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91. 发明专利

DE102021204467A1 Mikromechanisches Schwingungssystem 未知
公开(公告)号：DE102021204467A1
公开(公告)日：2022-11-10
申请号：DE102021204467
申请日：2021-05-04
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PINTER STEFAN
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/02 , G02B26/08 , H02K33/18
摘要： Es wird ein Mikromechanisches Schwingungssystem (20) vorgeschlagen, welches einen mikromechanischen Schwingkörper (5) mit wenigstens einem Mikrospiegel (6), der um eine Drehachse (9) drehbar gelagert ist, aufweist. Zusätzlich weist das mikromechanische Schwingungssystem (20) eine elektromagnetische Antriebseinheit auf, die einen Spulenkörper (7) und eine Magneteinheit (29) aufweist. Die Magneteinheit (29) weist einen Magnetfluss leitenden Magnettopf (21) und einen Hartmagneten (22) auf, dessen Magnetisierung senkrecht zur Öffnung (18a) des Magnettopfs (21) liegt. Zusätzlich weist das mikromechanische Schwingungssystem (20) ein Gehäuse (24) zur Abdeckung des Mikrospiegels (6) gegenüber einer äußeren Umgebung auf. Zumindest ein Teil des Gehäuses (24) wird hierbei aus dem Magnettopf (21) und/oder dem Hartmagneten (22) ausgebildet.

92. 发明专利

DE102021206928A1 MEMS-OPTIKSCHALTER MIT EINEM CANTILEVER-KOPPLER 未知
公开(公告)号：DE102021206928A1
公开(公告)日：2022-01-05
申请号：DE102021206928
申请日：2021-07-01
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： CASPERS JAN NIKLAS , PINTER STEFAN , HUEBEL ALEXANDER , KUEPPERS HARTMUT , WANG NING , SCHELLING CHRISTOPH
IPC分类号： B81B7/02 , B81B3/00 , B81B7/04 , G01S7/481 , G02B6/12 , G02B26/08 , H01S5/42
摘要： Ein optischer Schalter umfasst einen von einem Substrat gestützten Buswellenleiter, einen über dem Buswellenleiter aufgehängten Kopplungswellenleiter, eine mit dem Kopplungswellenleiter gekoppelte und zu diesem benachbarte Reaktionselektrode, eine Betätigungselektrode, die vom Substrat gestützt wird und dazu eingerichtet ist, eine Position des Kopplungswellenleiters im Verhältnis zum Buswellenleiter über die Reaktionselektrode zu steuern, und eine optische Antenne, die mit dem Kopplungswellenleiter gekoppelt und in einer festen Distanz zum Buswellenleiter angeordnet ist. Wenn eine Spannungsdifferenz zwischen der Reaktionselektrode und der Betätigungselektrode kleiner als ein unterer Schwellenwert ist, wird der Kopplungswellenleiter in einer ersten Distanz zum Buswellenleiter positioniert, wenn die Spannungsdifferenz zwischen der Reaktionselektrode und der Betätigungselektrode größer als ein oberer Schwellenwert ist, wird der Kopplungswellenleiter in einer zweiten Distanz zum Buswellenleiter positioniert, und die zweite Distanz ist kleiner als die erste Distanz.

93. 发明专利

DE102018210850A8 Mikromechanische Drucksensorvorrichtung 未知
公开(公告)号：DE102018210850A8
公开(公告)日：2021-07-22
申请号：DE102018210850
申请日：2018-07-02
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PINTER STEFAN
IPC分类号： G01L7/04 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00 , G01L9/06

