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    • 12. 发明专利
    • 有機被膜剝離劑、使用該剝離劑之有機被膜除去方法、以及除去裝置
    • 有机被膜剥离剂、使用该剥离剂之有机被膜除去方法、以及除去设备
    • TW200643658A
    • 2006-12-16
    • TW095108924
    • 2006-03-16
    • 東亞合成股份有限公司 TOAGOSEI CO., LTD.
    • 原田勝可 HARADA, KATSUYOSHI飯沼知久 IINUMA, TOMOHISA新妻裕志 NIIZUMA, HIROSHI
    • G03FH01L
    • C09D9/005C11D7/267C11D11/0047G03F7/422H01L21/02057
    • 本發明係提供,適用於除去半導體用晶圓或液晶用基板等加工時所使用之光阻被膜的剝離劑、使用該剝離劑之光阻被膜除去方法、以及除去裝置。有機被膜剝離劑係含有γ–丁內酯20重量%以上。有機被膜除去方法,其特徵在於,使有機被膜剝離劑與表面具有有機被膜之基體接觸,以除去該有機被膜。具有有機被膜之基體表面之有機被膜除去裝置,其特徵在於具備:A.貯存剝離劑新液之貯槽、B.混合剝離劑貯槽,用以導入剝離劑新液且導入處理後之剝離劑、C.將剝離劑由混合剝離劑貯槽機構供應至接觸槽之機構、D.收納具有有機被膜之基體的基體保持具、E.將具有有機被膜之基體由基體保持具取出並導入接觸槽,於接觸槽內,使剝離劑與基體之具有有機被膜的表面接觸,俾將有機被膜以剝離劑溶解而將有機被膜自基體表面除去,並將有機被膜已除去之基體由接觸槽拉起之機構、F.將溶解有機被膜之剝離劑由接觸槽排出之機構、及G.使由接觸槽排出之剝離劑循環而返回至混合剝離劑貯槽之機構。
    • 本发明系提供,适用于除去半导体用晶圆或液晶用基板等加工时所使用之光阻被膜的剥离剂、使用该剥离剂之光阻被膜除去方法、以及除去设备。有机被膜剥离剂系含有γ–丁内酯20重量%以上。有机被膜除去方法,其特征在于,使有机被膜剥离剂与表面具有有机被膜之基体接触,以除去该有机被膜。具有有机被膜之基体表面之有机被膜除去设备,其特征在于具备:A.贮存剥离剂新液之贮槽、B.混合剥离剂贮槽,用以导入剥离剂新液且导入处理后之剥离剂、C.将剥离剂由混合剥离剂贮槽机构供应至接触槽之机构、D.收纳具有有机被膜之基体的基体保持具、E.将具有有机被膜之基体由基体保持具取出并导入接触槽,于接触槽内,使剥离剂与基体之具有有机被膜的表面接触,俾将有机被膜以剥离剂溶解而将有机被膜自基体表面除去,并将有机被膜已除去之基体由接触槽拉起之机构、F.将溶解有机被膜之剥离剂由接触槽排出之机构、及G.使由接触槽排出之剥离剂循环而返回至混合剥离剂贮槽之机构。
    • 13. 发明专利
    • 橡膠强化共聚物的製造方法
    • 橡胶强化共聚物的制造方法
    • TWI267519B
    • 2006-12-01
    • TW093105354
    • 2004-03-02
    • 東亞合成股份有限公司 TOAGOSEI CO., LTD.
