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    • 15. 发明专利
    • 硅單晶的製造方法及製造系統
    • 硅单晶的制造方法及制造系统
    • TW201617487A
    • 2016-05-16
    • TW104131328
    • 2015-09-22
    • 勝高股份有限公司SUMCO CORPORATION
    • 佐藤忠廣SATO, TADAHIRO北原江梨子KITAHARA, ERIKO須藤俊明SUDO, TOSHIAKI北原賢KITAHARA, KEN
    • C30B15/02C30B35/00
    • C30B15/10C30B15/00C30B15/20C30B29/06C30B35/007
    • 課題:正確地掌握各氧化矽玻璃坩堝之容積來事先預測氧化矽玻璃坩堝內之矽熔液之初期液位,據此可靠地進行晶種之著液工藝。 解決手段:於氧化矽玻璃坩堝內填充原料之前測量氧化矽玻璃坩堝之內表面上之複數點之空間座標,根據將各測量點作為頂點座標之多角形組合來特定氧化矽玻璃坩堝之內表面之三維形狀(S11),預先設定氧化矽玻璃坩堝內之矽熔液之初期液位之預測值(S12),基於氧化矽玻璃坩堝之內表面之三維形狀來求取滿足初期液位之預測值矽熔液之體積(S13),求取具有所述體積之矽熔液之重量(S14),於氧化矽玻璃坩堝中填充具有所述重量之原料(S15),以及基於初期液位之預測值來控制晶種之著液(S17)。
    • 课题:正确地掌握各氧化硅玻璃坩埚之容积来事先预测氧化硅玻璃坩埚内之硅熔液之初期液位,据此可靠地进行晶种之着液工艺。 解决手段:于氧化硅玻璃坩埚内填充原料之前测量氧化硅玻璃坩埚之内表面上之复数点之空间座标,根据将各测量点作为顶点座标之多角形组合来特定氧化硅玻璃坩埚之内表面之三维形状(S11),预先设置氧化硅玻璃坩埚内之硅熔液之初期液位之预测值(S12),基于氧化硅玻璃坩埚之内表面之三维形状来求取满足初期液位之预测值硅熔液之体积(S13),求取具有所述体积之硅熔液之重量(S14),于氧化硅玻璃坩埚中填充具有所述重量之原料(S15),以及基于初期液位之预测值来控制晶种之着液(S17)。