基本信息:
- 专利标题: 모판, 모판의 제조 방법, 마스크의 제조 방법 및 OLED 화소 증착 방법
- 专利标题(英):MOTHER PLATE, METHOD FOR MANUFACTURING MOTHER PLATE, METHOD FOR MANUFACTURING MASK, AND OLED PIXEL DEPOSITION METHOD
- 申请号:PCT/KR2017/011362 申请日:2017-10-16
- 公开(公告)号:WO2018084448A8 公开(公告)日:2018-05-11
- 发明人: 장택용
- 申请人: 주식회사 티지오테크
- 申请人地址: 17085 경기도 용인시 기흥구 공세로 140-11, Gyeonggi-do KR
- 专利权人: 주식회사 티지오테크
- 当前专利权人: 주식회사 티지오테크
- 当前专利权人地址: 17085 경기도 용인시 기흥구 공세로 140-11, Gyeonggi-do KR
- 代理机构: 김한
- 优先权: KR10-2016-0145918 20161103; KR10-2016-0162464 20161201; KR10-2017-0054471 20161201
- 主分类号: C25D1/20
- IPC分类号: C25D1/20 ; C25D1/10
摘要:
본 발명은 모판, 모판의 제조 방법, 마스크의 제조 방법 및 OLED 화소 증착 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 모판의 제조 방법은, 전주 도금(Electroforming)으로 마스크 제조시 사용되는 모판(Mother Plate; 20)을 제조하는 방법으로서, (a) 전도성 단결정 실리콘 재질인 기재(21)를 제공하는 단계 및 (b) 기재(21)의 적어도 일면 상에 패턴을 가지는 절연부(25)를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要(英):
The present invention relates to a mother plate, a method for manufacturing a mother plate, a method for manufacturing a mask, and an OLED pixel deposition method. The method for manufacturing a mother plate according to the present invention is a method for manufacturing a mother plate (20) used when a mask is manufactured by electroforming, and comprises the steps of: (a) providing a substrate (21) made of a conductive monocrystalline silicon material; and (b) forming, on at least one face of the substrate (21), an insulation part (25) having a pattern.
公开/授权文献:
- WO2018084448A3 모판, 모판의 제조 방법, 마스크의 제조 방법 및 OLED 화소 증착 방법 公开/授权日:2018-05-11
IPC结构图谱:
C | 化学;冶金 |
--C25 | 电解或电泳工艺;其所用设备 |
----C25D | 覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置 |
------C25D1/00 | 电铸 |
--------C25D1/20 | .铸件与电极的分离 |