基本信息:
- 专利标题： 간섭 회피 구조의 집진 클리너
- 专利标题（英）：WO2018034363A1 - Dust collecting cleaner having interference avoidance structure
- 专利标题（中）：避免干扰结构的吸尘器
- 申请号：PCT/KR2016/009090 申请日：2016-08-18
- 公开(公告)号：WO2018034363A1 公开(公告)日：2018-02-22
- 发明人： 황창배
- 申请人： (주)엔티케이코퍼레이션
- 申请人地址： 16642 경기도 수원시 권선구 오목천로132번길 33 413호, Gyeonggi-do KR
- 专利权人： (주)엔티케이코퍼레이션
- 当前专利权人： (주)엔티케이코퍼레이션
- 当前专利权人地址： 16642 경기도 수원시 권선구 오목천로132번길 33 413호, Gyeonggi-do KR
- 代理机构： 고병록
- 主分类号： B08B15/00
- IPC分类号： B08B15/00 ; B08B11/00 ; G02F1/13
摘要：
본 발명은 간섭 회피 구조의 집진 클리너에 관한 것이고, 구체적으로 레이저와 같은 광학 기기에 의한 기판의 표면 가공 과정에서 발생되는 다양한 형태의 이물질의 제거가 가능한 간섭 회피 구조의 집진 클리너에 관한 것이다. 간섭 회피 구조의 집진 클리너는 중앙 부분에 가공물에 대하여 수직 방향으로 개방 공간(12, 22)이 형성된 집진 하우징(11a, 11b, 21); 집진 하우징(11a, 11b, 21)의 아래쪽에 배치된 에어 나이프 유닛(15a, 15b, 25); 및 에어 나이프 유닛(15a, 15b, 25)의 앞쪽에 형성되는 집진 경로(DP)를 포함하고, 상기 개방 공간(12)의 위쪽 및 에어 나이프 유닛(15a, 15b, 25)으로부터 유입 및 분무가 되는 기체는 집진 경로(DP)로 유입되는 것을 특징으로 한다.
摘要（中）：
本发明涉及干扰的除尘器避免结构，具体而言，可能干扰去除各种类型的由光学设备中的衬底的表面处理产生的碎片的诸如激光避免结构 除尘清洁剂。 干涉避免结构的集尘清洁器包括集尘壳体（11a，11b，21），所述集尘壳体具有在垂直于工件的方向的中央部分形成的开放空间（12,22） 布置在集尘壳体（11a，11b，21）下方的气刀单元（15a，15b，25）; 并且，在气刀单元15a，15b，25的前方形成的集尘通路DP，以及在开放空间12的上方形成的集尘通路DP以及气刀单元15a，15b， 气体流入集尘通道（DP）。
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B08 | 清洁 |
| ----B08B | 一般清洁；一般污垢的防除 |
| ------B08B15/00 | 防止污物或烟尘从产生处逸出；从产生处收集或清除污物或烟尘 |