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11. 发明公开

CN101790679A 检测透明板体内部的微小异物的方法及其装置失效
公开(公告)号：CN101790679A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN200880104499.3
申请日：2008-08-22
申请人：旭硝子株式会社
发明人：大音仁昭
IPC分类号： G01N21/958 , G01B11/22
CPC分类号： G01N21/00 , G01N21/896 , G01N21/94 , G01N21/958 , G01N2021/8905 , G01N2021/8967
摘要：本发明提供一种检测透明板体内部的微小异物的方法及其装置，稳定地检测透明板体内部的遮光性的微小异物，且获得微小异物深度的信息。该方法是通过测量亮度(E、F)来进行检测的方法，该亮度(E、F)是由对存在于具有均匀的折射率的恒定厚度的透明板体(1)内部的微小异物(4)进行照射的光束(2)的散射等而产生的，其特征在于，使光束(2)相对于透明板体的厚度方向以规定的倾斜角度进入到透明板体内部，在透明板体内部形成进入的内部光束(I)和由该内部光束(I)在透明板体表面反射而成的内部光束(II)，不改变上述光束的进入角度地使透明板体和光束相对移动(沿(G)方向)，从透明板体的厚度方向分别检测同一微小异物(4)由上述内部光束(I)照射而产生的亮点(E)和由上述内部光束(II)照射而产生的亮点(F)，从而判断上述微小异物在透明板体中的位置。

12. 发明授权

CN105080855B 基板标记检测装置和基板标记检测方法失效
公开(公告)号：CN105080855B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201510299662.8
申请日：2015-06-03
申请人：合肥京东方光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
发明人：井杨坤
IPC分类号： B07C5/34
CPC分类号： B07C5/342 , G01N21/8851 , G01N21/958 , G01N2021/888 , G01N2021/8967
摘要：本发明涉及一种基板标记检测装置及方法，该装置包括：检测模块，用于检测待检测的基板中每个标记嵌入基板的深度，根据每个深度判断基板是否有效；信息提取模块，在基板为有效的情况下，解析标记得到解析信息，查询标记对应的预存信息，判断解析信息与预存信息是否相符，若相符，则提取预存信息进行显示；分拣模块，在基板为无效，或解析信息与预存信息不相符的情况下，去除基板。通过对基板中的标记进行检测，根据标记嵌入基板的深度进行判断，可以方便且准确地对基板的有效性进行判定，避免后续工序中对无效基板的检测，提高基板的整体检测效率，还可以去除解析信息与预存信息不相符的基板，保证进入后续对盒工序中的基板能够准确进行对盒。

13. 发明授权

CN104094104B 用于识别透明片体内的缺陷部位的装置和方法以及该装置的使用有权
公开(公告)号：CN104094104B
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201280069284.9
申请日：2012-12-27
申请人：肖特公开股份有限公司
发明人：布鲁诺·施拉德尔 , 弗兰克·马赫赖 , 霍尔格·维格纳 , 米夏埃尔·史特尔策
IPC分类号： G01N21/958
CPC分类号： G01N21/958 , G01B9/02 , G01N21/45 , G01N21/49 , G01N21/896 , G01N21/94 , G01N2021/4709 , G01N2021/8967
摘要：本发明涉及一种用于识别透明的片(10)，优选玻璃片体内的缺陷部位的装置(11)。装置(11)包括光照机构(12)，利用其将入射光(20)对准片(10)的表面的至少一部分以照射片(10)；以及图像检测机构(14、16)，由片(10)反散射的光(22)对准该图像检测机构以通过图像技术检测片(10)。装置(11)构造用于在不同拍摄条件下产生至少两个干涉图像，以便借助评估该至少两个干涉图像能够实现或执行对缺陷部位的识别。

14. 发明公开

CN106461571A 用于柔性基板上的颗粒检测的方法无效
公开(公告)号：CN106461571A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580028633.6
申请日：2015-05-28
申请人：康宁股份有限公司
发明人： N·H·方丹 , A·M·维提尔
IPC分类号： G01N21/89 , G01N21/896 , G01N21/94 , G01N21/958
CPC分类号： G01N21/8914 , G01N21/89 , G01N21/8901 , G01N21/896 , G01N21/94 , G01N21/958 , G01N2021/4707 , G01N2021/845 , G01N2021/8965 , G01N2021/8967 , G01N2021/945 , G01N2201/06113
摘要：用于检测薄的柔性基板上的颗粒的方法，其中该基板被定位在包括顶点线的弯曲部中。通过掠射角照射对该顶点线进行照射，并且由检测设备捕获由该颗粒散射的来自该照射的光。