94. 发明专利

DE102019218819A1 Mikromechanisch-optisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanisch-optischen Bauteils 未知
公开(公告)号：DE102019218819A1
公开(公告)日：2021-06-10
申请号：DE102019218819
申请日：2019-12-03
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： SOLGA DANIEL , PINTER STEFAN , REINMUTH JOCHEN , MAJONI STEFAN
IPC分类号： B81C3/00 , B81C1/00 , H01S5/022
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisch-optisches Bauteil mit einem Glasdeckel (6), einem Abstandshalter (40) und einem Bauteilsubstrat (2),- wobei der Abstandshalter eine Ausnehmung aufweist, welche eine Kaverne (28) bildet, die von dem Glasdeckel und dem Bauteilsubstrat begrenzt ist,- wobei in der Kaverne ein optisches Halbleiterbauelement (1) angeordnet ist, welches an dem Bauteilsubstrat befestigt ist und dazu eingerichtet ist, optische Strahlung durch den Glasdeckel zu senden,- wobei der Abstandshalter und das Bauteilsubstrat mittels einer ersten stoffschlüssigen Verbindung (5) miteinander verbunden sind,- wobei der Glasdeckel und der Abstandshalter mittels einer zweiten stoffschlüssigen Verbindung (13) miteinander verbunden sind,- wobei an der ersten stoffschlüssigen Verbindung eine erste Absorptionsschicht (12) und an der zweiten stoffschlüssigen Verbindung eine zweite Absorptionsschicht (14) angeordnet ist.Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanisch-optischen Bauteils.

95. 发明专利

DE102019215532A1 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements und Mikromechanisches Bauelement 未知
公开(公告)号：DE102019215532A1
公开(公告)日：2021-04-15
申请号：DE102019215532
申请日：2019-10-10
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： SCHATZ FRANK , ARTMANN HANS , STRAUB RAINER , PINTER STEFAN , PANTEL DANIEL , TOMASCHKO JOCHEN
IPC分类号： B81C1/00 , B81B3/00
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements (114), insbesondere einer mikromechanischen Feder. Hierbei wird zunächst ein Siliziumsubstrat (100) bereitgestellt. Zudem wird wenigstens eine Seite des Siliziumsubstrats (100) zumindest teilweise mit wenigstens einer ersten Schicht (120) beschichtet. Die erste Schicht (120) wird zumindest teilweise in wenigstens einem definierten Bereich (111) der beschichteten Seite (101) des Siliziumsubstrats (100) entfernt. Der definierte Bereich (111) wird hierbei in Abhängigkeit einer vorbestimmten mechanischen Spannungsverteilung des mikromechanischen Bauelements (114) bei mechanischer Belastung ausgewählt. Zudem betrifft die Erfindung ein mikromechanisches Bauelement (114).

96. 发明专利

DE102018210387A1 Sensorvorrichtung zum Detektieren von Gasen 未知
公开(公告)号：DE102018210387A1
公开(公告)日：2020-01-02
申请号：DE102018210387
申请日：2018-06-26
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： MUELLER RENATE , PINTER STEFAN , REINMUTH JOCHEN , FREY TOBIAS SEBASTIAN
IPC分类号： G01N11/16 , G01N9/00 , G01N27/14
摘要： Es wird eine Sensorvorrichtung (100) zum Detektieren von Gasen beschrieben, welche einen mikroelektromechanischen Sensor (110) mit einem Messvolumen (120) zur Aufnahme eines Messgases (200) und einem im Messvolumen (120) angeordneten Sensorelement (130) umfasst, wobei das Sensorelement (130) relativ zu einem Substrat (101) elastisch auslenkbar ausgebildet ist. Ferner umfasst die Sensorvorrichtung (100) eine Antriebseinrichtung (161) zum Erzeugen einer Schwingungsbewegung des Sensorelements (130), eine Detektionseinrichtung (162) zum Erfassen der Schwingungsbewegung des Sensorelements (130) und eine Steuereinrichtung (160) zum Ermitteln einer Konzentration wenigstens einer Komponente des Messgases (200) anhand einer durch das Messgas (200) bewirkten Dämpfung der Schwingungsbewegung des Sensorelements (130). Dabei ist die Steuereinrichtung (160) ausgebildet, die Dämpfung des Sensorelements (130) durch eine Auswertung der ermittelten Schwingungsbewegung des Sensorelements (130) zu bestimmen.

