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11. 发明申请

WO2016128234A1 PRÜFVORRICHTUNG SOWIE VERFAHREN ZUM PRÜFEN EINES SPIEGELS 审中-公开
标题翻译：测试仪和检验方法一面镜子
公开(公告)号：WO2016128234A1
公开(公告)日：2016-08-18
申请号：PCT/EP2016/051957
申请日：2016-01-29
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , STIEPAN, Hans-Michael , HETZLER, Jochen , FUCHS, Sebastian
发明人： STIEPAN, Hans-Michael , HETZLER, Jochen , FUCHS, Sebastian
IPC分类号： G01M11/02 , G01B9/021 , G03F7/20
CPC分类号： G01M11/005 , G01B9/02038 , G01B9/02085 , G01B9/021 , G01M11/0271 , G03F7/706
摘要： Die Erfindung betrifft eine Prüfvorrichtung sowie ein Verfahren zum Prüfen eines Spiegels, insbesondere eines Spiegels einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, wobei die Prüfvorrichtung ein Computer-generiertes Hologramm (CGH) aufweist und wobei eine Prüfung zumindest einer Teilfläche des Spiegels durch interferometrische Überlagerung einer von diesem Computer-generierten Hologramm auf den Spiegel gelenkten Prüfwelle und einer Referenzwelle durchführbar ist. Hierbei ist das Computer-generierte Hologramm (CGH) (120, 320) derart ausgelegt, dass es im Betrieb der Vorrichtung eine erste Prüfwelle zur Prüfung einer ersten Teilfläche des Spiegels (101, 301) durch interferometrische Überlagerung mit einer Referenzwelle in einer ersten Position des Spiegels (101, 301) und wenigstens eine zweite Prüfwelle zur Prüfung einer zweiten Teilfläche des Spiegels (101, 301) durch interferometrische Überlagerung mit einer Referenzwelle in einer zweiten Position des Spiegels (101, 301) bereitstellt.
摘要翻译：本发明涉及一种测试装置和用于测试反射镜，尤其是一种微光刻投射曝光设备的反射镜，其中，所述测试仪包括一个计算机生成的全息图（CGH）的方法，并且其中，从该生成的计算机检查至少所述反射镜的部分区域通过的干涉叠加全息图可在反射镜引导的测试波和参考波来进行。这里，计算机生成的全息图（CGH）（120，320）被设计成使得在该装置的操作的第一测试波到反射镜（101，301）通过与参考波干涉叠加的第一部分表面的试验中的第一位置镜（101，301）和至少一个第二测试波在反射镜（101，301）提供的第二位置与参考波通过干涉叠加测试镜（101，301）的第二区域。

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