15. 发明授权

CN102636498B 玻璃基板的检测装置及检测方法失效质押
公开(公告)号：CN102636498B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201210079294.2
申请日：2012-03-22
申请人：深圳市华星光电技术有限公司
发明人：朱二庆 , 吴俊豪 , 林昆贤 , 汪永强 , 杨卫兵 , 李贤德
IPC分类号： G01N21/958
CPC分类号： G01N21/896 , G01N2021/8965 , G01N2021/8967
摘要：本发明提供一种玻璃基板的检测装置及检测方法，用于检测承载于卡匣中的玻璃基板是否存在破损。该检测装置包括至少一传感器组和至少一处理单元。传感器组包括位于玻璃基板一侧的一投光元件和分别位于玻璃基板两侧的两个受光元件，处理单元用于判断两个受光元件检测的亮度之间的亮度差是否处于预定范围，若该亮度差未处于预定范围，则被检测的玻璃基板存在破损。通过上述方式，本发明能够减少或避免破损玻璃基板进入显示面板制程线。

16. 发明公开

CN103250046A 玻璃基板失效
公开(公告)号：CN103250046A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201180059400.4
申请日：2011-11-29
申请人：旭硝子株式会社
发明人：樋口诚彦 , 楜泽信 , 藤井信治
IPC分类号： G01N21/896
CPC分类号： G01N21/896 , G01N2021/8967
摘要：提供至少一个表面不会膨胀的玻璃基板。设玻璃基板(51)的板厚为T(μm)。另外，设从该玻璃基板(51)的表面(52)到玻璃基板(51)内存在的气泡(57)的距离为D(μm)。在设该气泡的换算球形直径为e(μm)时，距至少一个表面(52)为T/2(μm)以内的层中存在的气泡的换算球形直径e满足：e≤0.01×D1.6+15。在玻璃基板(51)是从通过浮法制造的玻璃带进行采板而得的玻璃基板的情况下，以与玻璃基板的底面对应的面为基准来确定到气泡(57)的距离D。

17. 发明授权

CN101790679B 检测透明板体内部的微小异物的方法及其装置失效
公开(公告)号：CN101790679B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200880104499.3
申请日：2008-08-22
申请人：旭硝子株式会社
发明人：大音仁昭
IPC分类号： G01N21/958 , G01B11/22
CPC分类号： G01N21/00 , G01N21/896 , G01N21/94 , G01N21/958 , G01N2021/8905 , G01N2021/8967
摘要：本发明提供一种检测透明板体内部的微小异物的方法及其装置，稳定地检测透明板体内部的遮光性的微小异物，且获得微小异物深度的信息。该方法是通过测量亮度(E、F)来进行检测的方法，该亮度(E、F)是由对存在于具有均匀的折射率的恒定厚度的透明板体(1)内部的微小异物(4)进行照射的光束(2)的散射等而产生的，其特征在于，使光束(2)相对于透明板体的厚度方向以规定的倾斜角度进入到透明板体内部，在透明板体内部形成进入的内部光束(I)和由该内部光束(I)在透明板体表面反射而成的内部光束(II)，不改变上述光束的进入角度地使透明板体和光束相对移动(沿(G)方向)，从透明板体的厚度方向分别检测同一微小异物(4)由上述内部光束(I)照射而产生的亮点(E)和由上述内部光束(II)照射而产生的亮点(F)，从而判断上述微小异物在透明板体中的位置。

