检查半导体封装的托盘的装置包括主体（10），装载单元（21），缓冲器（25），缺陷托盘存储器（23）和卸载单元（24）。包含要测试对象的托盘装载在装载单元上。缓冲器临时存储缓冲盘，其中包含测试的半导体封装。含有有缺陷的半导体封装的托盘堆放在有缺陷的托盘存储器上。卸载托盘，其中包含正常的半导体封装，堆放在卸载单元上。

25. 发明授权

KR100617619B1 반도체 소자 검사장치 및 검사방법 有权
标题翻译：半导体器件检查装置和检查方法
公开(公告)号：KR100617619B1
公开(公告)日：2006-09-04
申请号：KR1020040095877
申请日：2004-11-22
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 김일남 , 이현민 , 강민구 , 이상윤 , 임쌍근
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 본 발명은 다양한 방향으로부터 반도체 소자의 영상을 획득하여 반도체 소자의 외관 및 크기를 보다 정확하게 알 수 있는 반도체 소자 검사장치 및 검사방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 소자 검사방법은 복수개의 광원으로부터 반도체 소자의 상면에 경사진 각도로 빛을 조사하여 복수개의 구별 가능한 그림자를 생성하고, 이들 그림자 영상들을 합성하여 반도체 소자의 외곽선을 검출하여 반도체 소자의 크기를 검사하는 것을 특징으로 한다.
반도체, 트레이, 크기, 그림자, 모서리, 외곽선
摘要翻译：本发明获得的半导体器件的半导体器件的检查装置和检查方法的图像可以更精确地看到半导体元件的从各种方向的外观和尺寸。

26. 发明授权

KR101875467B1 3차원 형상 측정 장치 및 측정 방법 有权
公开(公告)号：KR101875467B1
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：KR1020160150507
申请日：2016-11-11
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 이상윤 , 최이배 , 강민구 , 이현민
IPC分类号： G06T7/00 , G01B11/25 , H04N13/20
摘要： 본발명의일 실시예에따른 3차원형상측정장치는측정대상이안착되는측정평면, 측정대상에대해광을조사하는제1광원및 제2광원, 제1광원및 제2광원으로부터조사되어측정대상의표면으로부터반사되는광을통과시키는렌즈및 측정대상의표면으로부터반사되어렌즈를통과한영상을촬상하는이미지획득수단, 이미지획득수단으로부터이미지를획득하고, 이미지프로세싱하여측정대상을검출하는제어부를포함하는 3차원형상측정장치에있어서, 제1광원및 제2광원은순차적으로점등된다.

27. 发明授权

KR101859172B1 아날로그 평균지연 방법에서 수집한 신호로부터 가상의 형광분포 모델을 통해 최소자승오차를 계산하여 2개 이상의 형광수명 성분을 구하는 형광수명 측정장치 및 그 측정방법 有权
标题翻译：从通过该方法收集的信号的模拟平均延迟经由荧光分布荧光寿命的虚拟模型计算最小平方误差，以获得两个或更多个荧光寿命成分测定装置和测定方法
公开(公告)号：KR101859172B1
公开(公告)日：2018-05-16
申请号：KR1020160176735
申请日：2016-12-22
申请人： 연세대학교 산학협력단 , (주) 인텍플러스
发明人： 김덕영 , 황원상 , 김동은 , 강민구
IPC分类号： G01N21/64 , G01J1/44
CPC分类号： G01J1/44 , G01J2001/446 , G01N21/6458 , G01N21/6486
摘要： 본발명의일 실시예에따른형광수명측정장치는조사광을발생시키는조사광발생부, 조사광으로형광분자를포함하는적어도하나이상의시료를조사하여생성되는형광광자의형광신호를수집하는형광광자검출부,수집된형광신호의함수와시뮬레이션함수에대하여최소자승법을이용하여형광수명을계산하는계측부를포함한다.

28. 发明授权

KR101645279B1 두께 및 높이 측정장치 및 이를 이용한 측정방법 有权
标题翻译：厚度和高度测量装置及其测量方法
公开(公告)号：KR101645279B1
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：KR1020150031935
申请日：2015-03-06
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 이상윤 , 강민구 , 이현민
IPC分类号： G01B11/06 , G01B11/25
CPC分类号： G01B11/0608 , G01B11/25
摘要： 본발명은 x축방향으로상호나란하게배치되는제1측벽과제2측벽및 상기제1측벽과제2측벽의양측단부를연결하도록 y축방향으로배치되는제3측벽및 제4측벽을포함하는피검체의두께및 높이를측정하기위한측정장치및 이를이용한측정방법이개시된다. 본발명은두 쌍의조명부와결상부를피검체의상부에배치하는간단한구성만으로피검체의두께및 높이를정확하게측정할수 있으며, 피검체가라운드지게형성되거나, 피검체가직각방향으로배치된경우라도피검체의형상에관계없이한번세팅된장비를이용하여피검체의두께및 높이를측정할수 있는두께및 높이측정장치및 이를이용한측정방법에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量被检查物体的厚度和高度的装置，包括：第一侧壁和第二侧壁，其设置成沿x轴方向彼此对准; 以及设置在y轴方向上的第三侧壁和第四侧壁，以连接第一侧壁和第二侧壁的两侧的端部，以及使用其的测量方法。根据本发明，只要将两对照明部和摄像部配置在被检体的上部的简单结构即可精确地测定被检查体的厚度和高度。此外，即使被检查物体在垂直方向上球形地设置，也可以使用预先设定的方式来测量待检查物体的厚度和高度，而与被检查体的形状无关。