    • 松崎英男 HIDEO MATSUZAKI河合道弘 MICHIHIRO KAAI竹井利明 TOSHIAKI TAKEI
    • C08F
    • C08F291/02C08F290/04
    • 本發明係有關於一種可使用作為耐衝擊性、表面光澤性、耐熱性以及色調相當優異的、對模具的污染或腐蝕很小的樹脂的原料之橡膠強化共聚物。本發明的橡膠強化共聚物係在水性介質中,於大單體以及橡膠狀聚合物乳膠的存在下,藉由對第1乙烯基單體進行乳化聚合來加以製造。大單體係在150~350℃的溫度下對第2乙烯基單體進行自由基聚合而得到,具有第(1)式所示的末端結構、羧基以及疏水性單體單元的聚合物。大單體中至少一部分的羧基係利用鹼來加以中和。在第(1)式中,X係指極性基;M係指單體單元;n係指表示聚合度的自然數。
    • 本发明系有关于一种可使用作为耐冲击性、表面光泽性、耐热性以及色调相当优异的、对模具的污染或腐蚀很小的树脂的原料之橡胶强化共聚物。本发明的橡胶强化共聚物系在水性介质中,于大单体以及橡胶状聚合物乳胶的存在下,借由对第1乙烯基单体进行乳化聚合来加以制造。大单体系在150~350℃的温度下对第2乙烯基单体进行自由基聚合而得到,具有第(1)式所示的末端结构、羧基以及疏水性单体单元的聚合物。大单体中至少一部分的羧基系利用碱来加以中和。在第(1)式中,X系指极性基;M系指单体单元;n系指表示聚合度的自然数。
    • 16. 发明专利
    • 環狀有機矽化合物之製造方法及具有醇性羥基之矽系樹脂及其製造方法
    • 环状有机硅化合物之制造方法及具有醇性羟基之硅系树脂及其制造方法
    • TW200519120A
    • 2005-06-16
    • TW093134008
    • 2004-11-08
    • 東亞合成股份有限公司 TOAGOSEI CO., LTD.
    • 小室勝彥鈴木浩 SUZUKI, HIROSHI
    • C07FC08G
    • C07F7/1892C07F7/1876C08G77/14C08G77/16
    • 本發明之目的為提供,與噁基–矽環戊烷(oxy–silacyclobutane)類同樣之環狀有機矽化合物之合成,於一階段反應完結之製造方法。更詳細說明,提供組成之控制容易,且安定無經時變化具有醇性羥基之有機矽樹脂及其製造方法。本發明之環狀有機矽化合物之製造方法,係於過渡金屬之存在下,將下式(1)所示之烯烴類及下式(2)所示之烷氧基矽烷,反應製造如下式(3)所示之環狀有機矽化合物者。又,本發明之有機矽樹脂,係將上述一般式(3)所示環狀有機矽化合物,或其與多官能烷氧基矽烷所成混合物,經水解及縮合而得者。093134008-p01.bmp〔式中所示,Z係末端碳原子為形成C=C鍵結之碳數為2~5之鏈烯基,R為甲基或氫,Me為甲基〕、093134008-p02.bmp〔式中所示,R1為碳數1~3之烷基或烷氧基,R2為碳數1~3之烷基,複數之R2可互為相同或相異〕;093134008-p03.bmp〔式中所示,Z’係為碳數2~5之伸烷基,R為甲基或氫,R1為碳數1~3之烷基或烷氧基,R@s B!2為碳數1~3之烷基〕。
    • 本发明之目的为提供,与恶基–硅环戊烷(oxy–silacyclobutane)类同样之环状有机硅化合物之合成,于一阶段反应完结之制造方法。更详细说明,提供组成之控制容易,且安定无经时变化具有醇性羟基之有机硅树脂及其制造方法。本发明之环状有机硅化合物之制造方法,系于过渡金属之存在下,将下式(1)所示之烯烃类及下式(2)所示之烷氧基硅烷,反应制造如下式(3)所示之环状有机硅化合物者。又,本发明之有机硅树脂,系将上述一般式(3)所示环状有机硅化合物,或其与多官能烷氧基硅烷所成混合物,经水解及缩合而得者。093134008-p01.bmp〔式中所示,Z系末端碳原子为形成C=C键结之碳数为2~5之链烯基,R为甲基或氢,Me为甲基〕、093134008-p02.bmp〔式中所示,R1为碳数1~3之烷基或烷氧基,R2为碳数1~3之烷基,复数之R2可互为相同或相异〕;093134008-p03.bmp〔式中所示,Z’系为碳数2~5之伸烷基,R为甲基或氢,R1为碳数1~3之烷基或烷氧基,R@s B!2为碳数1~3之烷基〕。
    • 17. 发明专利
    • 橡膠强化共聚物的製造方法
    • 橡胶强化共聚物的制造方法
    • TW200502260A
    • 2005-01-16
    • TW093105354
    • 2004-03-02
    • 東亞合成股份有限公司 TOAGOSEI CO., LTD.
