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    • 18. 发明专利
    • Electron beam lithography device and method
    • 电子束光刻设备及方法
    • JP2003077802A
    • 2003-03-14
    • JP2001264999
    • 2001-08-31
    • Fujitsu LtdFujitsu Quantum Devices Ltd富士通カンタムデバイス株式会社富士通株式会社
    • IKECHI NAOYAMAKIYAMA KOZOOGIRI KATSUMI
    • G03F7/20H01J37/305H01L21/027
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron beam lithography device and a method which is capable of drawing a pattern with high accuracy. SOLUTION: The system has a means 18 of moving a drawing region 10 defined on a sample so as to draw a pattern over regions, except a specified spot 16 within the region 10. On the specified spot 16, e.g. there is the possibility that a variable rectangular shot becomes or may become discontinuous. Except the specified spot 16, a pattern is drawn, to enable the pattern drawing without disconnection. This means is, e.g. one for moving a stage with the sample mounted thereon or one for moving the drawing area by electromagnetic deflection or may be one having a means of determining whether the pattern to be written locates at the specified spot by comparison of the pattern to be drawn with the coordinates of the drawing area.
    • 要解决的问题:提供一种能够高精度地绘制图案的电子束光刻装置和方法。 解决方案:系统具有移动限定在样本上的绘图区域10的装置18,以便在区域10内的特定斑点16之外的区域上绘制图案。 存在可变矩形镜头变成或可能变得不连续的可能性。 除了指定的点16之外,绘制图案,以使得图案绘制不断开。 这意味着例如。 用于移动具有安装在其上的样品的台面或用于通过电磁偏转移动绘图区域的台阶,或者可以是具有通过将要绘制的图案与要绘制的图案进行比较来确定要写入的图案位于指定点处的装置的装置 绘图区域的坐标。