基本信息:
- 专利标题： 喷嘴组件、蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法
- 专利标题（英）：Nozzle assembly, vapor deposition device, and method for preparing light-emitting diode
- 申请号：PCT/CN2016/099433 申请日：2016-09-20
- 公开(公告)号：WO2017088567A1 公开(公告)日：2017-06-01
- 发明人： 邹清华
- 申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
- 申请人地址： 中国北京市朝阳区酒仙桥路10号, Beijing 100015 CN
- 专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司
- 当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司
- 当前专利权人地址： 中国北京市朝阳区酒仙桥路10号, Beijing 100015 CN
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 优先权： CN201510849666.9 20151127
- 主分类号： C23C14/26
- IPC分类号： C23C14/26 ; C23C14/12 ; C23C14/54 ; H01L51/56
摘要：
一种喷嘴组件，包括设置有喷嘴（2）的本体（1），和设置在位于喷嘴（2）的侧壁中的中空腔（3），中空腔（3）中设置第一加热元件（4）。还公开了一种蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法。