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热词
    • 1. 发明申请
    • 유기막 CMP 슬러리 조성물 및 이를 이용한 연마방법
    • 有机膜CMP浆料组合物和使用它的抛光方法
    • WO2016186356A1
    • 2016-11-24
    • PCT/KR2016/004804
    • 2016-05-09
    • 삼성에스디아이 주식회사
    • 최정민김태완도균봉강동헌김동진유용식최영남
    • C09K3/14H01L21/304
    • C09K3/14H01L21/304
    • 본 발명은 극성 용매, 비극성 용매 중 하나 이상; 금속산화물 연마제; 산화제; 및 분자량 약 3500 g/mol 이하인 폴리아크릴산을 포함하고, 탄소 함량이 약 50 내지 약 99atom%인 유기막을 연마하기 위한 유기막 CMP 슬러리 조성물 및 이를 이용한 연마방법에 관한 것으로, 본 발명의 CMP 슬러리 조성물은 탄소 함량, 막 밀도 및 경도가 높은 유기막에 대하여 연마 효과가 우수하고, 무기막 대비 유기막의 연마 속도가 우수하며, 유기막에 대해 연마 후 연마면 평탄도가 좋고, 연마 정지막 층에 존재하는 유기막 물질의 잔류물(residue)을 쉽게 제거할 수 있으므로 보다 균일한 연마가 가능하다.
    • 本发明涉及一种用于研磨碳含量为约50至约99原子%的有机膜的有机膜CMP浆料组合物; 和使用其的抛光方法,所述有机膜CMP浆料组合物包含:极性溶剂和非极性溶剂中的一种或多种; 金属氧化物磨料; 氧化剂 和分子量为3500g / mol以下的聚丙烯酸。 本发明的CMP浆料组合物能够进行更均匀的抛光,因为CMP浆料组合物对具有高碳含量,高膜密度和高硬度的有机膜具有优异的抛光效果,与无机膜相比具有优异的有机膜抛光速度,结果 在抛光有机膜后抛光表面平整度好,并且可以容易地去除抛光整理膜层中存在的有机膜材料的残留物。
    • 10. 发明公开
    • 태양 전지
    • 太阳能电池
    • KR1020150057852A
    • 2015-05-28
    • KR1020130141705
    • 2013-11-20
    • 삼성에스디아이 주식회사
    • 김동진
    • H01L31/04
    • H01L31/0508H01L31/046H01L31/0465H01L31/0468H01L31/0749Y02E10/541
    • 본발명의한 실시예에따른태양전지는기판, 기판위에형성되어있으며복수의제1 분리홈으로분리되는복수의제1 전극, 제1 전극위에형성되어있으며이웃하는제1 전극을노출하는관통홈을가지는버퍼층및 광활성층, 광활성층위에형성되어있으며제2 분리홈으로분리되며관통홈을통해서제1 전극과전기적으로연결되는복수의제2 전극을포함하고, 제1 전극또는제2 전극은제1 분리홈, 관통홈및 제2 분리홈과교차하는방향으로형성되어있는복수의제3 분리홈에의해서분할된다.
    • 根据本发明的实施例,太阳能电池包括:基板; 多个第一电极,形成在所述基板上并分离成多个第一分离槽; 形成在第一电极上的缓冲层和光活性层,并具有使相邻的第一电极露出的穿透槽; 以及多个第二电极,形成在所述光敏层上,分离成第二分离槽,并且通过所述贯穿槽与所述第一电极电连接,其中所述第一电极或所述第二电极由多个第三分离槽 方向穿过第一分离槽,穿透槽和第二分离槽。