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1. 发明申请

WO2021219500A1 DRIVE DEVICE, OPTICAL SYSTEM AND LITHOGRAPHY APPARATUS 审中-公开
公开(公告)号：WO2021219500A1
公开(公告)日：2021-11-04
申请号：PCT/EP2021/060624
申请日：2021-04-23
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： ALIMAN, Michel , MANGER, Matthias , BERGER, Lars , AWAD, Mohammad
IPC分类号： H02N2/06 , G02B26/08 , G03F7/00 , G02B26/0833 , G02B5/0891 , G02B5/09 , G03F7/70266 , H02N2/062
摘要： A drive device (100) for driving a capacitive actuator (200) for actuating an optical element (310) of an optical system (300), comprising a drive unit (110) for applying a drive voltage (UDC) to the actuator (200) for setting a specific position of the driven actuator (200), wherein the drive unit (110) and the actuator (200) are coupled via a first node (K1), a source (120) controlled by an excitation signal (s(t)) and coupled to the first node (K1), for feeding a time-dependent AC current signal (l(t)) into the first node (K1) in such a way that a specific AC voltage arises at the actuator (200) as a result of the superposition of the drive voltage (UDC) and an AC voltage corresponding to a product of the AC current signal (l(t)) and the impedance (Z) of the actuator (200), a filter unit (130) connected to the output of the actuator (200) and serving for filtering an output signal (A) of the actuator (200), and a determining unit (140) coupled to an output of the filter unit (130) and configured to determine an impedance behaviour (IV) of the actuator (200) depending on the filtered output signal (r(t)) and to output at its output the excitation signal (s(t)) for driving the source (120).

2. 发明申请

WO2023012330A1 TEMPERATURMESSVORRICHTUNG, LITHOGRAPHIEANLAGE UND VERFAHREN ZUM MESSEN EINER TEMPERATUR 审中-公开
公开(公告)号：WO2023012330A1
公开(公告)日：2023-02-09
申请号：PCT/EP2022/072076
申请日：2022-08-05
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： BERGER, Lars , RETTENMAIER, Thomas
IPC分类号： G03F7/20 , G01K7/21 , G01K7/25
摘要： Eine Temperaturmessvorrichtung (100) zum Messen einer Temperatur an oder in einem optischen System einer Lithographieanlage (1) weist eine Ansteuerungsquelle (101) zum Erzeugen eines Messstroms oder einer Messspannung zwischen einem ersten und einem zweiten Anschlusspunkt (101a, 101b) der Ansteuerungsquelle (101); mehrere Tempera-turwiderstände (102, 103, 123a – 123o), die zumindest einen Referenztemperaturwider-stand (102) und zumindest einen Messtemperaturwiderstand (103, 123a – 123o) umfas-sen, wobei die Temperaturwiderstände (102, 103, 123a – 123o) jeweils zwischen einem ersten und einem zweiten Leitungsknoten (124, 124a – 124o, 125, 125a – 125o) aus mehreren ersten und zweiten Leitungsknoten (124, 124a – 124o, 125, 125a – 125o) an-geordnet sind; eine erste Schalteinheit (104) zum wahlweisen Verbinden des ersten An-schlusspunkts (101a) der Ansteuerungsquelle (101) mit einem oder mehreren der ersten Leitungsknoten (124, 124a – 124o); eine Spannungserfassungseinheit (105) zum Erfas-sen einer Spannung an den Temperaturwiderständen (102, 103, 123a – 123o); eine erste Leitung (107), die den zweiten Leitungsknoten (125b) des zumindest einen Referenz-temperaturwiderstands (102) und den zweiten Leitungsknoten (125, 125a, 125c – 125o) des zumindest einen Messtemperaturwiderstands (103, 123a – 123o) gemeinsam mit einem ersten Anschlusspunkt (105a) der Spannungserfassungseinheit (105) elektrisch verbindet; und eine Temperaturbestimmungseinheit (130), die geeignet ist, kommunika-tiv mit der Spannungserfassungseinheit (105) gekoppelt zu sein, um die durch die Spannungserfassungseinheit (105) erfasste Spannung zu erhalten, und basierend auf der von der Spannungserfassungseinheit (105) erhaltenen Spannung die Temperatur an oder in dem optischen System zu bestimmen, auf.