29. 发明公开

KR1020150054517A 디스플레이 패널의 표면 검사방법 및 검사장치 无效
标题翻译：检查显示面板的方法和装置
公开(公告)号：KR1020150054517A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：KR1020130137037
申请日：2013-11-12
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 이현민 , 강성용 , 강민구
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/30
CPC分类号： G01N21/95 , G01N21/892 , G01N2021/9513
摘要： 본발명에서는디스플레이패널의표면결함유무는물론표면결함의종류까지파악할수 있는디스플레이패널의표면검사방법및 검사장치가개시된다.본발명에따르면, 디스플레이패널의일측상단에상기디스플레이패널의표면과제1각도(θ)만큼경사지게배치된제1광원으로부터조명을출력하는단계와, 상기디스플레이패널의타측상단에상기디스플레이패널의표면과상기제1각도(θ)보다작은제2각도(θ)만큼경사지게배치된이미지획득수단을통해상기제1광원에의한반사이미지를획득하는단계와, 상기디스플레이패널의일측상단에상기디스플레이패널의표면과상기제2각도(θ)보다작은제3각도(θ)만큼경사지게배치된제2광원으로부터조명을출력하는단계와, 상기이미지획득수단을통해상기제2광원에의한반사이미지를획득하는단계와, 상기제1광원과제2광원에의한반사이미지의인텐시티분포(intensity distribution)를비교하는단계와, 상기인텐시티분포의경향이동일한지여부에따라표면결함의종류를판별하는단계를포함한다.
摘要翻译：提供了一种用于检查显示面板的方法和装置，以便检测显示面板的表面缺陷并准确地确定检测到的表面缺陷的类型。根据本发明，该方法包括以下步骤：将从第一角度（＆amp; 1）倾斜的第一光源的照明输出到显示面板一侧的顶部的显示面板的表面 ; 通过图像获取装置获取第一光源的反射图像，该图像获取装置将倾斜多于第一角度（＆amp; 1）的第二角度（＆amp; 2）放置在显示面板的表面上显示面板另一侧的顶部; 将从第二角度（＆amp; 2）小的第三角度（θth3）倾斜的第二光源的照明输出到显示器一侧顶部的显示面面板; 通过图像获取装置获取第二光源的反射图像; 比较第一光源和第二光源的反射图像的强度分布; 并根据强度分布的趋势是否相同来确定表面缺陷的类型。

30. 发明公开

KR1020140062356A 오토 포커싱 장치 有权
标题翻译：自动聚焦装置
公开(公告)号：KR1020140062356A
公开(公告)日：2014-05-23
申请号：KR1020120129025
申请日：2012-11-14
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 강민구 , 구자철 , 송기오 , 이상윤 , 임쌍근
IPC分类号： G03B13/36 , G01N21/00
摘要： The present invention relates to an auto-focusing device capable of identifying the optimum focal distance to a test target using a tunable liquid lens, accurately adjusting the focal point, and accordingly enabling a test device to clearly recognize defects of the test target. The auto-focusing device includes: a light source which is installed in a test device for auto-focusing of a test camera and emits light to a test target; a first camera which takes an image of the test target reflected by the light; a tunable liquid lens which is placed between the first camera and the test target; a control unit which controls the amount of current applied to the tunable liquid lens to adjust the focal distance of the tunable liquid lens; an analysis unit which analyzes the image of the test target according to the variable focal distance of the tunable liquid lens and calculates the optimum focal distance; and a distance adjustment unit which adjusts the distance between the test camera and the test target corresponding to the calculation result by the analysis unit.
摘要翻译：本发明涉及一种自动对焦装置，其能够使用可调式液体透镜识别到测试对象的最佳焦距，精确地调整焦点，并且因此使得测试装置能够清楚地识别测试对象的缺陷。该自动聚焦装置包括：光源，其安装在用于测试相机的自动聚焦的测试装置中并将光发射到测试对象; 拍摄由光反射的测试对象的图像的第一相机; 放置在第一照相机和测试对象之间的可调式液体透镜; 控制单元，其控制施加到可调液晶透镜的电流量以调节可调液晶透镜的焦距; 分析单元，其根据可调液晶透镜的可变焦距分析测试对象的图像，并计算最佳焦距; 以及距离调整单元，其通过分析单元调整与计算结果相对应的测试摄像机与测试对象之间的距离。

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