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21. 发明公开

EP2060662A2 MBE-Einrichtung und Verfahren zu deren Betrieb 审中-公开
公开(公告)号：EP2060662A2
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：EP08019625.6
申请日：2008-11-10
申请人： Forschungsverbund Berlin E.V. , CreaTec Fischer & Co. GmbH
发明人： Schönherr, Hans-Peter , Fischer, Albrecht
IPC分类号： C30B23/02 , C30B25/02 , C30B29/40 , C30B23/06
CPC分类号： C30B23/02 , C30B23/06 , C30B25/02 , C30B25/10 , C30B29/403 , C30B29/406
摘要： Eine Molekularstrahlepitaxie-(MBE)-Einrichtung (100), die zur reaktiven Abscheidung eines Gruppe III-Nitrid-Verbindungshalbleiters eingerichtet ist, umfasst eine Vakuumkammer (10), die mindestens eine Molekularstrahl-Quelle (11) und mindestens einen Injektor (12) aufweist, der zur Injektion von Ammoniak in die Vakuumkammer (10) eingerichtet ist, eine erste Kühlfalleneinrichtung (20) mit mindestens einer Kühlfalle (21, 22), die zum Kondensieren von überschüssigem Ammoniak eingerichtet ist, eine Pumpeneinrichtung (30) mit mindestens einer Pumpe (31, 33, 35), die zur Evakuierung der Vakuumkammer (10) eingerichtet ist, und eine Sperreinrichtung (40), mit der die erste Kühlfalleneinrichtung (20) von der Vakuumkammer (10) trennbar ist. Es wird auch ein Verfahren zum Betrieb einer MBE-Einrichtung beschrieben.
摘要翻译：用于反应性沉积III族氮化物化合物半导体的分子束外延装置包括具有分子束源（11）和喷射器（12）的真空室（10），其被设置用于将氨注入真空室，第一冷却捕集装置（20），其包括用于冷凝多余氨的第一冷却捕集器和第二冷却捕集器，用于抽空真空室的具有泵的泵装置（30）和阻塞装置冷却捕集装置可与真空室分离。用于反应性沉积III族氮化物化合物半导体的分子束外延装置包括具有分子束源（11）和喷射器（12）的真空室（10），其被设置用于将氨注入真空室，第一冷却捕集装置（20），其包括用于冷凝多余氨的第一冷却捕集器和第二冷却捕集器，具有用于抽空真空室的泵的泵送装置（30），其中第一冷却捕集装置可与真空室分离;以及第二冷却捕集装置（50），其布置成用于冷凝真空室中的残留气体。第一和第二冷却捕集器布置在真空室和抽水装置之间的分开的真空连接中。阻塞装置包括布置在真空室和冷却阱之间的两个阻塞元件。当其中一个冷凝阱通过阻塞装置从真空室分离时，另一冷却阱与真空室连接。与真空室分离的冷却阱被设置用于释放冷凝的氨。冷却捕集器包括管状挡板，其布置在真空室和泵之间的真空连接中，以及布置在附加真空室中的冷却挡板。阻挡元件布置在真空室和附加真空室之间。冷却捕集器可与抽真空装置的前置泵从真空室分开抽空，并通过可阻塞的桥接线与前置泵连接。第二冷却捕集装置包括布置在真空室中的冷却屏蔽，并被解释为其中氨在真空条件下保持气态并将残留气体冷凝在真空室中的工作温度。包括用于操作分子束外延装置的方法的独立权利要求。

