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    • 125. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM VERMESSEN EINES MESSOBJEKTS MIT VERBESSERTER MESSGENAUIGKEIT UND VORRICHTUNG
    • 方法测量测量点提高了精度和设备
    • WO2017060454A1
    • 2017-04-13
    • PCT/EP2016/074042
    • 2016-10-07
    • CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH
    • JESTER, PhilippWIDULLE, FrankSINGER, Wolfgang
    • G01B9/08G01N21/00
    • G01B9/08G01N21/8806G01N21/8851G01N21/9515G01N2201/101G01N2201/121
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen einer Eigenschaft eines Messobjekts (14), insbesondere einer dimensionalen Eigenschaft des Messobjekts (14), mit den Schritten des Bereitstellens einer Vorrichtung (10), insbesondere eines Profilprojektors, mit einem Messobjektträger (12), wobei der Messobjektträger (12) eine Auflagefläche (13) zum Anordnen des Messobjekts (14) aufweist, und mit einer Bilderfassungseinrichtung (18), wobei die Bilderfassungseinrichtung (18) einen Bildsensor (20) und ein Objektiv (22) zum Abbilden des Messobjekts (14) auf den Bildsensor (20) aufweist, wobei das Objektiv (22) ein beidseitig telezentrisches Objektiv (22) ist, und wobei der Bildsensor (20) relativ zu der Auflagefläche (13) bewegbar ist; des Anordnens des Messobjekts (14) auf der Auflagefläche (13), des Bewegens des Bildsensors (20) relativ zu dem Messobjekt (14) in einem bildseitigen Telezentriebereich (44) des Objektivs (22) derart, dass eine auf den Bildsensor (20) mittels des Objektivs (22) abgebildete Fokalebene (50) durch einen das Messobjekt (14) zumindest teilweise aufweisenden Abschnitt eines objektseitigen Telezentriebereichs (46) des Objektivs (22) bewegt wird; und des Erfassens einer Mehrzahl von Bildern des Messobjekts (14) mittels der Bilderfassungseinrichtung (18) während des Schrittes des Bewegens des Bildsensors (20) relativ zu dem Messobjekt (14). Des Weiteren wird eine Vorrichtung (10), insbesondere ein verbesserter Profilprojektor bereitgestellt.
    • 本发明涉及一种用于确定测量对象(14)的特性,在测量对象(14)的特定的一个尺寸特征,包括提供装置(10)的步骤,特别是轮廓投影仪,测量滑动件(12),其中,所述 测量滑动件(12)具有用于放置被测物体(14)的支撑表面(13),并用图像捕获设备(18),其中,所述图像检测装置(18)的图像传感器(20)和用于成像测量对象的透镜(22)(14) 在图像传感器(20),其中所述透镜(22)是双远心透镜(22),并且其中,所述图像传感器(20)相对于所述支撑表面(13)是可移动的; 放置被测物体(14)移动所述图像传感器(20)相对于测量对象(14)在所述透镜的像侧远心的范围(44)(22),使得所述图像传感器(20)的支撑表面(13)上的 通过由测量对象物(14)至少部分地具有透镜的物体侧远心的范围(46)的一部分成像(50)的透镜焦平面(22)的装置(22)被移动; 并且在移动所述图像传感器(20)相对于测量对象(14)的步骤由成像装置(18)来检测的多个测量对象(14)的图像。 此外,一个装置(10),特别是一种改进的轮廓投影仪提供的。
    • 126. 发明申请
    • PROJECTION SYSTEM
    • 投影系统
    • WO2014128299A1
    • 2014-08-28
    • PCT/EP2014/053544
    • 2014-02-24
    • NIKON METROLOGY N.V.
    • THIELEMANS, Hans
    • H04N9/31B07C5/34B07C7/04G01N21/88G01N21/95G01B9/08G01B21/04G05B19/402
    • G01B11/002G01B11/02G01B21/047H04N9/3185H04N9/3194
    • The present invention relates to a metrology system (100) for dimensional measurement of an object (200) comprising a light-projection device (110), LPD, configured to project an image (112) onto the object (200); a position-measurement device (120), PMD, having a measurement volume, configured to determine the position and/or the orientation of the LPD (110) disposed within the measurement volume; a dimensional acquisition device (140), DAD, that is an optical non-contact probe rigidly attached to the LPD configured to acquire dimensional data of the object (200);and an adjustment unit (130) configured to adjust the projected image (112) to have an essentially static appearance in relation to the object (200), which adjustment is responsive to movement of the LPD (110) detected by the PMD (120); wherein the image projected by the LPD (110) conveys feedback information to the user responsive to dimensional acquisition by the DAD (140).
    • 本发明涉及一种用于物体(200)的尺寸测量的计量系统(100),其包括被配置为将图像投影到物体(200)上的光投射装置(110),LPD; 具有测量体积的位置测量装置(120),PMD,其被配置为确定设置在测量体积内的LPD(110)的位置和/或取向; 尺寸获取装置(DAD),其是刚性地附接到LPD的光学非接触式探针,其被配置为获取对象(200)的尺寸数据;以及调整单元(130),被配置为调整投影图像 )相对于对象(200)具有基本上静止的外观,该调节响应于由PMD(120)检测到的LPD(110)的移动; 其中由所述LPD(110)投射的图像响应于所述DAD(140)的尺寸获取而向所述用户传达反馈信息。