专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

11. 发明专利

TW201326012A 在電子裝置製造中經調適以傳送雙基材的機器人系統、設備和方法审中-公开
简体标题：在电子设备制造中经调适以发送双基材的机器人系统、设备和方法
公开(公告)号：TW201326012A
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：TW101140545
申请日：2012-11-01
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：克瑞摩曼易茲亞 , KREMERMAN, IZYA , 哈德俊傑佛利C , HUDGENS, JEFFREY C. , 卡克斯戴蒙凱斯 , COX, DAMON KEITH
IPC分类号： B65G47/88
CPC分类号： H01L21/67742 , B25J9/043 , B25J9/044 , H01L21/67754
摘要：本發明描述了基材傳送系統及機器人設備。系統經調適以藉由相對於彼此及基座獨立地旋轉上臂、前臂及雙腕部構件以在目的地高效地拾取或置放基材。本發明提供了操作機器人設備之方法，亦提供眾多其他態樣。
简体摘要：本发明描述了基材发送系统及机器人设备。系统经调适以借由相对于彼此及基座独立地旋转上臂、前臂及双腕部构件以在目的地高效地十取或置放基材。本发明提供了操作机器人设备之方法，亦提供众多其他态样。

12. 发明专利

TW201314828A 經調適於電子裝置製造中運輸基板的機器人系統、設備與方法审中-公开
简体标题：经调适于电子设备制造中运输基板的机器人系统、设备与方法
公开(公告)号：TW201314828A
公开(公告)日：2013-04-01
申请号：TW101127753
申请日：2012-08-01
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：布羅汀傑佛瑞A , BRODINE, JEFFREY A. , 哈德俊傑佛利C , HUDGENS, JEFFREY C. , 克瑞摩曼易茲亞 , KREMERMAN, IZYA
IPC分类号： H01L21/677 , B25J18/04 , B25J9/12
CPC分类号： H01L21/67742 , B25J9/04 , B25J9/041 , B25J9/042 , H01L21/67766
摘要：在此說明基板運輸系統、設備與方法。該些系統經調適以有效率地於一目的地取放基板，藉由旋轉一吊桿連接裝置至鄰近該目的地的一位置，接著獨立地促動一上臂連結外殼以及一或更多腕部構件，以於該目的地取放一或更多基板，其中該腕部構件係相對於該前臂連結外殼獨立地經促動，而該前臂連結構件的動作係於運動學上連結至該上臂連結外殼的動作。在此提供多種其他態樣。
简体摘要：在此说明基板运输系统、设备与方法。该些系统经调适以有效率地于一目的地取放基板，借由旋转一吊杆连接设备至邻近该目的地的一位置，接着独立地促动一上臂链接外壳以及一或更多腕部构件，以于该目的地取放一或更多基板，其中该腕部构件系相对于该前臂链接外壳独立地经促动，而该前臂链接构件的动作系于运动学上链接至该上臂链接外壳的动作。在此提供多种其他态样。

13. 发明专利

TW202022974A 運輸系統审中-公开
简体标题：运输系统
公开(公告)号：TW202022974A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：TW108135855
申请日：2019-10-03
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：纽曼傑寇柏 , NEWMAN, JACOB , 奧登朵夫烏爾利希 , OLDENDORF, ULRICH , 艾尼斯馬丁 , AENIS, MARTIN , 康斯坦特安德魯J , CONSTANT, ANDREW J. , 艾薩福薛伊 , ASSAF, SHAY , 休根斯傑佛瑞C , HUDGENS, JEFFREY C. , 伯格艾力克斯 , BERGER, ALEX , 韋佛爾威廉T , WEAVER, WILLIAM T.
IPC分类号： H01L21/677
摘要：本文的實施例相關於運輸系統和基板處理及傳送(SPT)系統。SPT系統包含連接兩個處理工具的運輸系統。運輸系統包含真空隧道，真空隧道經配置以在處理工具之間運輸基板。真空隧道包含基板運輸載具，以移動基板通過真空隧道。SPT系統具有多種配置以允許使用者根據期望的基板處理程序所需的處理腔室來增加或移除處理腔室。
简体摘要：本文的实施例相关于运输系统和基板处理及发送(SPT)系统。SPT系统包含连接两个处理工具的运输系统。运输系统包含真空隧道，真空隧道经配置以在处理工具之间运输基板。真空隧道包含基板运输载具，以移动基板通过真空隧道。SPT系统具有多种配置以允许用户根据期望的基板处理进程所需的处理腔室来增加或移除处理腔室。

