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91. 发明专利

JPWO2018123854A1 液面計、それを備えた気化器、及び液面検知方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2018123854A1
公开(公告)日：2019-10-31
申请号：JP2017046102
申请日：2017-12-22
申请人：株式会社フジキン
发明人：日高敦志 , 中谷貴紀 , 山下哲 , 杉田勝幸 , 平田薫 , 永瀬正明 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/31 , C23C16/448 , G01F23/22
摘要：本発明に係る液面計20は、測温抵抗体R11と、その上方に位置する温度測定体R12と、測温抵抗体及び温度測定体の温度を検出する温度検出部27と、測温抵抗体及び温度測定体が予め定められた温度差となるように、測温抵抗体に流される電流値を決定する電流制御部28と、決定された電流値の電流を測温抵抗体に流す電源部22と、液面の位置を検知する液面検知部29とを備え、液面検知部は、測温抵抗体に流れる電流値の予め定められた一定期間における変化幅の正負、及び変化幅が予め定められた値以上である否かにより、測温抵抗体に対する液面の相対位置の変化を検知する。これにより、測温抵抗体の特性のばらつきの影響を受けることなく、液面の位置を精度よく検出できる。

92. 发明专利

JP2019148294A 開度調整バルブ审中-公开
公开(公告)号：JP2019148294A
公开(公告)日：2019-09-05
申请号：JP2018032933
申请日：2018-02-27
申请人：株式会社フジキン
发明人：土肥亮介 , 澤田洋平 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： F16K31/04 , F16K31/44
摘要：【課題】精密にガス流量を調整し、摩耗量が少なく、モータ軸にかかる荷重が小さな開度調整バルブを提供することである。【解決手段】ボディ2と、ケーシング10と、ステム8と、モータ9と、伝達手段とを備えている開度調整バルブであって、伝達手段は、出力軸9aに挿通されて固定されたベアリング保持体14と、ベアリング保持体14とモータ9との間に介在された第1のスラストベアリング15と、ベアリング保持体14とステム8との間に介在された第2のスラストベアリング16とを備えている。出力軸9aとステム8とは、平行で所定の距離離れている。第2のスラストベアリング16のステム8と接する面は、モータ9の出力軸9aに直交する平面に対して傾斜させられ、第2のスラストベアリング16のボディ側の軌道盤16cは、ステム8と当接した状態を保ちベアリング保持体14に連れられて回転することがないから、摩耗によるコンタミネーション問題が発生することがない。【選択図】図1

93. 发明专利

JPWO2018070464A1 流体制御装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2018070464A1
公开(公告)日：2019-08-15
申请号：JP2017036949
申请日：2017-10-12
申请人：株式会社フジキン
发明人：平田薫 , 杉田勝幸 , 今井嵩浩 , 小川慎也 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： G05D7/06
摘要：流体制御装置(1)は、共通流入口(11)および共通流出口(12)と、共通流入口および共通流出口に連通する第1流路(F1)および第2流路(F2)とを有する本体ブロック(10)と、本体ブロックの取付け面に取り付けられた第1流体制御ユニット(20a)および第2流体制御ユニット(20b)とを備え、第1流路および第2流路は、取付け面の法線方向(D3)から見たときに第1の方向(D1)に沿って延びる第1流路部分(13)と、第1の方向と直交する第2の方向(D2)に沿って延びる第2流路部分(14)とを含み、第2流路部分は、本体ブロックの側面から第2の方向に沿って延びる穴部(14’)と、穴部の開口部を塞ぐ封止部材(15)とによって形成されている。

94. 发明专利

JPWO2018021277A1 オリフィス内蔵弁および圧力式流量制御装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2018021277A1
公开(公告)日：2019-05-09
申请号：JP2017026802
申请日：2017-07-25
申请人：株式会社フジキン
发明人：澤田洋平 , 平田薫 , 永瀬正明 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： F16K7/12 , G05D7/06 , F16K1/52
摘要：オリフィス内蔵弁(10)は、収容凹部(2A)、第1ガス流路(21)および第2ガス流路(22)を有する基部(2)と、環状の弁座(12b)および貫通孔(12a)を有する弁座体(12)と、弁座体を保持するインナーディスク(13)と、弁座に当接可能な弁体(11a)と、オリフィス(18)を含むオリフィス体(14)とを備え、収容凹部は、拡径部(2W)と狭径部(2N)とを有する階段状の凹部であり、弁座体(12)はインナーディスク(13)により押圧されることによりオリフィス体上に保持固定され、第1ガス流路(21)は、狭径部の壁面とオリフィス体との間を通って弁室(10a)に連通し、第2ガス流路(22)は、オリフィス体の貫通孔および弁座体の貫通孔を経由して弁室(10a)に連通する。