3. 发明申请

WO2018134130A1 COMPONENT FOR A PROJECTION EXPOSURE APPARATUS 审中-公开
公开(公告)号：WO2018134130A1
公开(公告)日：2018-07-26
申请号：PCT/EP2018/050735
申请日：2018-01-12
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： WOLFSTEINER, Thomas , KRONE, Stefan , WIECZOREK, Volker , BERGER, Lars
IPC分类号： G03F7/20 , G02B26/08
摘要： A component (40) for a projection exposure apparatus (1) comprises a printed circuit board (63) arranged in an encapsulated housing (60) and having electronic component parts (61), and a heat conducting structure (68) for dissipating heat from the electronic component parts (61) to an outer side of the housing (60).

4. 发明申请

WO2016184670A1 SENSORANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG EINER JEWEILIGEN POSITION EINER ANZAHL VON SPIEGELN EINER LITHOGRAPHIEANLAGE 审中-公开
标题翻译：传感器装置和方法用于确定反射镜的数字的光刻系统的相应位置
公开(公告)号：WO2016184670A1
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：PCT/EP2016/059766
申请日：2016-05-02
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： HORN, Jan , KRONE, Stefan , BERGER, Lars
IPC分类号： G03F7/20 , G01B11/14
CPC分类号： G03F7/70258 , G01B11/002 , G01B11/026 , G03F7/70825 , G03F7/7085
摘要： Es wird eine Sensoranordnung zur Ermittlung einer jeweiligen Position einer Anzahl von Spiegeln (M1-M6) einer Lithographieanlage (100) bereitgestellt, mit: einer Anzahl von Positionssensorvorrichtungen (140), wobei die jeweilige Positionssensorvorrichtung (140) eine Messeinheit (201) zur Bereitstellung eines optischen Positionssignals einer Position eines Spiegels (M1-M6) bei Belichtung durch einen Lichtstrahl, eine Lichtquelle (203) zur Belichtung der Messeinheit (201) mit dem Lichtstrahl, eine Detektionseinheit (204) mit einer Mehrzahl von Photodetektoren (205) zur Ausgabe eines analogen elektrischen Positionssignals durch Detektion des bereitgestellten optischen Positionssignals und eine Signalverarbeitungseinheit (207) umfasst, welche zumindest einen A/D-Wandler (208) zum Wandeln des analogen elektrischen Positionssignals in ein digitales elektrisches Positionssignals aufweist, wobei zumindest die Lichtquelle (203) und die Signalverarbeitungseinheit (207) in einer in einem Vakuum- Gehäuse (137) angeordneten integrierten Baugruppe (200) vorgesehen sind, und einer Auswertevorrichtung (304) zur Ermittlung der Position des Spiegels (M1-M6) mittels des digitalen elektrischen Positionssignals.
摘要翻译：提供了一种用于确定在一个光刻系统（100）的反射镜（M1-M6）中的相应的位置，其包括一个传感器装置：多个位置传感器装置（140），其中，所述各自的位置传感器装置（140）的测量单元（201），用于提供一个通过光束，光源（203），用于测量单元（201）与光束曝光，具有多个光电检测器（205）的检测单元（204），用于输出一模拟用于曝光的反射镜（M1-M6）的位置的光学位置信号包括由检测所提供的光学位置信号和包括至少一个A / D转换器（208），用于将模拟电位置信号转换成数字电位置信号的信号处理单元（207）的信号处理单元的电位置信号，其中至少所述光源（203）和（207）在一个在真空提供布置壳体（137）集成封装（200），和评估装置（304），用于通过将数字电位置信号的装置确定所述反射镜（M1-M6）的位置。

5. 发明申请

WO2019185554A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ERMITTELN EINES ABSTANDES EINES BEWEGTEN OBJEKTS 审中-公开
公开(公告)号：WO2019185554A1
公开(公告)日：2019-10-03
申请号：PCT/EP2019/057462
申请日：2019-03-25
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS AG , HORN, Jan , BERGER, Lars , RICHTER, Stefan , DEGÜNTHER, Markus
发明人： HORN, Jan , BERGER, Lars , RICHTER, Stefan , DEGÜNTHER, Markus
IPC分类号： G01S7/481 , G01S17/32 , G01S17/58 , G01S17/66
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Ermitteln eines Abstandes eines bewegten Objekts. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung weist eine Laserquelle (510) zum Aussenden eines Laserstrahls mit zeitlich variierender Frequenz, eine Detektoranordnung (100, 560) zur Erzeugung eines Detektor-Signals auf Basis eines aus dem Laserstrahl hervorgegangenen, an dem Objekt (540) reflektierten Teilsignals (521), wobei die Detektoranordnung (100, 560) zur Erzeugung des Detektorsignals aus einer Überlagerung des an dem Objekt (540) reflektierten Teilsignals (521) mit einem weiteren aus dem Laserstrahl hervorgegangenen, nicht an dem Objekt (540) reflektierten Teilsignal (511) ausgestaltet ist, eine Auswerteeinrichtung zur Ermittlung eines Abstandes des Objekts (540) auf Basis dieses Detektorsignals, und einen Nachführungsregler (105) zum Regeln der Nachführung des von der Laserquelle (510) ausgesandten Laserstrahls bei Bewegung des Objekts (540) auf, wobei diese Nachführung auf Basis einer während einer Zitterbewegung des Laserstrahls stattfindenden Variation des Detektorsignals erfolgt.