    • 松崎英男 HIDEO MATSUZAKI河合道弘 MICHIHIRO KAAI竹井利明 TOSHIAKI TAKEI
    • C08F
    • C08F291/02C08F290/04
    • 本發明係有關於一種可使用作為耐衝擊性、表面光澤性、耐熱性以及色調相當優異的、對模具的污染或腐蝕很小的樹脂的原料之橡膠強化共聚物。本發明的橡膠強化共聚物係在水性介質中,於大單體以及橡膠狀聚合物乳膠的存在下,藉由對第1乙烯基單體進行乳化聚合來加以製造。大單體係在150~350℃的溫度下對第2乙烯基單體進行自由基聚合而得到,具有第(1)式所示的末端結構、羧基以及疏水性單體單元的聚合物。大單體中至少一部分的羧基係利用鹼來加以中和。在第(1)式中,X係指極性基;M係指單體單元;n係指表示聚合度的自然數。093105354-p01.bmp
    • 本发明系有关于一种可使用作为耐冲击性、表面光泽性、耐热性以及色调相当优异的、对模具的污染或腐蚀很小的树脂的原料之橡胶强化共聚物。本发明的橡胶强化共聚物系在水性介质中,于大单体以及橡胶状聚合物乳胶的存在下,借由对第1乙烯基单体进行乳化聚合来加以制造。大单体系在150~350℃的温度下对第2乙烯基单体进行自由基聚合而得到,具有第(1)式所示的末端结构、羧基以及疏水性单体单元的聚合物。大单体中至少一部分的羧基系利用碱来加以中和。在第(1)式中,X系指极性基;M系指单体单元;n系指表示聚合度的自然数。093105354-p01.bmp
    • 18. 发明专利
    • 藉由奈米過濾連續使用光阻剝離液之系統
    • 借由奈米过滤连续使用光阻剥离液之系统
    • TW200921303A
    • 2009-05-16
    • TW097124966
    • 2008-07-02
    • 東亞合成股份有限公司 TOAGOSEI CO., LTD.
    • 住田正直 SUMITA, MASANAO林秀生 HAYASHI, HIDEO
    • G03FB01D
    • G03F7/422B01D61/027
    • 本發明所欲解決之課題,在於實現即使不交換剝離液而長時間持續剝離,仍可使光阻剝離所使用的剝離液中的光阻成分的濃度在一定濃度範圍內取得之系統。發現藉由光阻剝離液進行正型光阻的剝離時,溶解於剝離液中之光阻成分,藉由特定的陶瓷奈米過濾器進行錯流過濾而可減少。然後,包含在剝離步驟所生成的光阻成分之剝離液,藉由以過濾步驟進行處理,使光阻成分濃度被濃縮之濃縮剝離液適當地排出系統外,於光阻成分被除去的處理剝離液,使適當添加剝離液的新液之剝離液,再於剝離步驟使用,因而完成光阻剝離系統。
    • 本发明所欲解决之课题,在于实现即使不交换剥离液而长时间持续剥离,仍可使光阻剥离所使用的剥离液中的光阻成分的浓度在一定浓度范围内取得之系统。发现借由光阻剥离液进行正型光阻的剥离时,溶解于剥离液中之光阻成分,借由特定的陶瓷奈米过滤器进行错流过滤而可减少。然后,包含在剥离步骤所生成的光阻成分之剥离液,借由以过滤步骤进行处理,使光阻成分浓度被浓缩之浓缩剥离液适当地排出系统外,于光阻成分被除去的处理剥离液,使适当添加剥离液的新液之剥离液,再于剥离步骤使用,因而完成光阻剥离系统。