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11. 发明公开

KR1020130129723A 금속 산화물 반도체를 구비하는 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 审中-实审
标题翻译：具有金属氧化物半导体的薄膜晶体管衬底及其制造方法
公开(公告)号：KR1020130129723A
公开(公告)日：2013-11-29
申请号：KR1020120053796
申请日：2012-05-21
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 남승희 , 류순성 , 송태준 , 김남국 , 문태형
IPC分类号： H01L29/786
CPC分类号： H01L29/7869 , H01L27/1225 , H01L27/1288 , H01L29/66742 , H01L29/78606
摘要： The present invention relates to a thin film transistor substrate for a flat display device having a metal oxide semiconductor and a manufacturing method thereof. The thin film transistor substrate including an oxide semiconductor layer according to the present invention comprises a gate electrode formed on a substrate; a gate insulating film covering the gate electrode; a semiconductor channel layer overlapped with the gate electrode on the gate insulating film; an etch stopper overlapped with the part of the center of the gate electrode on the semiconductor channel layer; a first source electrode contacting one side wall of the etch stopper and one side of the semiconductor channel layer; and a first drain electrode contacting the other side wall, which is facing the first source electrode, of the etch stopper and the other side of the semiconductor channel layer.
摘要翻译：本发明涉及一种具有金属氧化物半导体的平板显示装置用薄膜晶体管基板及其制造方法。包括根据本发明的氧化物半导体层的薄膜晶体管衬底包括形成在衬底上的栅电极; 覆盖栅电极的栅极绝缘膜; 半导体沟道层与栅极绝缘膜上的栅电极重叠; 蚀刻停止件，与半导体沟道层上的栅电极的中心部分重叠; 与所述蚀刻停止器的一个侧壁和所述半导体沟道层的一侧接触的第一源电极; 以及与蚀刻停止器和半导体沟道层的另一侧接触面对第一源电极的另一个侧壁的第一漏电极。

12. 发明授权

KR101323235B1 임프린팅 장치 및 이를 이용한 임프린팅 방법 有权
标题翻译：印刷装置及使用其的印刷方法
公开(公告)号：KR101323235B1
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：KR1020100053282
申请日：2010-06-07
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 장두희 , 송태준 , 권당 , 조항섭 , 조성필 , 김호수 , 장진희
IPC分类号： B29C59/02 , B29C33/24 , B29C33/38
CPC分类号： B29C59/026 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L21/6838
摘要： 본 발명은 기판에 패턴을 형성하는 공정이 이루어지는 챔버유닛; 상기 챔버유닛에 설치되고, 수지층이 형성된 기판을 지지하기 위한 스테이지; 상기 스테이지 상측에 위치되게 상기 챔버유닛에 설치되고, 기판에 패턴이 형성되도록 수지층을 변형시키기 위한 몰드부재가 부착되는 설치부재; 및 상기 챔버유닛에 설치되고, 상기 스테이지에 지지된 기판을 상기 스테이지로부터 이격시키기 위한 유체를 분사하는 제1분사유닛을 포함하는 임프린팅 장치 및 임프린팅 방법에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 스테이지가 갖는 평탄도가 기판에 패턴을 형성하는 공정에 영향을 미치는 것을 방지함으로써 기판에 발생되는 얼룩의 양을 줄일 수 있고, 평탄도가 우수한 고가의 스테이지를 사용하지 않더라도 향상된 품질을 갖는 기판을 제조할 수 있으므로 기판에 패턴을 형성하는 공정에 대한 공정비용을 절감할 수 있다.