6. 发明申请

WO2018114966A1 STEUERUNGSVORRICHTUNG ZUM ANSTEUERN EINER AKTUATOREINHEIT EINER LITHOGRAPHIEANLAGE, LITHOGRAPHIEANLAGE MIT EINER STEUERUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN DER STEUERUNGSVORRICHTUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2018114966A1
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：PCT/EP2017/083569
申请日：2017-12-19
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： KRONE, Stefan , BERGER, Lars , KIESEL, Ralf , WIJLAARS, Paul
IPC分类号： G03F7/20 , H03K7/08 , G02B7/182
摘要： Steuerungs Vorrichtung (10) zum Ansteuern einer Aktuator-Einheit (11) zum Einstellen einer Position (P) eines optischen Elements (20) einer Lithographieanläge (100A, 100B), mit einer Verstärker-Einheit (30) zum Bereitstellen eines Steuersignals (40) für die Aktuator-Einheit (11) mittels eines Spannungssignals (41) und eines PWM-Signals (42), wobei das PWM-Signal (42) ein Tastverhältnis (43) und eine Taktfrequenz (51) aufweist, und einer Modulator-Einheit (50), welche dazu eingerichtet ist, das PWM-Signal (42) mit dem Tastverhältnis (43) mit einer bestimmten Taktfrequenz (51) aus einer Mehrzahl an bestimmten Taktfrequenzen (52) bereitzustellen, wobei die jeweilige bestimmte Taktfrequenz (51) der Mehrzahl an bestimmten Taktfrequenzen (52) ein ganzzahliges Vielfaches einer Grundtaktfrequenz (f 0 ) ist, wobei die Grundtaktfrequenz (f 0 ) im Bereich von 10 kHz - 1 MHz liegt und das ganzzahlige Vielfache durch Multiplikation mit einem Faktor n bestimmt ist.

7. 发明申请

WO2016184836A1 SENSORANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG EINER JEWEILIGEN POSITION EINER ANZAHL VON SPIEGELN EINER LITHOGRAPHIEANLAGE 审中-公开
标题翻译：传感器装置和方法用于确定反射镜的数字的光刻系统的相应位置
公开(公告)号：WO2016184836A1
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：PCT/EP2016/060978
申请日：2016-05-17
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： HORN, Jan , KRONE, Stefan , BERGER, Lars
IPC分类号： G03F7/20 , G01B11/14 , G01D5/26
CPC分类号： G03F7/70258 , G01B11/002 , G01B11/026 , G01B11/26 , G01D5/347 , G03F7/70825 , G03F7/7085
摘要： Es wird eine Sensoranordnung zur Ermittlung einer jeweiligen Position einer Anzahl von Spiegeln (M1 –M6) einer Lithographieanlage (100) bereitgestellt, mit einer Anzahl von Positionssensorvorrichtungen (140), wobei die jeweilige Positionssensorvorrichtung (140) eine Lichtquelle (203) zur Belichtung einer Messeinheit (201) mit einem modulierten Lichtstrahl, die Messeinheit (201) zur Bereitstellung eines optischen Positionssignals einer Position eines Spiegels (M –M6) bei Belichtung durch den modulierten Lichtstrahl, und eine Detektionseinheit (204) mit einer Mehrzahl von Photodetektoren (205) zur Ausgabe eines elektrischen Positionssignals durch Detektion des bereitgestellten optischen Positionssignals umfasst, undeiner Auswertevorrichtung (304) zur Ermittlung der Position des Spiegels (M1 –M6) mittels des elektrischen Positionssignals. Durch die Verwendung der modulierten Belichtung kann die Verlustleistung reduziert werden, und es können die Rauscheigenschaften der Positionssignale verbessert werden. Die modulierte Belichtung erlaubt damiteine gute Signalqualität bei geringer mittlerer Verlustleistung. Ferner werden ein Verfahren zur Ermittlung einer jeweiligen Position einer Anzahl von Spiegeln einer Lithographieanlage, ein Projektionssystem einer Lithographieanlage und eine Lithographieanlage bereitgestellt.
摘要翻译：本发明提供一种传感器装置，用于确定多个具有多个位置传感器装置（140），其中，所述各自的位置传感器装置（140）包括用于测量单元的曝光光源（203）光刻系统（100）的反射镜（M1 -m6）中的相应的位置（201）与一调制光束，用于在暴露于调制光束提供的反射镜（M -m6）的位置的光学位置信号的测量单元（201），和检测单元（204），其具有多个光电检测器（205），用于输出包括由所述检测光学位置信号，安达评估装置（304），用于通过所述电位置信号的装置确定所述反射镜（M1 -m6）的位置的提供了一种电动位置信号。通过使用经调制的曝光，功率损耗可以降低，并且可以提高位置信号的噪声特性。调制光曝光允许维持低平均功耗良好的信号质量。此外，用于确定在一个光刻设备的反射镜中的相应的位置的方法中，提供了光刻设备和光刻系统的投影系统。