97. 发明专利

DE102010062118B4 Herstellungsverfahren für eine Abdeckvorrichtung für ein mikro-opto-mechanisches Bauteil 未知
公开(公告)号：DE102010062118B4
公开(公告)日：2018-09-27
申请号：DE102010062118
申请日：2010-11-29
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PINTER STEFAN
IPC分类号： B81B1/00 , B81B7/02 , B81C1/00
摘要： Herstellungsverfahren für eine Abdeckvorrichtung für ein mikro-opto-mechanisches Bauteil, enthaltend:Anordnen mindestens eines Fensters (40) aus einem lichtdurchlässigen Material an einem Substrat (10, 60) mit einer Maximaloberfläche (24), deren Flächeninhalt größer oder gleich einem Einzel-Flächeninhalt jeder anderen Oberfläche des Substrats (10, 60) ist, wobei das mindestens eine Fenster (40) geneigt zu der Maximaloberfläche (24) des Substrats (10, 60) ausgerichtet wird, wobei das mindestens eine Fenster (40) innerhalb mindestens einer in dem Substrat (10, 60) ausgebildeten durchgehenden Aussparung (28) angeordnet wird, wobei- vor dem Anordnen des mindestens einen Fensters (40) innerhalb der zugeordneten durchgehenden Aussparung (28) mindestens ein in die zugeordnete durchgehende Aussparung (28) hineinragender Fenstersitz (34) mit mindestens einer geneigt zu der Maximaloberfläche (24) ausgerichteten Befestigungsfläche (36) gebildet wird, und das mindestens eine Fenster (40) an der mindestens einen Befestigungsfläche (36) angeordnet wird;- das mindestens eine Fenster (40) auf einen Werkstückträger (64) aufgesetzt wird und anschließend das Substrat (10, 60) an dem Werkstückträger (64) angeordnet wird; und- der mindestens eine Fenstersitz (34) durch ein Verbreitern der mindestens einen durchgehenden Aussparung (28) gebildet wird, und wobei bei dem Verbreitern der mindestens einen durchgehenden Aussparung (28) ein erster Verbreiterungsbereich (38a) schneller und/oder tiefer geätzt wird als ein zweiter Verbreiterungsbereich (38b).

98. 发明专利

DE102017203753A1 Herstellungsverfahren für eine mikromechanische Vorrichtung mit einer schrägen Oberfläche und entsprechende mikromechanische Vorrichtung 未知
公开(公告)号：DE102017203753A1
公开(公告)日：2018-09-13
申请号：DE102017203753
申请日：2017-03-08
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： STEUER BENJAMIN , PINTER STEFAN , PANTEL DANIEL , SCHELLING CHRISTOPH
IPC分类号： B81C1/00 , B81B1/00
摘要： Die Erfindung schafft ein Herstellungsverfahren für eine mikromechanische Vorrichtung mit einer schrägen Oberfläche und eine entsprechende mikromechanische Vorrichtung. Das Herstellungsverfahren umfasst die Schritte: Bereitstellen eines Siliziumsubstrats (1) mit einer Vorderseite (OS) und einer Rückseite (RS), wobei eine erste Normale (N) der Vorderseite (OS9 eine Abweichung um einen ersten Winkel (α) von der -Richtung aufweist, Bilden eines ersten Grabens (G1; G1') und eines zweiten Grabens (G2; G2') in der Vorderseite (OS), wobei der zweite Graben (G2; G2') im Wesentlichen parallel vom ersten Graben (G1; G1') beabstandet ist und wobei der erste Graben (G1; G1') und der zweite Graben (G2; G2') sich entlang einer Richtung (RI) der Abweichung erstrecken, Bilden einer ersten Ätzmaske (M; M1) auf der Vorderseite (OS), welche die Vorderseite (OS) bis auf einen ersten Öffnungsbereich (OE; OE1) abdeckt, der zwischen dem ersten Graben (G1; G1') und dem zweiten Graben liegt (G2; G2'), und Durchführen eines anisotropen Ätzprozesses an der Vorderseite (OS) unter Verwendung der Ätzmaske (M; M1), wodurch die schräge Oberfläche (OS') in dem Öffnungsbereich (OE; OE1) mit einem zweiten Winkel (β) zu der ersten Normalen (N) gebildet wird, der dem ersten Winkel (α) annähernd entspricht.

