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    • 11. 发明申请
    • 기판 프로세싱 장치
    • 基板加工设备
    • WO2016080729A1
    • 2016-05-26
    • PCT/KR2015/012337
    • 2015-11-17
    • 주식회사 테라세미콘
    • 이병일박경완강호영박준규
    • H01L21/02H01L21/324H01L21/67
    • H01L21/02H01L21/324H01L21/67
    • 기판 프로세싱 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 프로세싱 장치는, 기판 프로세싱 장치로서, 챔버(101) 내에 기판 프로세싱 가스를 공급하는 가스 인릿(inlet; 300); 챔버(101) 내의 기판 프로세싱 가스를 외부로 배출하는 가스 아웃릿(outlet; 400); 챔버(101) 내에 배치되며 챔버(101) 내부를 가열하는 히터(200); 및 챔버(101)의 외측면에 배치되며 챔버벽의 온도를 제어하는 온도 컨트롤러(500)를 포함하며, 온도 컨트롤러(500)는, 상기 챔버 내에서 기화되거나 건조되는 기판 상의 물질이 챔버(101)의 내벽에 응축되지 않도록, 챔버(101)의 내벽의 온도를 50℃ 내지 250℃로 유지하는 것을 특징으로 한다.
    • 公开了一种基板处理装置。 根据本发明的基板处理装置包括:用于将基板处理气体引入到室(101)中的入口(300); 用于将所述室(101)内的基板处理气体排出到外部的出口(400) 设置在所述腔室(101)内的加热器,用于加热所述腔室(101)的内部; 以及设置在所述室(101)的外表面上用于控制所述室壁温度的温度控制器(500),其中所述温度控制器(500)保持所述室(101)的内壁的温度 ),使得在室内蒸发或干燥的基板上的材料不会在室(101)的内壁上冷凝。
    • 14. 发明授权
    • 숯불구이기
    • 木炭火炉
    • KR101349175B1
    • 2014-01-16
    • KR1020100048431
    • 2010-05-25
    • 강호영
    • 강호영
    • A47J37/07
    • Y02A40/928
    • 본 발명은 숯불구이기의 화덕의 중부 양측에 수용공을 형성시킴과 아울러 각각의 수용공에 구리의 전기봉 또는 청동의 전기봉 또는 황동의 전기봉을 설치함으로써, 전기봉의 가열에 의해 화덕 내부에 안착된 숯을 용이하게 착화시킬 수 있도록 한 숯불구이기에 관한 것으로, 이러한 본 발명은 송풍기(128)의 일측 외면에 길이방향으로 설치되어 송풍기(128)가 화덕(112) 방향으로 슬라이딩 될 때, 지지프레임(104)의 제1관통공(108)을 통과하여 화덕(112)의 제1수용공(114)에 수용되는 원통형상의 안내부(136)와; 제어부(124)에 전기적으로 연결되어 원통형상의 안내부(136)의 내부에 길이방향으로 위치되되, 그 몸체의 일단부는 송풍기(128)의 외면에 설치되어 원통형상의 안내부(136)가 화덕(112)의 제1수용공(114)에 수용될 때, 화덕(112)의 적재부(118)의 상면에 안착된 숯(120)에 면접되고, 제어부(124)의 제어신호에 의해 가열되어 숯(120)을 착화하는 제1전기봉(138)과; 제어부(124)에 전기적으로 연결되되, 지지프레임(104)의 제2관통공(110)을 통과하여 화덕(112)의 제2수용공(116)에 수용되어 설치될 때, 화덕(112)의 적재부(118)의 상면에 안착된 숯(120)에 면접되고, 제어부(124)의 제어신호에 의해 가열되어 숯(120)을 착화하는 제2전기봉(140)으로 구성된다.
    • 16. 发明公开
    • 숯불구이기
    • CHARCOAL FIRE ROASTER
    • KR1020110129033A
    • 2011-12-01
    • KR1020100048431
    • 2010-05-25
    • 강호영
    • 강호영
    • A47J37/07
    • Y02A40/928A47J37/079A47J37/0754
    • PURPOSE: A charcoal grilling device is provided to easily light a fire to the charcoal settled inside a cooking stove by installing brass and copper electric rod in the acceptation hole of a cooking stove. CONSTITUTION: A charcoal grilling device comprises first and second through-holes, a cylindrical guide portion(136), first and second acceptation holes, a stacking unit(118), a charcoal(120), a controller(124), a power on/off switching unit, a blower(128), a blower motor(130), an airflow controller, a sliding unit(134), a first electrical rod, a second electric rod(140) and a heat blocking board. The airflow controller is electrically connected to the controller and controls the airflow of the blower according to the signal of the controller. The sliding unit moves the blower forward and back with the control signal of the controller to a cooking stove(112). When the blower is sliding to the cooking stove, the cylindrical guide portion passes the first through-hole of a supporting frame(104) and is accepted to a fist acceptation hole(114) of the cooking stove. The first and second electric rods are heated with the control signal of the controller and the fire is lighted to the charcoal. In the inner circumference of the cooking stove and supporting frame, the heat blocking board which blocks the heat is installed.
    • 目的:提供一种木炭烧烤装置,通过在烹饪炉的接受孔中安装黄铜和铜电杆,轻轻地将火放在烹饪炉内放置的木炭上。 构成:木炭烧烤装置包括第一和第二通孔,圆柱形引导部分(136),第一和第二接受孔,堆叠单元(118),木炭(120),控制器(124),通电 开关单元,鼓风机(128),鼓风机马达(130),气流控制器,滑动单元(134),第一电杆,第二电杆(140)和隔热板。 气流控制器电连接到控制器,并根据控制器的信号控制鼓风机的气流。 滑动单元利用控制器的控制信号将鼓风机向前和向后移动到烹饪炉(112)。 当鼓风机滑动到烹饪炉时,圆柱形引导部分穿过支撑框架(104)的第一通孔并被接受到烹饪炉的第一接纳孔(114)。 第一和第二电杆用控制器的控制信号加热,并且火焰被点燃到木炭上。 在烹饪炉和支撑框架的内周安装有阻止热量的隔热板。