13. 发明授权

KR101309865B1 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR101309865B1
公开(公告)日：2013-09-16
申请号：KR1020090129801
申请日：2009-12-23
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 송태준 , 조성필
IPC分类号： G02F1/13 , H01L21/027
CPC分类号： B29C59/026 , B29C2035/0822 , B29C2035/0827 , G02F1/1303
摘要： 본 발명은 임프린트용 몰드와 기판의 얼라인시 오차를 최소화할 수 있는 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 평판 표시 소자의 제조 장치는 기판이 안착되는 스테이지와; 돌출부와 홈을 가지며, 상기 기판과 합착되어 상기 기판 상에 박막 패턴을 형성하는 임프린트용 몰드와; 상기 기판과 상기 임프린트용 몰드의 합착시 상기 임프린트용 몰드의 측면을 고정하며 상기 임프린트용 몰드와 접촉하는 면이 쐐기 형태로 형성되는 몰드 고정부와; 상기 임프린트용 몰드의 배면 가장자리가 안착되는 거치대를 구비하며, 상기 기판과 상기 임프린트용 몰드의 합착시, 상기 임프린트용 몰드 및 상기 임프린트용 몰드와 정렬된 상기 기판이 안착된 스테이지는 상기 거치대의 높이 이상까지 상승한다.
임프린트용 몰드, 몰드 고정부

14. 发明授权

KR101182318B1 횡전계형 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법 有权
标题翻译：平面切换模式液晶显示装置及其制造方法
公开(公告)号：KR101182318B1
公开(公告)日：2012-09-20
申请号：KR1020050009067
申请日：2005-02-01
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 송태준 , 박승렬
IPC分类号： G02F1/1343 , G02F1/1339
摘要： 본 발명은 유기 보호막을 포함하는 액정 표시 장치의 터치 불량을 해결한 횡전계형 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 횡전계형 액정 표시 장치는 서로 대향하는 제 1 기판 및 제 2 기판과, 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차부에 형성된 박막 트랜지스터와, 상기 게이트 라인과 상기 데이터 라인의 층간에 형성된 게이트 절연막과, 상기 데이터 라인을 포함한 게이트 절연막 상부에 형성된 유기 보호막과, 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 전기적으로 연결되며 상기 유기 보호막 상의 화소 영역에 형성된 화소 전극과 상기 화소 전극과 교번하여 형성된 공통 전극과, 상기 화소 전극과 동일층이며, 상기 게이트 라인 상부에 형성된 투명 전극 패턴과, 상기 화소 전극, 공통 전극 및 투명 전극 패턴 하부의 유기 보호막 사이에 정의되는 애슁부와, 상기 제 2 기판 상에 형성된 컬러 필터 어레이와, 상기 투명 전극 패턴에 대응되어 형성된 칼럼 스페이서 및 상기 제 1, 제 2 기판 사이에 충진된 액정층을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
터치 불량, 칼럼 스페이서, 애슁(ashing), 유기 보호막, 투명 전극 패턴, 고개율

15. 发明授权

KR101146381B1 액정 표시 장치의 러빙 장치 및 러빙 방법 有权
标题翻译：液晶显示装置的摩擦装置及其摩擦方法
公开(公告)号：KR101146381B1
公开(公告)日：2012-05-17
申请号：KR1020050069500
申请日：2005-07-29
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 노소영 , 송태준
IPC分类号： G02F1/1337
摘要： A rubbing apparatus for an LCD and a rubbing method using the same are provided to reduce the tact time of a rubbing process, by rubbing the entire surface of a flexible substrate at a single time such that a rubbing cloth is entirely contacted with an upper surface of the flexible substrate. A rubbing cloth(130) is wound on the outer circumferential surface of a rubbing roll(120). A substrate(110) is distanced from the outer circumferential surface of the rubbing roll at a predetermined distance. A robot arm(151) is configured to support the substrate, wherein the robot arm picks up the substrate with tongs. A flexible substrate is used for the substrate. The flexible substrate is formed of PC(PolyCarbonate) or PES(PolyEtherSulfonate).