22. 发明公开

EP1970474A1 Bedampfungseinrichtung und Bedampfungsverfahren zur Molekularstrahlbedampfung und Molekularstrahlepitaxie 有权
标题翻译： Bedampfungseinrichtung zur Molekularstrahlbedampfung und Molekularstrahlepitaxie
公开(公告)号：EP1970474A1
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：EP08003282.4
申请日：2008-02-22
申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH , Forschungsverbund Berlin E.V.
发明人： Braun, Wolfgang , Fischer, Albrecht
IPC分类号： C30B23/06 , C23C14/24 , C23C14/56
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/246 , C23C14/562 , C30B23/066 , C30B35/00
摘要： Die Erfindung betrifft eine Bedampfungseinrichtung (1) zum Bedampfen eines Substrats (2) mit einem Verdampfungsmaterial, insbesondere zur Molekularstrahlepitaxie, mit einer Effusionszelle (3) zum Verdampfen des Verdampfungsmaterials, wobei die Effusionszelle (3) eine Austrittsöffnung aufweist, um das Verdampfungsmaterial in einem verdampften Zustand auf das Substrat zu applizieren, und mit einer Substratführung, die das zu bedampfende Substrat vor der Austrittsöffnung der Effusionszelle (3) positioniert und im Betrieb relativ zu der Austrittsöffnung bewegt. Es wird vorgeschlagen, dass das zu bedampfende Substrat ein Substratband (2) ist und eine bestimmte Bandbreite aufweist, und dass die Effusionszelle (3) das Substratband (2) auf der gesamten Bandbreite mit dem Verdampfungsmaterial bedampft.
摘要翻译：分子束沉积组件（1）在移动的衬底（2）上沉积一层或多层分子物质。该组件具有一个具有蒸汽束引导件的出口单元（3），该导流单元指向移动的基板。基板是预定宽度的条带。蒸汽束覆盖移动基板的整个宽度。

23. 发明授权

EP2290120B1 HOCHTEMPERATUR-VERDAMPFERZELLE MIT KONISCHEM HEIZELEMENT 有权转让
标题翻译：锥形加热器高温蒸发器CELL
公开(公告)号：EP2290120B1
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：EP10015785.8
申请日：2008-07-21
申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH , Forschungsverbund Berlin e.V.
发明人： Braun, Wolfgang , Fischer, Albrecht , Watahiki, Tatsuro
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/26 , C23C14/30 , C30B23/06
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/30 , C30B23/066

24. 发明公开

EP2733234A2 Verdampferzelle, Beschichtungsvorrichtung und Verfahren zur Verdampfung eines Verdampfungsmaterials 审中-公开
标题翻译： Verdampferzelle，Beschichtungsvorrichtung und Verfahren zur Verdampfung eines Verdampfungsmaterials
公开(公告)号：EP2733234A2
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：EP13005168.3
申请日：2013-10-31
申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH
发明人： Braun, Wolfgang
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/243
摘要： Eine Verdampferzelle (100) umfasst einen ersten Tiegel (10) mit einer Tiegelwand (11), wobei der erste Tiegel (10) zur Aufnahme von Verdampfungsmaterial und zur Verdampfung des Verdampfungsmaterials eingerichtet ist und die Tiegelwand (12) durchgehende Hohlräume (14) aufweist. Es werden auch eine Beschichtungsvorrichtung (200), die mit mindestens einer derartigen Verdampferzelle (100) ausgestattet ist, und ein Verfahren zur Verdampfung eines Verdampfungsmaterial beschrieben.
摘要翻译：蒸发器单元包括具有坩埚壁的第一坩埚（10）。第一坩埚适于接收蒸发材料和蒸发材料的蒸发。坩埚壁具有通孔。蒸发器单元还包括规则或不规则分布的空腔，包括形式，孔，裂缝，通道和槽，以及布置在第一坩埚中的第二坩埚（20）。坩埚壁是由多层形成的单层。蒸发器单元包括具有坩埚壁的第一坩埚（10）。第一坩埚适于接收蒸发材料和蒸发材料的蒸发。坩埚壁具有通孔（12）。蒸发器单元还包括规则或不规则分布的空腔，包括形式，孔，裂缝，通道和槽，以及布置在第一坩埚中的第二坩埚（20）。坩埚壁是由多层形成的单层。空腔具有使熔融蒸发材料保持在空腔中的表面张力作用下的特征尺寸。槽在坩埚壁的轴向和/或径向相对于彼此偏移地布置。坩埚的壁包括包括线材，开槽片材，烧结材料和泡沫的壁材料。在第一坩埚和第二坩埚之间形成间隙，用于蒸发材料从第一坩埚中蒸出一段时间。第一和第二坩埚彼此可拆卸地间隔开，并且具有圆柱形和/或圆锥形形状。包括用于蒸发材料蒸发的方法的独立权利要求。

