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    • 13. 发明专利
    • Image Sensor Structure
    • AU2021203485A1
    • 2021-07-01
    • AU2021203485
    • 2021-05-28
    • ILLUMINA INC
    • CAI XIUYUAGAH ALIFUNG TRACY HDEHLINGER DIETRICH
    • H01L27/146
    • A method is disclosed, comprising: etching an array of light guide apertures into a device stack, the device stack disposed over an image layer, the image layer comprising an array of light detectors disposed therein; forming an array of light guides in the light guide apertures, each light guide associated with at least one light detector of the array of light detectors; disposing a 1 tpassivation layer over the array of light guides, such that a bottom surface of the 14 passivation layer is in direct contact with a top surface of the light guides; disposing a 14 chemical protection layer over the 1 tpassivation layer, the 1 chemical protection layer and 14 passivation layer comprising at least a portion of a passivation stack; forming an array of nanowells in a top layer of the passivation stack, each nanowell associated with a light guide of the array of light guides; and disposing a crosstalk blocking metal structure within the passivation stack, wherein the crosstalk blocking metal structure reduces crosstalk within the passivation stack.
    • 20. 发明专利
    • DISPOSITIVOS DE DETECCIÓN DE LUZ CON DOS FILTROS Y MÉTODOS RELACIONADOS CON LOS MISMOS
    • CR20190583A
    • 2020-02-26
    • CR20190583
    • 2018-11-20
    • ILLUMINA INC
    • CAI XIUYU
    • H01L27/146
    • Se proporcionan dispositivos de detección de luz y métodos correspondientes. El dispositivo incluye una estructura de reacción para contener una solución de reacción y al menos un sitio de reacción que genera emisiones de luz en respuesta a la luz de excitación incidente después del tratamiento con la solución de reacción. Los dispositivos también incluyen una pluralidad de sensores de luz y circuitería del dispositivo. Los dispositivos incluyen además una pluralidad de guías de luz que se extienden hacia al menos un sensor de luz correspondiente desde las regiones de entrada que reciben la luz de excitación y las emisiones de luz desde al menos un rebaje de reacción correspondiente. Las guías de luz comprenden una primera región de filtro que filtra la luz de excitación y permite que las emisiones de luz de una primera longitud de onda pasen hasta el al menos un sensor de luz correspondiente y una segunda región de filtro que filtra la luz de excitación y que permite que las emisiones de luz de una segunda longitud de onda pasen hasta el al menos un sensor de luz correspondiente.