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    • 91. 发明专利
    • 具有五個自由度的萬用探針組件
    • 具有五个自由度的万用探针组件
    • TW201830025A
    • 2018-08-16
    • TW106144780
    • 2017-12-20
    • 美商克禮陶股份有限公司QUALITAU, INC.
    • 魯帕希庫 莫特洽LUPASHKU, MIRTCHA歐朗斯 瑞米ORANS, REMY
    • G01R1/067G01R31/26
    • 一種萬用、多接腳、可調整的探針組件或機械手,用於使用在半導體晶圓上的裝置的參數及可靠度測試。探針組件可使用磁場而被安裝在金屬台板(platen)上且可於其上被調整。磁場的強度可藉由可切換的磁性平板(magnetic slab)而被調整,塊體經由臂被連接到可切換的磁性平板。探針頭可被附接到塊體的側面,塊體包括傾斜控制機構,用於使探針頭傾斜,以確保探針尖端同時落在晶片的襯墊上。探針頭還包括四個調整機構,用於在X、Y及Z方向上的平移,以及繞著Z軸的旋轉。
    • 一种万用、多接脚、可调整的探针组件或机械手,用于使用在半导体晶圆上的设备的参数及可靠度测试。探针组件可使用磁场而被安装在金属台板(platen)上且可于其上被调整。磁场的强度可借由可切换的磁性平板(magnetic slab)而被调整,块体经由臂被连接到可切换的磁性平板。探针头可被附接到块体的侧面,块体包括倾斜控制机构,用于使探针头倾斜,以确保探针尖端同时落在芯片的衬垫上。探针头还包括四个调整机构,用于在X、Y及Z方向上的平移,以及绕着Z轴的旋转。
    • 95. 发明专利
    • 半導體實驗之智慧平行控制器 SMART PARALLEL CONTROLLER FOR SEMICONDUCTOR EXPERIMENTS
    • 半导体实验之智能平行控制器 SMART PARALLEL CONTROLLER FOR SEMICONDUCTOR EXPERIMENTS
    • TW200918922A
    • 2009-05-01
    • TW097118914
    • 2008-05-22
    • 克禮陶股份有限公司 QUALITAU, INC.
    • 夏俊 丹尼爾 DANIEL, SHAY-TSION
    • G01R
    • G01R31/2834G01R31/31907
    • 一種儀器組態成利用複數個探源-測量單元(SMU)來協調複數個實驗的執行,以特性化複數個被測試裝置(DUT)。複數個實驗控制器之各實驗控制器組態成管理該複數個實驗之一,其係藉由至少部分控制分配給那個實驗的SMU。主控制器組態成與主機互動以管理該些實驗控制器。例如,該儀器組態成在執行實驗前提供實驗參數給SMU。在一態樣中,主控制器組態成從儀器外的主機控制器接收實驗參數。至少部分根據已接收的實驗參數,主控制器組態哪個實驗控制器管理哪個實驗。主控制器亦組態成令各實驗控制器提供該些已接收的實驗參數之適當者至分配給那個實驗控制器組態成管理之實驗的SMU。
    • 一种仪器组态成利用复数个探源-测量单元(SMU)来协调复数个实验的运行,以特性化复数个被测试设备(DUT)。复数个实验控制器之各实验控制器组态成管理该复数个实验之一,其系借由至少部分控制分配给那个实验的SMU。主控制器组态成与主机交互以管理该些实验控制器。例如,该仪器组态成在运行实验前提供实验参数给SMU。在一态样中,主控制器组态成从仪器外的主机控制器接收实验参数。至少部分根据已接收的实验参数,主控制器组态哪个实验控制器管理哪个实验。主控制器亦组态成令各实验控制器提供该些已接收的实验参数之适当者至分配给那个实验控制器组态成管理之实验的SMU。