发明申请
WO2017102312A1 OPTICAL SENSING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING AN OPTICAL SENSING DEVICE
审中-公开
基本信息:
- 专利标题： OPTICAL SENSING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING AN OPTICAL SENSING DEVICE
- 专利标题（中）：光学传感装置和制造光学传感装置的方法
- 申请号：PCT/EP2016/079141 申请日：2016-11-29
- 公开(公告)号：WO2017102312A1 公开(公告)日：2017-06-22
- 发明人： ENICHLMAIR, Hubert , EILMSTEINER, Gerhard
- 申请人： AMS AG
- 申请人地址： Schloss Premstätten Tobelbader Str. 30 8141 Unterpremstätten AT
- 专利权人： AMS AG
- 当前专利权人： AMS AG
- 当前专利权人地址： Schloss Premstätten Tobelbader Str. 30 8141 Unterpremstätten AT
- 代理机构： EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH
- 优先权： EP15199891.1 20151214
- 主分类号： G01J3/26
- IPC分类号： G01J3/26 ; G01J3/28 ; G01J3/12 ; G02B5/28 ; H01L31/00 ; H01L27/146 ; G01J3/02
摘要：
An optical sensing device comprises a substrate (S1) carrying a first and a second photodetector (S1, S2) and a filter stack arranged on the substrate and covering the photodetector array. The filter stack comprises a band-pass filter (BP), a decoupling layer (DL) arranged on the band-pass filter (BP) and a lower dielectric mirror (LM) arranged on the decoupling layer (DL). The filter stack comprises a spacer stack with a primary spacer layer (SP) arranged on the lower dielectric mirror (LM), comprising a first dielectric material and covering the photodetector array. The spacer stack comprises a first spacer layer (S1) comprising the first dielectric material, wherein a first segment of the first spacer layer (S1) is arranged on the primary spacer layer (SP) and covers the second photodetector (P2) but not the first photodetector (P1). The filter stack comprises an upper dielectric mirror (UM) arranged on the spacer stack.
摘要（中）：
光学感测装置包括承载第一和第二光电探测器（S1，S2）的衬底（S1）以及布置在衬底上并覆盖光电探测器阵列的滤波器叠层。 滤波器叠层包括带通滤波器（BP），布置在带通滤波器（BP）上的去耦层（DL）和布置在去耦层（DL）上的下介电反射镜（LM）。 滤光器叠层包括具有布置在下电介质镜（LM）上的主间隔层（SP）的间隔体叠层，其包括第一电介质材料并覆盖光电检测器阵列。 所述间隔体堆叠包括包含所述第一电介质材料的第一间隔层（S1），其中所述第一间隔层（S1）的第一段布置在所述主间隔层（SP）上并覆盖所述第二光电检测器（P2），但不覆盖 第一光电探测器（P1）。 滤光器叠层包括布置在间隔物叠层上的上电介质镜（UM）。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01J | 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法 |
| ------G01J3/00 | 光谱测定法；分光光度测定法；单色器；测定颜色 |
| --------G01J3/02 | .零部件 |
| ----------G01J3/26 | ..应用多次反射，例如，法布里—珀罗干涉仪，可变干涉滤光器 |