14. 发明专利

TW202004957A 用於基板處理的混合平台式裝置、系統，以及方法审中-公开
简体标题：用于基板处理的混合平台式设备、系统，以及方法
公开(公告)号：TW202004957A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：TW108127932
申请日：2014-09-25
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：萊斯麥可R , RICE, MICHAEL R. , 休根斯傑佛瑞C , HUDGENS, JEFFREY C.
IPC分类号： H01L21/67
摘要：一種電子裝置製造系統可包括主框架，不同尺寸的一或多個處理腔室可與其耦接。不同數量的處理腔室可與主框架的各個小面（即側壁）耦接。與一個小面耦接的處理腔室相較於與其他小面耦接的處理腔室可係不同尺寸。例如，第一尺寸的一個處理腔室可與第一小面耦接，不同於第一尺寸的第二尺寸之兩個處理腔室的各個可與第二小面耦接，不同於第一尺寸及第二尺寸的第三尺寸之三個處理腔室的各個可與第三小面耦接。可能有其他配置。主框架可具有正方形或矩形形狀。亦提供組合電子裝置製造系統的方法，如其他態樣。
简体摘要：一种电子设备制造系统可包括主框架，不同尺寸的一或多个处理腔室可与其耦接。不同数量的处理腔室可与主框架的各个小面（即侧壁）耦接。与一个小面耦接的处理腔室相较于与其他小面耦接的处理腔室可系不同尺寸。例如，第一尺寸的一个处理腔室可与第一小面耦接，不同于第一尺寸的第二尺寸之两个处理腔室的各个可与第二小面耦接，不同于第一尺寸及第二尺寸的第三尺寸之三个处理腔室的各个可与第三小面耦接。可能有其他配置。主框架可具有正方形或矩形形状。亦提供组合电子设备制造系统的方法，如其他态样。

15. 发明专利

TW202003173A 多葉片機器人設備、電子裝置製造設備及適用以在電子裝置製造中運輸多個基板的方法审中-公开
简体标题：多叶片机器人设备、电子设备制造设备及适用以在电子设备制造中运输多个基板的方法
公开(公告)号：TW202003173A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：TW108117101
申请日：2019-05-17
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：休根斯傑佛瑞C , HUDGENS, JEFFREY C. , 萊斯麥可R , RICE, MICHAEL R. , 慕蘇坎齊卡瑞普賽彌 , MUTHUKAMATCHI, KARUPPASAMY , 馬利尼爾 , MERRY, NIR
IPC分类号： B25J9/08
摘要：本案描述了電子裝置製造設備和機器人設備。設備經配置以有效地拾取和放置基板，其中機器人設備包括上臂和獨立可旋轉的三個葉片B1、B2、B3。三個葉片經配置以服務第一雙裝載閘和第二雙裝載閘，其中每個雙裝載閘包括不同的間距。在一些實施例中，第一間距P1小於第二間距P2。葉片B2和B3（或選擇性地葉片B1和B2）可以以間距P1服務第一雙裝載閘，且葉片B1和B3可以服務包括第二間距P2的第二雙裝載閘。提供了操作電子裝置製造設備和機器人設備的方法，以及許多其他態樣。
简体摘要：本案描述了电子设备制造设备和机器人设备。设备经配置以有效地十取和放置基板，其中机器人设备包括上臂和独立可旋转的三个叶片B1、B2、B3。三个叶片经配置以服务第一双装载闸和第二双装载闸，其中每个双装载闸包括不同的间距。在一些实施例中，第一间距P1小于第二间距P2。叶片B2和B3（或选择性地叶片B1和B2）可以以间距P1服务第一双装载闸，且叶片B1和B3可以服务包括第二间距P2的第二双装载闸。提供了操作电子设备制造设备和机器人设备的方法，以及许多其他态样。

16. 发明专利

TWI629739B 用於基板處理的混合平台式裝置、系統，以及方法有权
简体标题：用于基板处理的混合平台式设备、系统，以及方法
公开(公告)号：TWI629739B
公开(公告)日：2018-07-11
申请号：TW103133255
申请日：2014-09-25
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：萊斯麥可R , RICE, MICHAEL R. , 休根斯傑佛瑞C , HUDGENS, JEFFREY C.
IPC分类号： H01L21/67

17. 发明专利

TWI538088B 經調適於電子裝置製造中運輸基板的機器人系統、設備與方法有权
简体标题：经调适于电子设备制造中运输基板的机器人系统、设备与方法
公开(公告)号：TWI538088B
公开(公告)日：2016-06-11
申请号：TW101127753
申请日：2012-08-01
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：布羅汀傑佛瑞A , BRODINE, JEFFREY A. , 哈德俊傑佛利C , HUDGENS, JEFFREY C. , 克瑞摩曼易茲亞 , KREMERMAN, IZYA
IPC分类号： H01L21/677 , B25J18/04 , B25J9/12
CPC分类号： H01L21/67742 , B25J9/04 , B25J9/041 , B25J9/042 , H01L21/67766