18. 发明公开

EP3149457A1 METHOD FOR PARTICLE DETECTION ON FLEXIBLE SUBSTRATES 审中-公开
标题翻译： VERFAHREN ZUR PARTIKELDETEKTION AUF FLEXIBLEN SUBSTRATEN
公开(公告)号：EP3149457A1
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：EP15729642.7
申请日：2015-05-28
申请人： Corning Incorporated
发明人： FONTAINE, Norman Henry , WHITTIER, Alana Marie
IPC分类号： G01N21/89 , G01N21/896 , G01N21/94 , G01N21/958 , G01N21/47
CPC分类号： G01N21/8914 , G01N21/89 , G01N21/8901 , G01N21/896 , G01N21/94 , G01N21/958 , G01N2021/4707 , G01N2021/845 , G01N2021/8965 , G01N2021/8967 , G01N2021/945 , G01N2201/06113
摘要： Methods for detection of particulate on thin, flexible substrates wherein the substrate is positioned in a bend comprising an apex line. The apex line is illuminated by grazing angle illumination, and light from the illumination scattered by the particulate is captured by a detection apparatus.
摘要翻译：用于在薄的柔性基底上检测颗粒的方法，其中所述基底定位在包括顶线的弯曲部中。顶线由掠射角照明照射，并且由微粒散射的照明的光被检测装置捕获。

19. 发明申请

WO2007144671A1 GLAZING INSPECTION 审中-公开
标题翻译： GLAZING检查
公开(公告)号：WO2007144671A1
公开(公告)日：2007-12-21
申请号：PCT/GB2007/050334
申请日：2007-06-13
申请人： PILKINGTON GROUP LIMITED , EVANS, Robert William
发明人： EVANS, Robert William
IPC分类号： G01N21/958 , G01N33/38
CPC分类号： G01N21/8806 , G01N21/896 , G01N21/958 , G01N33/386 , G01N2021/1772 , G01N2021/1774 , G01N2021/8967 , G01N2021/9586 , G01N2201/062
摘要： A glazing inspection apparatus (50) for detecting edge faults in a ply of glass (51), and a method of inspection, is disclosed. The apparatus (50) comprises a light source (52) for illuminating a ply of glass (51), image capture means (55) for capturing images of the edge and the upper and lower surfaces, adjacent the edge, of the ply of glass and focusing means (56, 54, 57a, 57b) for focusing the images of the edge and the upper and lower surfaces, adjacent the edge, of the ply of glass (51) into the same focal plane. Preferably the focusing means comprises two triangular glass prisms (57a, 57b) located at one end of a parallelepiped glass block (5S), on opposite sides of the block (56). Alternatively, the focusing means may comprise the parallelepiped glass block and a pair of mirrors (see figure 6a).
摘要翻译：公开了一种用于检测玻璃板（51）中的边缘断层的玻璃检查装置（50）和检查方法。该装置（50）包括用于照射玻璃板（51）的光源（52），用于捕获玻璃层边缘边缘和邻近边缘的上表面和下表面的图像的图像捕获装置（55）以及聚焦装置（56,54,57a，57b），用于将玻璃（51）的边缘和邻近边缘的上表面和下表面的图像聚焦到同一焦平面中。优选地，聚焦装置包括位于平行六面体玻璃块（5S）的一端的两个三角形玻璃棱镜（57a，57b），位于块体（56）的相对侧上。或者，聚焦装置可以包括平行六面体玻璃块和一对反射镜（见图6a）。

20. 发明授权

US11988615B2 Region prober optical inspector 有权
公开(公告)号：US11988615B2
公开(公告)日：2024-05-21
申请号：US17576986
申请日：2022-01-16
申请人： Lumina Instruments
发明人： Steven W. Meeks , Hung Phi Nguyen , Alireza Shahdoost Moghaddam
IPC分类号： G01N21/958 , G01N21/21 , G01N21/55 , G01N21/84 , G01N21/896 , G02B26/08 , G02B26/10 , G02B27/54
CPC分类号： G01N21/958 , G01N21/21 , G01N21/55 , G01N21/8422 , G02B26/0816 , G02B26/101 , G02B26/105 , G02B27/54 , G01N21/896 , G01N2021/8967 , G01N2201/06113 , G01N2201/0633 , G01N2201/0636
摘要： An optical scanning system including a radiating source that outputs a light beam, a time varying beam reflector that reflects the light beam through a scan lens towards a transparent sample at an incident angle of plus or minus ten degrees from Brewster's angle, a focusing lens configured to be irradiated by light scattered from the transparent sample, and a detector that is irradiated by the light scattered from the transparent sample. The detector outputs a signal that indicates an intensity of light measured by the detector. None of the light scattered from the transparent sample is blocked. The light scattered from the transparent sample is scattered from the top surface of the transparent sample, the bottom surface of the transparent sample, or any location in between the top surface of the transparent sample and the bottom surface of the transparent sample.

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