16. 发明公开

KR1020110121172A 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법 有权
标题翻译：制造平板显示装置的装置和方法
公开(公告)号：KR1020110121172A
公开(公告)日：2011-11-07
申请号：KR1020100040645
申请日：2010-04-30
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 송태준 , 권당 , 조항섭 , 조성필 , 김호수 , 장두희
IPC分类号： H01L21/027 , G02F1/13
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , Y10T156/1132 , Y10T156/1944 , H01L21/0274 , G02F1/1303
摘要： PURPOSE: An apparatus for manufacturing a flat panel display device and a manufacturing method thereof are provided to improve productivity by reducing a process time by decreasing an isolating time for separating a mold for imprinting from a substrate. CONSTITUTION: A stage(2) adsorbs a substrate(4) through a vacuum line(20). A mold(12) for imprinting forms a thin film pattern(6). The mold for imprinting includes a mold part(8) and a backplane(10) which supports the mold part. A plurality of adsorption pads(14,15) vacuum-absorbs the mold for imprinting. A plurality of vacuum pins(16) is fixed and coupled with the adsorption pads and vertically moves.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造平板显示装置的装置及其制造方法，以通过减少用于从基板分离用于印模的模具的隔离时间来缩短处理时间来提高生产率。构成：阶段（2）通过真空管线（20）吸附衬底（4）。用于压印的模具（12）形成薄膜图案（6）。用于压印的模具包括支撑模具部件的模具部件（8）和背板（10）。多个吸附垫（14,15）对模具进行真空吸收以进行压印。多个真空销（16）固定并与吸附垫耦合并且垂直移动。

17. 发明公开

KR1020100006413A 표시 패널 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：显示面板及其制作方法
公开(公告)号：KR1020100006413A
公开(公告)日：2010-01-19
申请号：KR1020080066627
申请日：2008-07-09
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 송태준
IPC分类号： G02F1/1339 , G06F3/041
CPC分类号： G02F1/1339 , G06F3/0412 , G06F2203/04103
摘要： PURPOSE: A display panel and a method of fabricating thereof are provided to eliminate a touch panel by detecting the input position of user through the electrode for the spacer for a touch sensor and a touch sensor. CONSTITUTION: An organic insulating material covers a thin film transistor. An organic protection film(118) exposes a drain electrode(110) of the thin film transistor. A spacer for cell gap(130) keeps the cell gap between the lower plate(101) and the upper plate(111). A spacer(134) for touch sensor is formed at the spacer for the cell gap and the other height(H2). A pixel electrode(122) is connected on the organic protection film through the contact hole(120) with the drain electrode. An electrode(136) for the touch sensor is connected on the spacer for the touch sensor with the touch of user by the common electrode(158).
摘要翻译：目的：提供显示面板及其制造方法，通过检测用户通过用于触摸传感器和触摸传感器的间隔件的电极来检测用户的输入位置来消除触摸面板。构成：有机绝缘材料覆盖薄膜晶体管。有机保护膜（118）暴露薄膜晶体管的漏电极（110）。用于单元间隙（130）的间隔件保持下板（101）和上板（111）之间的单元间隙。在间隔件处形成用于触摸传感器的间隔物（134），用于单元间隙和另一高度（H2）。像素电极（122）通过与漏电极的接触孔（120）连接在有机保护膜上。用于触摸传感器的电极（136）通过公共电极（158）触摸用户而连接在用于触摸传感器的间隔件上。