25. 发明公开

EP2683965A1 VORRICHTUNG FÜR EIN VAKUUM UND ZUM ÜBERTRAGEN ODER ERMÖGLICHEN EINER BEWEGUNG 有权
标题翻译：装置用于真空并传送或允许运动
公开(公告)号：EP2683965A1
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：EP12707481.3
申请日：2012-02-29
申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH
发明人： BRAUN, Wolfgang
IPC分类号： F16H25/16 , F16H55/08
CPC分类号： F16H57/02004 , F16C32/02 , F16C33/306 , Y02T10/865
摘要： The invention relates to a device for low-friction movement transfer, torque transfer, power transfer and/or movement enabling, in particular for forming a joint, a transmission, a bearing and/or a guide which is suitable for use in a vacuum. The device according to the invention comprises at least one notch (10) which has a notch base (11) and at least one engaging part (20') which has a face region (21'), wherein the notch base (11) and the face region (21') are designed for operative movable interaction with each other.
摘要翻译：本发明涉及一种用于低摩擦运动传递，传递扭矩，功率传输和/或移动实现，特别是用于形成接头，传动装置，轴承和/或用于所有的引导，其适于在真空中使用的装置。雅丁到本发明的装置包括至少一个凹口（10），其具有槽口基部（11）和至少一个接合部分（20“），其具有面部区域（21”），worin槽口基部（11）和面部区域（21“）被设计用于操作海誓山盟可动相互作用。

26. 发明公开

EP2325348A1 Device and method for thermal evaporation of silicon 有权
标题翻译： Vorrichtung und Verfahren zur thermischen Verdampfung von Silicium
公开(公告)号：EP2325348A1
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：EP09014510.3
申请日：2009-11-20
申请人： Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. , CreaTec Fischer & Co. GmbH
发明人： Jeurgens, Lars , Fischer, Albrecht
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/243
摘要： An evaporator cell (100), in particular for evaporating a high-melting material like Si, comprises a first crucible (10) being adapted for receiving the material to be evaporated and providing a first evaporation volume, and a heating device (30) being arranged for heating the first crucible (10), wherein the first crucible (10) is arranged in a second crucible (20) surrounding the first crucible (10), so that a spacing (25) is formed between the first and second crucibles (10, 20), wherein the spacing (25) provides a second evaporation volume. Furthermore, a coating installation provided with at least one evaporator cell and a process for evaporating a high-melting material using the evaporator cell (100) are described.
摘要翻译：特别是用于蒸发诸如Si的高熔点材料的蒸发器单元（100）包括适于接收待蒸发的材料并提供第一蒸发体积的第一坩埚（10）和加热装置（30）布置用于加热第一坩埚（10），其中第一坩埚（10）布置在围绕第一坩埚（10）的第二坩埚（20）中，使得在第一和第二坩埚之间形成间隔（25） 10，20），其中所述间隔（25）提供第二蒸发体积。此外，描述了设置有至少一个蒸发器单元的涂布设备和使用蒸发器单元（100）蒸发高熔点材料的方法。

27. 发明公开

EP1732129A3 Hochtemperatur-Verdampferzelle und Verfahren zur Verdampfung hochschmelzender Materialien 有权
标题翻译：对于高熔点材料蒸发的高温蒸发器细胞和方法
公开(公告)号：EP1732129A3
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：EP06011125.9
申请日：2006-05-30
申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH , Forschungsverbund Berlin e.V.
发明人： Braun, Wolfgang , Fischer, Albrecht
IPC分类号： H01L23/34 , C23C14/24 , C30B23/06
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/30 , C30B23/066 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： Eine Verdampferzelle (100), insbesondere zur Verdampfung eines hochschmelzenden Verdampfungsguts, umfasst einen Tiegel (10) zur Aufnahme des Verdampfungsguts, und eine Heizeinrichtung (20) mit einem Heizwiderstand (21) zur Widerstandsheizung des Tiegels (10), wobei der Heizwiderstand (21) als ein Elektronenemitter zur Elektronenstrahlheizung des Tiegels (10) vorgesehen ist. Es wird auch ein Verfahren zur Verdampfung eines hochschmelzenden Verdampfungsguts beschrieben.