18. 发明专利

TWI461342B 運送基板承載件之方法與設備,及輸送器設備有权
简体标题：运送基板承载件之方法与设备,及输送器设备
公开(公告)号：TWI461342B
公开(公告)日：2014-11-21
申请号：TW097140527
申请日：2008-10-22
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：沙許文尼K , SHAH, VINAY K. , 哈德俊傑佛利C , HUDGENS, JEFFREY C.
IPC分类号： B65G15/44
CPC分类号： B65G15/44 , B65G15/56

19. 发明专利

TW201432782A 處理腔室氣體流動的裝置、系統及方法审中-公开
简体标题：处理腔室气体流动的设备、系统及方法
公开(公告)号：TW201432782A
公开(公告)日：2014-08-16
申请号：TW102143863
申请日：2013-11-29
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：馬利尼爾 , MERRY, NIR , 賽帕寇錢德肯特M , SAPKALE, CHANDRAKANT M. , 慕蘇坎齊卡瑞普賽彌 , MUTHUKAMTCHI, KARUPPASAMY , 休根斯傑佛瑞C , HUDGENS, JEFFREY C. , 肯可那潘契拉N , KANKANLA, PENCHALA N.
IPC分类号： H01L21/02 , G05D16/10 , G05D16/16 , H01L21/205 , H01L21/3063
CPC分类号： F16K51/00 , C23C16/4412 , F16K1/24 , F16K31/00 , F16K51/02 , Y10T137/0318 , Y10T137/8593
摘要：本發明揭示具有可傾斜閥的處理腔室氣體流動控制裝置。該氣體流動裝置包括一處理腔室，適於包含一基板、一出口，其為包括一閥座的該處理腔室的出口，及一可傾斜閥，配置成適合相對於該閥座傾斜，以於該處理腔室中控制流動均勻性。本發明亦揭示包括該可傾斜閥裝置的系統與方法，具有許多的態樣。
简体摘要：本发明揭示具有可倾斜阀的处理腔室气体流动控制设备。该气体流动设备包括一处理腔室，适于包含一基板、一出口，其为包括一阀座的该处理腔室的出口，及一可倾斜阀，配置成适合相对于该阀座倾斜，以于该处理腔室中控制流动均匀性。本发明亦揭示包括该可倾斜阀设备的系统与方法，具有许多的态样。

20. 发明专利

TW201419439A 連結型真空處理工具及使用該工具之方法审中-公开
简体标题：链接型真空处理工具及使用该工具之方法
公开(公告)号：TW201419439A
公开(公告)日：2014-05-16
申请号：TW102128503
申请日：2013-08-08
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：英格哈德特艾力克A , ENGLHARDT, ERIC A. , 蘇達若士基史提夫 , SZUDARSKI, STEVE , 康林紐斯安德魯史考特 , CORNELIUS, ANDREW SCOTT , 普立阿米塔布 , PURI, AMITABH , 萊斯麥可羅伯特 , RICE, MICHAEL ROBERT , 哈德俊傑佛利C , HUDGENS, JEFFREY C. , 珊索尼史蒂芬V , SANSONI, STEVEN V. , 迪寇提尼斯羅伯艾文 , DECOTTIGNIES, ROBERT IRWIN , 拉雷克丁亥C , HRUZEK, DEAN C. , 艾恩彼得 , IRWIN, PETER , 馬利尼爾 , MERRY, NIR
IPC分类号： H01L21/677 , B65G43/08
CPC分类号： H01L21/67739 , H01L21/67161 , H01L21/67184
摘要：在一些實施例中，提供一種連結型處理工具系統，該連結型處理工具系統包括(1)第一處理工具，該第一處理工具具有經設置以耦接至複數個處理腔室之至少一第一移送室；(2)第二處理工具，該第二處理工具具有經設置以耦接至複數個處理腔室之至少一第二移送室；(3)第三移送室，該第三移送室耦接在第一處理工具與第二處理工具之間，且經設置以在第一處理工具與第二處理工具之間移送基板；以及(4)單一序列器，該序列器控制連結型處理工具系統之第一處理工具、第二處理工具與第三移送室之間的基板移送操作。本文提供了許多其他態樣。
简体摘要：在一些实施例中，提供一种链接型处理工具系统，该链接型处理工具系统包括(1)第一处理工具，该第一处理工具具有经设置以耦接至复数个处理腔室之至少一第一移送室；(2)第二处理工具，该第二处理工具具有经设置以耦接至复数个处理腔室之至少一第二移送室；(3)第三移送室，该第三移送室耦接在第一处理工具与第二处理工具之间，且经设置以在第一处理工具与第二处理工具之间移送基板；以及(4)单一串行器，该串行器控制链接型处理工具系统之第一处理工具、第二处理工具与第三移送室之间的基板移送操作。本文提供了许多其他态样。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式