18. 发明公开

KR1020070027783A 합금막 형성 장치 및 그를 이용한 합금막 형성방법 有权
标题翻译：制造合金膜的设备及使用该方法制造合金膜的方法
公开(公告)号：KR1020070027783A
公开(公告)日：2007-03-12
申请号：KR1020050079593
申请日：2005-08-29
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 송태준 , 김강석
IPC分类号： C23C14/34
摘要： An alloy film forming which forms an alloy film with a uniform composition therein, forms alloy films with various compositions, and reduce time properly and cost in the formation of the alloy film, and a method for forming the alloy film using the same are provided. An equipment for forming an alloy film(27) comprises: a substrate holder(21) for loading a substrate(20) on one face thereof; a heating chamber(22) for heating the substrate before forming a film on the substrate; a deposition chamber(23) having a plurality of backing plates(24) therein, and first to n th target films(25a,25b) as unit target films alternately adhered onto one faces of the backing plates; a cooling chamber(28) for cooling the substrate passing through the deposition chamber; and first to n th power supply lines(26a,26b) commonly connected to the first to n th target films such that a common DC(direct current) is applied to the same target films among the first to n th target films.
摘要翻译：形成其中具有均匀组成的合金膜的合金膜形成形成具有各种组成的合金膜，并且适当地缩短时间并且在合金膜的形成中成本低，并且提供了使用其形成合金膜的方法。一种用于形成合金膜（27）的设备包括：用于在其一个面上装载基板（20）的基板保持架（21）加热室（22），用于在所述基板上形成膜之前加热所述基板; 其中具有多个背板（24）的沉积室（23）和作为单位靶膜的第一至第n目标膜（25a，25b）交替地粘附到所述背板的一个面上; 用于冷却通过沉积室的基板的冷却室（28）; 以及与第一至第n目标膜共同连接的第一至第n电源线（26a，26b），使得向第一至第n目标膜中的相同目标膜施加公共DC（直流）。

19. 发明公开

KR1020060121453A 액정표시장치용 기판 및 형성방법 无效
标题翻译：一种液晶基板及其制造方法
公开(公告)号：KR1020060121453A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：KR1020050043639
申请日：2005-05-24
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 노소영 , 김강석 , 송태준
IPC分类号： G02F1/1335
CPC分类号： G02F1/133512 , G02F1/133514
摘要： A substrate for an LCD and a method for manufacturing the same are provided to simplify the manufacturing process of the LCD, by forming a conductive black matrix serving as a conductive layer and a black matrix on a rear surface of the substrate through a single process. A plurality of pixel regions(P) are defined on an insulating substrate. Color filters(351,352,353) are formed on a first surface(350) of the insulating substrate correspondingly to the pixel regions. A conductive black matrix(364) is formed on a second surface of the insulating substrate. The conductive black matrix has openings corresponding to the pixel regions. The conductive black matrix is connected to an external case.
摘要翻译：提供了一种用于LCD的基板及其制造方法，以通过单一工艺在基板的后表面上形成用作导电层和黑矩阵的导电黑矩阵来简化LCD的制造工艺。多个像素区域（P）被限定在绝缘基板上。彩色滤光片（351,352,353）与像素区域对应地形成在绝缘衬底的第一表面（350）上。在绝缘基板的第二表面上形成导电黑矩阵（364）。导电黑矩阵具有与像素区对应的开口。导电黑矩阵连接到外壳。

20. 发明授权

KR102245995B1 박막트랜지스터 어레이 기판 및 그의 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102245995B1
公开(公告)日：2021-04-29
申请号：KR1020130114113
申请日：2013-09-25
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 이경하 , 송태준 , 문태형 , 이규황 , 김정준
IPC分类号： H01L29/786 , H01L21/336 , H01L21/768
摘要： 본원의일 실시예는게이트라인및 데이터라인의저항을용이하게감소시킬수 있는박막트랜지스터어레이기판에관한것으로, 기판상에일 방향으로형성되는게이트라인; 상기기판상의전면에형성되어, 상기게이트라인을덮는게이트절연막; 각화소영역이정의되도록, 상기게이트절연막상에, 상기게이트라인에교차하는다른일 방향으로형성되는데이터라인; 상기게이트절연막상의전면에형성되어, 상기데이터라인을덮는층간절연막; 상기게이트절연막및 상기층간절연막을관통하여상기게이트라인의일부를노출하는제 1 콘택부의적어도일부를메우는형태로형성되는제 1 도금패턴; 및상기층간절연막을관통하여상기데이터라인의일부를노출하는제 2 콘택부의적어도일부를메우는형태로형성되는제 2 도금패턴을포함하는박막트랜지스터어레이기판을제공한다.

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