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    • 27. 发明专利
    • 用於處理一半導體裝置結構之工具及系統,及相關方法
    • 用于处理一半导体设备结构之工具及系统,及相关方法
    • TW201947652A
    • 2019-12-16
    • TW108115334
    • 2019-05-03
    • 美商美光科技公司MICRON TECHNOLOGY, INC.
    • 克東斯基 麥寇 EKOLTONSKI, MICHAEL E.
    • H01L21/304
    • 本發明揭示一種用於製造一半導體裝置結構之系統,其包含一工具,該工具包括一室及該室內之一平台,該平台經組態以在其上接收一半導體裝置結構。該工具進一步包含與該平台可操作連通且經組態以控制該平台之一溫度之一加熱及冷卻系統。該加熱及冷卻系統包括:一冷卻系統,其包含用於容納一冷傳熱流體之一冷槽,該冷槽經組態以與該平台、傳熱流體供應管線及傳熱流體回流管線流體連通;一加熱系統,其包含用於容納具有比該冷傳熱流體高之一溫度之一熱傳熱流體之一熱槽,該熱槽經組態以與該平台、該傳熱流體供應管線及該傳熱流體回流管線流體連通;及至少一暫時儲存槽,其經組態以在將來自該平台之一熱負載自該冷卻系統或該加熱系統之一者切換至該冷卻系統或該加熱系統之另一者之後自至少該傳熱流體回流管線接收至少一些該冷傳熱流體或該熱傳熱流體。本發明亦揭示相關方法及工具。
    • 本发明揭示一种用于制造一半导体设备结构之系统,其包含一工具,该工具包括一室及该室内之一平台,该平台经组态以在其上接收一半导体设备结构。该工具进一步包含与该平台可操作连通且经组态以控制该平台之一温度之一加热及冷却系统。该加热及冷却系统包括:一冷却系统,其包含用于容纳一冷传热流体之一冷槽,该冷槽经组态以与该平台、传热流体供应管线及传热流体回流管线流体连通;一加热系统,其包含用于容纳具有比该冷传热流体高之一温度之一热传热流体之一热槽,该热槽经组态以与该平台、该传热流体供应管线及该传热流体回流管线流体连通;及至少一暂时存储槽,其经组态以在将来自该平台之一热负载自该冷却系统或该加热系统之一者切换至该冷却系统或该加热系统之另一者之后自至少该传热流体回流管线接收至少一些该冷传热流体或该热传热流体。本发明亦揭示相关方法及工具。