28. 发明专利

DE102013006322A1 Magnetischer Antrieb, insbesondere für Vakuumanlagen 未知
公开(公告)号：DE102013006322A1
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：DE102013006322
申请日：2013-04-12
申请人： CREATEC FISCHER & CO GMBH
发明人： BRAUN WOLFGANG
IPC分类号： H02K51/00
摘要： Ein magnetischer Antrieb (100), insbesondere für ein Bauteil in einer Vakuumanlage, umfasst ein Gehäuse (10) mit einer Gehäusewand (11) aus einem nicht-magnetischen Material, wobei das Gehäuse (10) druckdicht mit der Vakuumanlage koppelbar ist, eine Antriebseinrichtung (20), die außerhalb des Gehäuses angeordnet ist, und eine Aktoreinrichtung (30), die im Gehäuse (10) angeordnet und von einer Innenfläche (12) der Gehäusewand (11) gestützt wird, wobei mindestens eine der Antriebseinrichtung (20) und der Aktoreinrichtung (30) zur Erzeugung eines Magnetfeldes (B) eingerichtet ist, das eine Magnetfeldrichtung senkrecht zu der Gehäusewand (11) aufweist, und die Antriebseinrichtung (20) und die Aktoreinrichtung (30) durch das Magnetfeld magnetisch gekoppelt sind, die Antriebseinrichtung (20) für eine Verschiebung des Magnetfeldes in der Antriebsrichtung eingerichtet ist, und die Aktoreinrichtung (30) unter der Wirkung der Verschiebung des Magnetfeldes auf der Innenfläche (12) des Gehäuses (10) eine Rollbewegung ausführen kann, wobei die Innenfläche (12) für die Aktoreinrichtung (30) eine in der Antriebsrichtung stufenlose Abrollfläche bildet. Es wird auch eine Vakuumanlage beschrieben, die mit dem magnetischen Antrieb (100) ausgestattet ist.

29. 发明专利

PL1732129T3 Wysokotemperaturowa komórka parownika i sposób odparowywania materiałów wysokotopliwych 未知
公开(公告)号：PL1732129T3
公开(公告)日：2014-07-31
申请号：PL06011125
申请日：2006-05-30
申请人： CREATEC FISCHER & CO GMBH , FORSCHUNGSVERBUND BERLIN EV
发明人： BRAUN WOLFGANG , FISCHER ALBRECHT
IPC分类号： H01L23/34 , C23C14/24 , C23C14/30 , C30B23/06

30. 发明专利

DE102012022619B3 Verdampferzelle, Beschichtungsvorrichtung und Verfahren zur Verdampfung eines Verdampfungsmaterials 未知
公开(公告)号：DE102012022619B3
公开(公告)日：2014-03-06
申请号：DE102012022619
申请日：2012-11-19
申请人： CREATEC FISCHER & CO GMBH
发明人： BRAUN WOLFGANG
IPC分类号： C23C14/24
摘要： Eine Verdampferzelle (100) umfasst einen ersten Tiegel (10) mit einer Tiegelwand (11), wobei der erste Tiegel (10) zur Aufnahme von Verdampfungsmaterial und zur Verdampfung des Verdampfungsmaterials eingerichtet ist und die Tiegelwand (12) durchgehende Hohlräume (14) aufweist. Es werden auch eine Beschichtungsvorrichtung (200), die mit mindestens einer derartigen Verdampferzelle (100) ausgestattet ist, und ein Verfahren zur Verdampfung eines Verdampfungsmaterial beschrieben.

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