95. 发明专利

JPWO2017150331A1 流量制御装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2017150331A1
公开(公告)日：2018-12-27
申请号：JP2017006819
申请日：2017-02-23
申请人：株式会社フジキン
发明人：平井暢 , 森崎和之 , 平田薫 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： G05D7/06
摘要：本発明に係る流量制御装置は、制御弁と、前記制御弁の下流側に設けられた第1流路と、第2流路と、前記第1流路と前記第2流路との間に設けられた拡張室と、を有し、前記第2流路は、前記第1流路の延長上と異なる位置に設けられている。

96. 发明专利

JP6427370B2 回転弁审中-公开
公开(公告)号：JP6427370B2
公开(公告)日：2018-11-21
申请号：JP2014188409
申请日：2014-09-17
申请人：株式会社フジキン
发明人：土肥亮介 , 川田幸司 , 安本直史 , 那須裕章 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： F16K37/00

97. 发明专利

JPWO2017073038A1 流量信号補正方法およびこれを用いた流量制御装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2017073038A1
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：JP2016004662
申请日：2016-10-24
申请人：株式会社フジキン
发明人：杉田勝幸 , 池田信一 , 西野功二 , 平田薫 , 滝本昌彦 , 河嶋将慈 , 今井嵩浩
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , G05D7/06
摘要：絞り部の上流側の圧力を制御することによって流量を制御する圧力式流量制御装置において適用される流量信号補正方法は、絞り部の上流側に設けられた圧力センサの出力に基づいて、流量を示す1次信号を生成するステップと、1次信号の現在値と、1次信号の単数または複数の過去値に関する情報を含む値とを用いて、所定の関係式により補正された現在値を導出するように、1次信号の補正信号としての2次信号を生成するステップとを包含し、流量安定期間において2次信号を流量信号として出力し、過渡変化期間において2次信号を流量信号として出力しない。

98. 发明专利

JP2018092622A 圧電駆動式バルブおよび流量制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018092622A
公开(公告)日：2018-06-14
申请号：JP2017224760
申请日：2017-11-22
申请人：株式会社フジキン
发明人：土肥亮介 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： F16K37/00 , F16K31/02 , G05D7/06
摘要：【課題】弁開閉状態を検出可能な圧電駆動式バルブを提供する。【解決手段】圧電駆動式バルブは、流路が設けられた弁本体と、流路上に設けられた弁座および弁座に離着座する弁体と、弁体を移動させるための圧電素子を収容する支持筒体とを備え、圧電素子の伸長によって支持筒体が移動し、支持筒体によって弁体が移動するように構成されており、平面センサと、平面センサに対向する面を有する対向部材とを備えるギャップセンサを備え、ギャップセンサの平面センサおよび対向部材のうちのいずれか一方は弁本体に対して不動の位置に固定され、他方は支持筒体に固定され、平面センサと対向部材との距離の変化を支持筒体の移動量として検出する。【選択図】図2

99. 发明专利

JP6321972B2 圧力式流量制御装置及びその流量制御開始時のオーバーシュート防止方法有权
公开(公告)号：JP6321972B2
公开(公告)日：2018-05-09
申请号：JP2014008831
申请日：2014-01-21
申请人：株式会社フジキン
发明人：平田薫 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 杉田勝幸 , 永瀬正明
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , F16K7/14 , F16K7/16 , F16K31/004 , F16K31/02 , F16K31/06 , F16K31/12 , G05D7/0641 , H01L21/67253

100. 发明专利

JP6247499B2 ガス流量計有权
公开(公告)号：JP6247499B2
公开(公告)日：2017-12-13
申请号：JP2013224020
申请日：2013-10-29
申请人：株式会社フジキン
发明人：土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一 , 前田正研 , 草野靖夫 , 宮本三郎
IPC分类号： G01F1/68

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