8. 发明申请

WO2015121242A1 METHOD FOR DISPLACING AT LEAST ONE OPTICAL COMPONENT 审中-公开
标题翻译：用于移动至少一个光学元件的方法
公开(公告)号：WO2015121242A1
公开(公告)日：2015-08-20
申请号：PCT/EP2015/052733
申请日：2015-02-10
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： KRONE, Stefan , BERGER, Lars
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G02B26/0816 , G02B7/1828 , G02B27/0012 , G03F7/70075 , G03F7/70116 , G03F7/702
摘要： Method for displacing an optical component, in which the electrical power maximally required when displacing the component is less than the sum of the maximum electrical powers of the at least two actuators used for the displacement.
摘要翻译：用于移动光学部件的方法，其中当移动部件时最大限度地需要的电功率小于用于位移的至少两个致动器的最大电功率的总和。

9. 发明申请

WO2014053659A1 METHOD AND COMPONENT FOR REGULATING THE TILTING OF A MIRROR ELEMENT 审中-公开
标题翻译：用于调节镜面元件倾斜的方法和组件
公开(公告)号：WO2014053659A1
公开(公告)日：2014-04-10
申请号：PCT/EP2013/070813
申请日：2013-10-07
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： HORN, Jan , BERGER, Lars , HARTMANN, Matthias , KNAUF, Benedikt , ORTH, Matthias , WALDIS, Severin
IPC分类号： G02B26/08 , G01D5/241
CPC分类号： G02B26/0841 , G01D5/2417 , G03F7/70075 , G03F7/70116 , G03F7/702
摘要： An optical component (25) comprises a carrying structure (19), at least one mirror element (23) which is mounted in a tiltable manner relative to the carrying structure (19) by an actuator system and which comprises at least one mirror electrode (22; 37), at least one local regulating device (30) for regulating the tilting of the mirror element (23), having at least one capacitive sensor and at least one actuator electrode (24) for tilting the mirror element (23), and a signal generator (39) for generating a modulation signal, having a frequency above a resonant frequency of the mirror element (23), wherein the signal generator (39) is connected in a signal-transmitting manner to the at least one mirror electrode (22; 37).
摘要翻译：光学部件（25）包括承载结构（19），至少一个镜元件（23），其通过致动器系统相对于承载结构（19）以可倾斜的方式安装，并且包括至少一个镜电极至少一个用于调节镜元件（23）的倾斜的局部调节装置（30），其具有至少一个电容传感器和用于倾斜镜元件（23）的至少一个致动器电极（24）以及信号发生器（39），用于产生具有高于所述镜元件（23）的谐振频率的频率的调制信号，其中所述信号发生器（39）以信号传输方式连接到所述至少一个镜电极（22; 37）。

10. 发明公开

EP3571549A1 COMPONENT FOR A PROJECTION EXPOSURE APPARATUS 有权
公开(公告)号：EP3571549A1
公开(公告)日：2019-11-27
申请号：EP18702107.6
申请日：2018-01-12
申请人： Carl Zeiss SMT GmbH
发明人： WOLFSTEINER, Thomas , KRONE, Stefan , WIECZOREK, Volker , BERGER, Lars
IPC分类号： G03F7/20 , G02B26/08

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