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1. 发明专利

JPWO2020039755A1 感光性樹脂組成物、レジストパターンの形成方法、メッキ造形物の製造方法、および半導体装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2020039755A1
公开(公告)日：2021-09-02
申请号：JP2019026193
申请日：2019-07-01
申请人： JSR株式会社
发明人：谷口拓弘 , 西口直希 , 松本朋之 , 榊原宏和 , 廣昭人 , 秋丸尚徳
IPC分类号： C08F220/28 , C08F220/30 , G03F7/20 , G03F7/039
摘要：メッキ処理のマスクとして有用なレジストパターンを形成する感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を用いたレジストパターンの形成方法、前記形成方法により形成したレジストパターンを用いたメッキ造形物の製造方法、および前記メッキ造形物を有する半導体装置を提供することを目的として、感光性樹脂組成物は、下記式(a1)に示す構造単位(a1)、下記式(a2)に示す構造単位(a2)、および下記式(a3)に示す構造単位(a3)を有する重合体(A)ならびに光酸発生剤(B)を含有する。式(a3)中、R 33 はヒドロキシアリール基を示す。

2. 发明专利

JP2019181502A フラックス組成物审中-公开
公开(公告)号：JP2019181502A
公开(公告)日：2019-10-24
申请号：JP2018073790
申请日：2018-04-06
申请人： JSR株式会社
发明人：廣昭人 , 小松裕之
IPC分类号： B23K35/363
摘要：【課題】はんだ及び接続対象となる金属の接触領域で形成される金属間化合物(IMC)を強度の観点から良好な状態で形成可能なフラックス組成物の提供。【解決手段】少なくとも、複素環アミン構造を有する構造単位(a1)、およびカルボン酸アルキルエステル構造を有する構造単位(a2)を有する重合体(A)、を含有することを特徴とするフラックス組成物。【効果】本発明フラックス組成物は、良好なIMCの形成が可能である。【選択図】なし

3. 发明专利

JP2017003966A 感光性組成物、及びメッキ造形物の製造方法审中-公开
标题翻译：光敏组合物，并制备一种镀敷成形制品的方法
公开(公告)号：JP2017003966A
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：JP2016070951
申请日：2016-03-31
申请人： JSR株式会社
发明人：桂山真 , 秋丸尚徳 , 廣昭人
IPC分类号： G03F7/40 , H01L21/60 , G03F7/031
摘要：【解決手段】1分子中に少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物(B)、下記式(1)に示す光ラジカル重合開始剤(C)、並びにケト型オキシムエステル構造を有する光ラジカル重合開始剤(D1)、及びビイミダゾール構造を有する光ラジカル重合開始剤(D2)から選ばれる少なくとも1種の光ラジカル重合開始剤(D)を含有する感光性組成物。式(1)中、R 1a 〜R 1e のうち少なくとも一つは、(メタ)アクリロイル基を含む基を示す。R 3 は、芳香環上に少なくとも1つの(メタ)アクリロイル基を含む基を有するアリール基を示す。【効果】厚膜で、矩形の縦断面を有するレジストを形成することが可能であり、好適な形状を有するメッキ造形物を製造することができる。【選択図】なし
摘要翻译：用在分子中具有在A的至少一种烯属不饱和双键的化合物（B），由下述式（1）（C）表示的光自由基聚合引发剂，以及酮形式肟酯结构光自由基聚合引发剂（D1），和含有从具有联咪唑结构的光自由基聚合引发剂（D2）中的至少一种自由基光聚合引发剂（D）的感光性组合物。在式（1）中，R 1a中的至少一个〜R1E是指含有（甲基）丙烯酰基的基团。 R3表示具有在芳环上含有至少一个（甲基）丙烯酰基的基团的芳基。效果的厚膜，所以能够形成抗蚀剂具有矩形纵截面，它可以产生具有合适形状的镀成形制品。系统技术领域

4. 发明专利

JP5691538B2 仮固定用組成物、仮固定材、基材の処理方法、および半導体素子有权
标题翻译：临时固定组合物中，临时固定材料，基板的处理方法，和半导体元件
公开(公告)号：JP5691538B2
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：JP2011006127
申请日：2011-01-14
申请人： JSR株式会社
发明人：宮松隆 , 河口和雄 , 後藤宏文 , 奥田隆一 , 高松信博 , 高橋誠一郎 , 廣昭人 , 森隆 , 高村はづき
IPC分类号： H01L21/3065 , C09J11/00 , C09J163/00 , C09J171/00 , C09J201/00 , C09J7/02 , H01L21/301 , H01L21/304 , C09J181/06

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