99. 发明专利

DE102017200352A1 Mikromechanisches Bauteil, Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil und Verfahren zum Anregen einer Bewegung eines verstellbaren Teils um eine Rotationsachse 未知
公开(公告)号：DE102017200352A1
公开(公告)日：2018-07-12
申请号：DE102017200352
申请日：2017-01-11
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PINTER STEFAN , KAUPMANN PHILIP , MUCHOW JOERG , GRUTZECK HELMUT , FRANZ JOCHEN
IPC分类号： B81B7/02 , B81B3/00 , B81C1/00 , G02B26/08
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einer Halterung (10), einem verstellbaren Teil (12), welches zumindest über mindestens eine Feder (14a, 14b, 14c) mit der Halterung (10) verbunden ist, und einer Aktoreinrichtung (18), wobei eine erste Schwingbewegung (Φ1) des verstellbaren Teils (12) um eine erste Drehachse (20) und gleichzeitig eine zweite Schwingbewegung (Φ2) des in die erste Schwingbewegung (Φ1) versetzten verstellbaren Teils (12) um eine zweite Drehachse (22) mittels der Aktoreinrichtung (18) anregbar sind, und wobei das verstellbare Teil (12) mittels zumindest der mindestens einen Feder (14a, 14b, 14c) derart verstellbar an der Halterung (10) angeordnet ist, dass das verstellbare Teil (12) mittels eines resultierenden Drehmoments (M2) um eine senkrecht zu der ersten Drehachse (20) und senkrecht zu der zweiten Drehachse (22) ausgerichtete Rotationsachse (24) verstellbar ist. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Anregen einer Bewegung eines verstellbaren Teils (12) um eine Rotationsachse (24).

100. 发明专利

DE102008042967B4 Kaskadierte mikromechanische Aktuatorstruktur 未知
公开(公告)号：DE102008042967B4
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：DE102008042967
申请日：2008-10-20
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PIRK TJALF , PINTER STEFAN , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , FRIESE CHRISTOPH
IPC分类号： B81B5/00 , B81B7/02 , G02B26/08
摘要： Kaskadierte mikromechanische Aktuatorstruktur zum Drehen eines mikromechanischen Bauelements (S) um eine Drehachse (DA; DA'; DA''; DA'''; DA'''') mit: einer Torsionsfedereinrichtung, welche einerseits an einer Halterung (VS) angebracht ist und an der andererseits das mikromechanische Bauelement (S) anbringbar ist; wobei die Torsionsfedereinrichtung eine Mehrzahl von Torsionsfedern (f1, f2, f3; f', fi'; f1'', f2''; f1a''', f1b''', f2'''; f1a'''', f1b'''', f2'''') aufweist, welche entlang oder parallel zu der Drehachse (DA; DA'; DA''; DA'''; DA'''') verlaufen; und einer Drehantriebseinrichtung mit einer Mehrzahl von Drehantrieben (A1, A2, A3; Ai'; A1'', A2''; A1''', A2'''; A1'''', A2''''), welche derart mit der Torsionsfedereinrichtung (f1, f2, f3; f', fi'; f1'', f2''; f1a''', f1b''', f2'''; f1a'''', f1b'''', f2'''') verbunden sind, dass jeder Drehantrieb (A1, A2, A3; Ai'; A1'', A2''; A1''', A2'''; A1'''', A2'''') geeignet ist, einen Bruchteil zu einem gesamten Drehwinkel des einen mikromechanischen Bauelements (S) um die Drehachse (DA; DA'; DA''; DA'''; DA'''') beizusteuern, wobei die Drehantriebseinrichtung eine drehbare Kammelektrodenanordnung (D1A', D1B') und eine damit zusammenwirkende feststehende Kammelektrodenanordnung (F1A', F1B') aufweist, wobei die drehbare Kammelektrodenanordnung (D1A', D1B') in einer ersten Ebene und die feststehende Kammelektrodenanordnung (F1A', F1B') in einer zweiten Ebene angeordnet ist, wobei die drehbare Kammelektrodenanordnung (D1A', D1B') über die Torsionsfedereinrichtung (f') an der Halterung (VS) angebracht ist, wobei Kammzinken (FD') der drehbare Kammelektrodenanordnung (D1A', D1B') an der Torsionsfedereinrichtung (f') angebracht sind und diese in einzelne dazwischenliegende Torsionsfedern (fi') unterteilen und eine Länge von Kammzinken (FD') der drehbare Kammelektrodenanordnung (D1A', D1B') ausgehend von der Seite der Halterung (VS) entlang der Drehachse (DA'; DA''; DA'''; DA'''') schrittweise abnimmt, wodurch jeweils zwischen zwei Torsionsfedern (fi') ein Drehantrieb (Ai') gebildet ist.

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